下载一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板的技术资料

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本实用新型公开了一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板,属于PVD载板技术领域。本实用新型包括呈箱体结构的载板本体,载板本体的内部开设有空腔,且载板本体的顶面为承载板,承载板沿宽度方向均匀间隔设置有多个放片区,其中载板本体的内部空腔内设置有...
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