光刻机外壳一序夹紧工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光刻机外壳一序夹紧工装，包括工装底座，工装底座上设有夹紧抵靠组件与夹紧定位组件，夹紧抵靠组件与夹紧定位组件上均设有螺柱夹紧件。本实用新型专利技术很好地根据光刻机外壳的形状，设计了能够完美夹紧光刻机外壳的一序夹紧工装，结构简单且夹紧过程迅速快捷。迅速快捷。迅速快捷。

【技术实现步骤摘要】
光刻机外壳一序夹紧工装


[0001]本技术涉及一种光刻机外壳一序夹紧工装。

技术介绍

[0002]光刻机(Mask Aligner)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机外壳上有很多孔洞需要加工，目前的加工工装设计不合理，不能满足夹紧后的加工工作。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种光刻机外壳一序夹紧工装，很好地根据光刻机外壳的形状，设计了能够完美夹紧光刻机外壳的一序夹紧工装，结构简单且夹紧过程迅速快捷。
[0004]为实现上述目的，本技术的技术方案是设计一种光刻机外壳一序夹紧工装，包括工装底座，工装底座上设有夹紧抵靠组件与夹紧定位组件，夹紧抵靠组件与夹紧定位组件上均设有螺柱夹紧件。通过夹紧抵靠组件与夹紧定位组件的配合，既能保证夹紧牢靠，并且通过抵靠和定位限位的作用，保证光刻机外壳位于正确的待加工位置，确保加工孔洞的精度。
[0005]进一步的技术方案是，夹紧抵靠组件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.光刻机外壳一序夹紧工装，其特征在于，包括工装底座，工装底座上设有夹紧抵靠组件与夹紧定位组件，夹紧抵靠组件与夹紧定位组件上均设有螺柱夹紧件，所述夹紧抵靠组件与夹紧定位组件各设有两个，在光刻机外壳底板四角处依次设置；两个夹紧抵靠组件及两个夹紧定位组件沿光刻机外壳底板的长度方向设置；工装底座其靠近两个夹紧定位组件连线的一边设有抵靠定位块，所述夹紧抵靠组件包括固定设置在工装底座上的座板，螺柱夹紧件包括座板上固定设置的圆柱，圆柱上滑动设置销子，销子顶端固定设置夹紧块，夹紧块中部设有用于螺柱穿过的通孔，座板上设置与螺柱适配的螺纹孔，所述夹紧定位组件上的螺柱夹紧件设置在抵靠定位块上，抵靠定位块上设有与螺柱夹紧件的螺柱适配的螺纹孔；抵靠定位块的两端设有沿光刻机外壳长度方向的方形定位体，抵靠定位块的两端还...

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿建强，钱拥军，张乐，陈高韵，
申请(专利权)人：光科真空科技泰兴有限公司，
类型：新型
国别省市：