光刻机外壳一序夹紧工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光刻机外壳一序夹紧工装，包括工装底座，工装底座上设有夹紧抵靠组件与夹紧定位组件，夹紧抵靠组件与夹紧定位组件上均设有螺柱夹紧件。本实用新型专利技术很好地根据光刻机外壳的形状，设计了能够完美夹紧光刻机外壳的一序夹紧工装，结构简单且夹紧过程迅速快捷。迅速快捷。迅速快捷。

【技术实现步骤摘要】
光刻机外壳一序夹紧工装


[0001]本技术涉及一种光刻机外壳一序夹紧工装。

技术介绍

[0002]光刻机(Mask Aligner)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机外壳上有很多孔洞需要加工，目前的加工工装设计不合理，不能满足夹紧后的加工工作。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种光刻机外壳一序夹紧工装，很好地根据光刻机外壳的形状，设计了能够完美夹紧光刻机外壳的一序夹紧工装，结构简单且夹紧过程迅速快捷。
[0004]为实现上述目的，本技术的技术方案是设计一种光刻机外壳一序夹紧工装，包括工装底座，工装底座上设有夹紧抵靠组件与夹紧定位组件，夹紧抵靠组件与夹紧定位组件上均设有螺柱夹紧件。通过夹紧抵靠组件与夹紧定位组件的配合，既能保证夹紧牢靠，并且通过抵靠和定位限位的作用，保证光刻机外壳位于正确的待加工位置，确保加工孔洞的精度。
[0005]进一步的技术方案是，夹紧抵靠组件与夹紧定位组件各设有两个，在光刻机外壳底板四角处依次设置；两个夹紧抵靠组件及两个夹紧定位组件沿光刻机外壳底板的长度方向设置；工装底座其靠近两个夹紧定位组件连线的一边设有抵靠定位块。工装底座其靠近两个夹紧定位组件连线的一边设有抵靠定位块的设置作为待加工件的靠山，保证了待加工件的位置。
[0006]进一步的技术方案是，夹紧抵靠组件包括固定设置在工装底座上的座板，螺柱夹紧件包括座板上固定设置的圆柱，圆柱上滑动设置销子，销子顶端固定设置夹紧块，夹紧块中部设有用于螺柱穿过的通孔，座板上设置与螺柱适配的螺纹孔。
[0007]进一步的技术方案为，座板上位于圆柱的一侧固定设置角钢，角钢上设置螺纹孔，与螺纹孔适配设有抵靠螺柱，抵靠螺柱抵靠在光刻机外壳底板的侧面上。
[0008]进一步的技术方案为，座板上位于光刻机外壳底板底面处螺纹连接有平头螺柱。通过多个平头螺柱的设置可以根据待加工件的情况调整平头螺柱伸出的高度以保证光刻机外壳摆放时是处于水平的。
[0009]进一步的技术方案为，夹紧定位组件上的螺柱夹紧件设置在抵靠定位块上，抵靠定位块上设有与螺柱夹紧件的螺柱适配的螺纹孔；抵靠定位块的两端设有沿光刻机外壳长度方向的方形定位体，抵靠定位块的两端还设有光刻机外壳宽度方向的限位柱，螺柱位于方形定位体与限位柱之间。
[0010]进一步的技术方案为，抵靠定位块的侧面固定设置横向柱，横向柱上滑动设置夹
紧板，夹紧板中部设有用于螺柱穿过的通孔，抵靠定位块的侧面上设置与螺柱适配的螺纹孔。
[0011]进一步的技术方案为，抵靠定位块的中部设有凸起的方形限位体，方形限位体上螺纹连接有抵靠螺柱。
[0012]本技术的优点和有益效果在于：很好地根据光刻机外壳的形状，设计了能够完美夹紧光刻机外壳的一序夹紧工装，结构简单且夹紧过程迅速快捷。通过夹紧抵靠组件与夹紧定位组件的配合，既能保证夹紧牢靠，并且通过抵靠和定位限位的作用，保证光刻机外壳位于正确的待加工位置，确保加工孔洞的精度。工装底座其靠近两个夹紧定位组件连线的一边设有抵靠定位块的设置作为待加工件的靠山，保证了待加工件的位置。通过多个平头螺柱的设置可以根据待加工件的情况调整平头螺柱伸出的高度以保证光刻机外壳摆放时是处于水平的。
附图说明
[0013]图1是本技术一种光刻机外壳一序夹紧工装的示意图；
[0014]图2是图1去除光刻机外壳后的示意图。
[0015]图中：1、工装底座；2、抵靠定位块；3、座板；4、圆柱；5、销子；6、夹紧块；7、螺柱；8、通孔；9、角钢；10、抵靠螺柱；11、光刻机外壳底板；12、平头螺柱；13、方形定位体；14、限位柱；15、横向柱；16、夹紧板；17、方形限位体。
具体实施方式
[0016]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0017]如图1至图2所示，本技术是一种光刻机外壳一序夹紧工装，包括工装底座1，工装底座1上设有夹紧抵靠组件与夹紧定位组件，夹紧抵靠组件与夹紧定位组件上均设有螺柱7夹紧件。夹紧抵靠组件与夹紧定位组件各设有两个，在光刻机外壳底板11四角处依次设置；两个夹紧抵靠组件及两个夹紧定位组件沿光刻机外壳底板11的长度方向设置；工装底座1其靠近两个夹紧定位组件连线的一边设有抵靠定位块2。夹紧抵靠组件包括固定设置在工装底座1上的座板3，螺柱7夹紧件包括座板3上固定设置的圆柱4，圆柱4上滑动设置销子5，销子5顶端固定设置夹紧块6，夹紧块6中部设有用于螺柱7穿过的通孔8，座板3上设置与螺柱7适配的螺纹孔。座板3上位于圆柱4的一侧固定设置角钢9，角钢9上设置螺纹孔，与螺纹孔适配设有抵靠螺柱10，抵靠螺柱10抵靠在光刻机外壳底板11的侧面上。座板3上位于光刻机外壳底板11底面处螺纹连接有平头螺柱12。夹紧定位组件上的螺柱7夹紧件设置在抵靠定位块2上，抵靠定位块2上设有与螺柱7夹紧件的螺柱7适配的螺纹孔；抵靠定位块2的两端设有沿光刻机外壳长度方向的方形定位体13(一端的方形定位体13抵靠光刻机外壳，另一端的方形定位体13上螺纹连接有抵靠螺柱10；两个方形定位体13之间的距离大于光刻机外壳的长度)，抵靠定位块2的两端还设有光刻机外壳宽度方向的限位柱14，螺柱7位于方形定位体13与限位柱14之间。抵靠定位块2的侧面固定设置横向柱15，横向柱15上滑动设置夹紧板16，夹紧板16中部设有用于螺柱7穿过的通孔8，抵靠定位块2的侧面上设置与螺柱7
适配的螺纹孔。抵靠定位块2的中部设有凸起的方形限位体17，方形限位体17上螺纹连接有抵靠螺柱10。
[0018]以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.光刻机外壳一序夹紧工装，其特征在于，包括工装底座，工装底座上设有夹紧抵靠组件与夹紧定位组件，夹紧抵靠组件与夹紧定位组件上均设有螺柱夹紧件，所述夹紧抵靠组件与夹紧定位组件各设有两个，在光刻机外壳底板四角处依次设置；两个夹紧抵靠组件及两个夹紧定位组件沿光刻机外壳底板的长度方向设置；工装底座其靠近两个夹紧定位组件连线的一边设有抵靠定位块，所述夹紧抵靠组件包括固定设置在工装底座上的座板，螺柱夹紧件包括座板上固定设置的圆柱，圆柱上滑动设置销子，销子顶端固定设置夹紧块，夹紧块中部设有用于螺柱穿过的通孔，座板上设置与螺柱适配的螺纹孔，所述夹紧定位组件上的螺柱夹紧件设置在抵靠定位块上，抵靠定位块上设有与螺柱夹紧件的螺柱适配的螺纹孔；抵靠定位块的两端设有沿光刻机外壳长度方向的方形定位体，抵靠定位块的两端还...

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿建强，钱拥军，张乐，陈高韵，
申请(专利权)人：光科真空科技泰兴有限公司，
类型：新型
国别省市：