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本实用新型公开了一种光刻机外壳一序夹紧工装，包括工装底座，工装底座上设有夹紧抵靠组件与夹紧定位组件，夹紧抵靠组件与夹紧定位组件上均设有螺柱夹紧件。本实用新型很好地根据光刻机外壳的形状，设计了能够完美夹紧光刻机外壳的一序夹紧工装，结构简单且夹...
该专利属于光科真空科技（泰兴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光科真空科技（泰兴）有限公司授权不得商用。

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