一种高精密水平升降Z轴制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精密水平升降Z轴，包括：安装基座，与安装基座水平设置的水平升降工作板，以及设置在安装基座上的升降机构；水平升降工作板的四周与安装基座通过若干运输固定装置连接；升降机构包括顶升斜块，设置在顶升斜块下方的传送斜块，设置在传送斜块下方的直线导轨，以及伺服电机；伺服电机和传送斜块通过滚珠螺杆连接；顶升斜块和传送斜块均为斜砌结构；传送斜块上斜面设置有与顶升斜块相配合的上斜导轨。该水平升降Z轴在传动方面配置了精密滚珠螺杆、角接触滚珠轴承、交叉滚柱导轨作为运动结构，通过传动斜块与直线导轨形成的角度比完成对顶升斜块的升降运动，使得顶升斜块的稳步Z轴上升，提高了调节的精度。提高了调节的精度。提高了调节的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种高精密水平升降Z轴


[0001]本技术涉及精密机械
，尤其涉及一种高精密水平升降Z轴。

技术介绍

[0002]水平升降Z轴多应用于高端制造行业，如半导体芯片制造、检测、封装、医疗化验或3C中。现有技术的水平升降Z轴在调节高度的过程中，存在不易调节及调节精度不足的问题，同时水平升降Z轴体积较大，运输或移动困难。此外，现有的水平升降Z轴中的间隙较大，且无法承受大负载。
[0003]因此，目前需要研发出一种便于运输、调节精度高和大负载的高精密水平升降Z轴。

技术实现思路

[0004]本技术克服了现有技术的不足，提供一种高精密水平升降Z轴。
[0005]为达到上述目的，本技术采用的技术方案为：一种高精密水平升降Z 轴，其特征在于，包括：安装基座，与所述安装基座水平设置的水平升降工作板，以及设置在所述安装基座上的升降机构；
[0006]所述水平升降工作板的四周与所述安装基座通过若干运输固定装置连接；
[0007]所述升降机构包括顶升斜块，设置在所述顶升斜块下方的传送斜块，设置在所述传送斜块下方的直本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精密水平升降Z轴，其特征在于，包括：安装基座，与所述安装基座水平设置的水平升降工作板，以及设置在所述安装基座上的升降机构；所述水平升降工作板的四周与所述安装基座通过若干运输固定装置连接；所述升降机构包括顶升斜块，设置在所述顶升斜块下方的传送斜块，设置在所述传送斜块下方的直线导轨，以及伺服电机；所述伺服电机和所述传送斜块通过滚珠螺杆连接，所述伺服电机驱动所述滚珠螺杆转动，并驱动所述传送斜块沿所述直线导轨水平方向运动；所述顶升斜块和所述传送斜块均为斜砌结构；所述传送斜块上斜面设置有与所述顶升斜块相配合的上斜导轨。2.根据权利要求1所述的一种高精密水平升降Z轴，其特征在于：所述安装基座上对称设置有若干辅助升降组件，用以保证运动时的垂直度。3.根据权利要求2所述的一种高精密水平升降Z轴，其特征在于：所述辅助升降组件包括导轨安装座，以及设置在所述导轨安装座上的竖直导轨；所述导轨安装座和所述安装基座螺栓连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：李江欢，程海兵，
申请(专利权)人：煜瀚盛传动元件昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：