一种便于脱胶的光刻胶注射器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于脱胶的光刻胶注射器，涉及光刻胶注射器技术领域，包括注射器本体和喷头装置，所述活塞构件的外壁固定安装有清理刮板，所述活塞构件的底部活动连接有挡板装置，所述喷头孔腔的内壁设置有喷头螺纹，所述喷头螺纹的表面活动连接有连接管螺纹。本实用新型专利技术通过抽动活塞轴带动活塞构件的移动，从而清理刮板可进行对注射器本体内壁的刮动，以达到对注射器本体内壁残留的光刻胶刮除和脱落，可及时清理内壁残留的光刻胶，通过拧动喷头装置的顶部位置，完成喷头装置的拆卸，可通过拆卸进行对脱落的光刻胶产生的硬性物质进行倒出，完成充分的脱胶工作，方便下一次的使用，提高了装置的实用性，便于使用者使用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种便于脱胶的光刻胶注射器


[0001]本技术涉及一种注射器，涉及光刻胶注射器
，具体涉及一种便于脱胶的光刻胶注射器。

技术介绍

[0002]光刻胶是由感光树脂、增感剂和溶剂等混合而成的溶剂型基础化学品，是光刻技术的重要组成部分。光刻胶单价偏高，在整个成本核算中，占比例较重，提高光刻胶利用率，为降本增效，提升企业竞争力的有效途径，光刻胶在涂布时会使用到注射器。
[0003]针对现有技术存在以下问题：
[0004]1、光刻胶在涂布时会使用到注射器，注射器将光刻胶喷射到晶圆上之后内部还存在残留，残留的光刻胶会硬化，硬化物质的颗粒物，下次使用时会随着光刻工序附着在晶圆上，使微电路被颗粒物断路，造成缺陷，进而影响整批半导体产品的良率，未及时脱胶变成硬性物质后难以使用，造成浪费；
[0005]2、去除注射器内部残余的光刻胶工艺繁琐，注射器难以拆卸再组装完成，脱胶后不易于倒出，使得脱胶工序完成的不完整，降低了实用性。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种便于脱胶的光刻胶注射器，其中一种目的是为了具备可具备不浪费本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于脱胶的光刻胶注射器，包括注射器本体(1)和喷头装置(2)，所述注射器本体(1)的内部设置有活塞构件(12)，所述注射器本体(1)的底部活动连接有喷头装置(2)，其特征在于：所述活塞构件(12)的外壁固定安装有清理刮板(121)，所述活塞构件(12)的底部活动连接有挡板装置(13)，所述喷头装置(2)的顶部开设有喷头孔腔(21)；所述挡板装置(13)的左侧设置有活动挡板一(131)，所述挡板装置(13)的右侧设置有活动挡板二(132)；所述喷头孔腔(21)的内壁设置有喷头螺纹(22)，所述喷头螺纹(22)的表面活动连接有连接管螺纹(151)。2.根据权利要求1所述的一种便于脱胶的光刻胶注射器，其特征在于：所述注射器本体(1)的底部固定连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹伟，胡琪，李新章，
申请(专利权)人：南通睿沣新材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：