本发明专利技术涉及晶圆半导体定位技术领域，具体地说，涉及一种侧边点压式晶圆半导体定位装置。其包括固定装置和设置于固定装置内部的锁定装置；固定装置包括固定机构。本发明专利技术设计在晶圆半导体从安置槽推入时，带动滚轮转动，滚轮同时使升降柱和从动柱从晶圆半导体的上下两侧将其固定住，在晶圆半导体移动至设定位置时，使压板和限位架同时将晶圆半导体给固定住，同时卡杆将升降柱的位置给固定住，使其不能发生移动，实现晶圆半导体在牢牢固定住后不会松脱，相比于常见的定位装置，固定操作更加便捷，能够自动实现锁定效果，同时能够在固定完成后对晶圆半导体进行电镀、清洗等操作。清洗等操作。清洗等操作。
【技术实现步骤摘要】
一种侧边点压式晶圆半导体定位装置
[0001]本专利技术涉及晶圆半导体定位
，具体地说，涉及一种侧边点压式晶圆半导体定位装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，在晶圆半导体在使用之前需要对其进行电镀和清洗等操作，这就需要一种晶圆半导体特定的定位装置，常见的定位装置在使用时操作较为繁琐，如果忘记锁定会导致其脱落造成晶圆半导体的损伤，同时不便于对晶圆半导体表面进行操作，严重降低工作效率。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种侧边点压式晶圆半导体定位装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，提供了一种侧边点压式晶圆半导体定位装置，包括固定装置和设置于固定装置内部的锁定装置；
[0005]所述固定装置包括固定机构；
[0006]所述固定机构包括呈U形的固定板，所述固定板的底部设有支撑装置，所述固定板内壁的靠近中部位置开设有安置槽；
[0007]所述锁定装置包括定位机构，所述定位机构的一侧设有锁定机构；
[0008]所述定位机构包括滚轮，所述滚轮转动设置于安置槽一侧的底部，所述滚轮的一侧设有升降柱，所述升降柱的一侧固定连接有升降齿板，所述升降柱的底部设有从动柱，所述从动柱的一侧固定连接有从动齿板，所述升降柱和从动柱通过传动设备连接；
[0009]所述锁定机构包括呈楔形的主动块，所述主动块的顶端贯穿固定板且滑动设置于安置槽的底部，所述主动块的一侧设有限位架，所述限位架底端的一侧和主动块的一侧贴合，所述限位架顶部的一侧贴合有压板，所述压板的一侧固定连接有滑动齿板，所述压板滑动设置于安置槽的顶部，所述升降柱的一侧设有贯穿固定板的卡杆，所述卡杆的一侧固定连接有固定齿板，所述卡杆和升降柱卡接配合，所述压板的顶端固定连接有压力弹簧，所述压力弹簧和固定板固定连接，所述卡杆和压板通过同步装置连接。
[0010]作为本技术方案的进一步改进，所述支撑装置包括底座，所述底座两侧的顶部固定连接有支撑杆，所述支撑杆和固定板转动连接，所述固定板外壁的两侧固定连接有固定条。
[0011]作为本技术方案的进一步改进，一侧所述支撑杆的内部设有调节机构，所述调节机构包括套杆，所述套杆和固定板固定连接，所述套杆内壁的一侧滑动插接有插杆，所述插杆的一端固定连接有调节弹簧，所述调节弹簧和套杆固定连接。
[0012]作为本技术方案的进一步改进，所述插杆的一端固定连接有调节齿轮，所述支撑
杆的内壁开设有和调节齿轮吻合的齿槽，所述调节齿轮滑动设置于齿槽的内部，所述调节齿轮的一端固定连接有贯穿支撑杆的调节盘。
[0013]作为本技术方案的进一步改进，所述传动设备包括升降齿轮组，所述升降齿轮组由两个相互啮合的升降齿轮组成，所述升降齿轮转动设置于固定板的内部，一侧的所述升降齿轮和升降齿板啮合，另一侧的所述升降齿轮和滚轮通过传动机构连接，两个所述升降柱通过同步环连接。
[0014]作为本技术方案的进一步改进，所述从动齿板的一侧啮合有从动齿轮，所述从动齿轮和滚轮通过相同的传动机构连接，所述从动齿轮转动设置于固定板的内部。
[0015]作为本技术方案的进一步改进，所述同步装置包括锁定齿轮，所述锁定齿轮和滑动齿板啮合，所述锁定齿轮和固定板转动连接，所述锁定齿轮的两侧设有转向齿轮组，所述转向齿轮组由两个相互垂直且啮合的锥齿轮组成，顶部的所述锥齿轮和锁定齿轮固定连接。
[0016]作为本技术方案的进一步改进，所述固定齿板的一侧啮合有推动齿轮，所述推动齿轮和底部的锥齿轮通过相同的传动机构连接，所述主动块的底端固定连接有主动弹簧，所述主动弹簧和固定板固定连接。
[0017]作为本技术方案的进一步改进，所述压板底部固定连接有操作架，所述操作架的一侧固定连接有贯穿固定板的拨块。
[0018]作为本技术方案的进一步改进，所述卡杆外壁的靠近中部位置套接有限定套，所述限定套和固定条固定连接。
[0019]与现有技术相比，本专利技术的有益效果：
[0020]1、该侧边点压式晶圆半导体定位装置中，在晶圆半导体从安置槽推入时，带动滚轮转动，滚轮同时使升降柱和从动柱从晶圆半导体的上下两侧将其固定住，在晶圆半导体移动至设定位置时，使压板和限位架同时将晶圆半导体给固定住，同时卡杆将升降柱的位置给固定住，使其不能发生移动，实现晶圆半导体在牢牢固定住后不会松脱，相比于常见的定位装置，固定操作更加便捷，能够自动实现锁定效果，同时能够在固定完成后对晶圆半导体进行电镀、清洗等操作。
[0021]2、该侧边点压式晶圆半导体定位装置中，在晶圆半导体给固定完成后，能够通过调节机构将固定板的角度进行任意调节，便于操作者能够对晶圆半导体进行任意操作，提高工作效率。
[0022]3、该侧边点压式晶圆半导体定位装置中，快速便捷的将晶圆半导体给牢牢固定住之后，能够通过调节机构将其倾斜角度进行任意调节，相比于传统的定位装置操作更加简单便捷，并且具备自锁效果，避免操作者忘记将定位装置锁定导致晶圆半导体脱落。
附图说明
[0023]图1为本专利技术实施例1的整体结构示意图；
[0024]图2为本专利技术实施例1的固定装置的结构示意图；
[0025]图3为本专利技术实施例1的固定机构的结构示意图；
[0026]图4为本专利技术实施例1的调节机构的结构示意图；
[0027]图5为本专利技术实施例1的锁定装置的结构示意图；
[0028]图6为本专利技术实施例1的定位机构的结构示意图之一；
[0029]图7为本专利技术实施例1的定位机构的结构示意图之二；
[0030]图8为本专利技术实施例1的锁定机构的结构示意图之一；
[0031]图9为本专利技术实施例1的锁定机构的结构示意图之二；
[0032]图10为本专利技术实施例1的锁定机构的结构示意图之三。
[0033]图中各个标号意义为：
[0034]100、固定装置；
[0035]110、固定机构；111、底座；112、固定板；113、安置槽；114、支撑杆；115、固定条；120、调节机构；121、调节盘；122、调节齿轮；123、插杆；124、调节弹簧；125、套杆；
[0036]200、锁定装置；
[0037]210、定位机构；211、同步环；212、升降柱；213、升降齿轮组；214、滚轮；215、从动齿轮；216、从动柱；220、锁定机构；221、主动块；2211、主动弹簧；222、限位架；223、压板；2231、压力弹簧；224、操作架；2241、拨块；225、锁定齿轮；226、转向齿轮组；227、推动齿轮；228、卡杆。
具体实施方式
[0038]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种侧边点压式晶圆半导体定位装置，其特征在于：包括固定装置(100)和设置于固定装置(100)内部的锁定装置(200)；所述固定装置(100)包括固定机构(110)；所述固定机构(110)包括呈U形的固定板(112)，所述固定板(112)的底部设有支撑装置，所述固定板(112)内壁的靠近中部位置开设有安置槽(113)；所述锁定装置(200)包括定位机构(210)，所述定位机构(210)的一侧设有锁定机构(220)；所述定位机构(210)包括滚轮(214)，所述滚轮(214)转动设置于安置槽(113)一侧的底部，所述滚轮(214)的一侧设有升降柱(212)，所述升降柱(212)的一侧固定连接有升降齿板，所述升降柱(212)的底部设有从动柱(216)，所述从动柱(216)的一侧固定连接有从动齿板，所述升降柱(212)和从动柱(216)通过传动设备连接；所述锁定机构(220)包括呈楔形的主动块(221)，所述主动块(221)的顶端贯穿固定板(112)且滑动设置于安置槽(113)的底部，所述主动块(221)的一侧设有限位架(222)，所述限位架(222)底端的一侧和主动块(221)的一侧贴合，所述限位架(222)顶部的一侧贴合有压板(223)，所述压板(223)的一侧固定连接有滑动齿板，所述压板(223)滑动设置于安置槽(113)的顶部，所述升降柱(212)的一侧设有贯穿固定板(112)的卡杆(228)，所述卡杆(228)的一侧固定连接有固定齿板，所述卡杆(228)和升降柱(212)卡接配合，所述压板(223)的顶端固定连接有压力弹簧(2231)，所述压力弹簧(2231)和固定板(112)固定连接，所述卡杆(228)和压板(223)通过同步装置连接。2.根据权利要求1所述的侧边点压式晶圆半导体定位装置，其特征在于：所述支撑装置包括底座(111)，所述底座(111)两侧的顶部固定连接有支撑杆(114)，所述支撑杆(114)和固定板(112)转动连接，所述固定板(112)外壁的两侧固定连接有固定条(115)。3.根据权利要求2所述的侧边点压式晶圆半导体定位装置，其特征在于：一侧所述支撑杆(114)的内部设有调节机构(120)，所述调节机构(120)包括套杆(125)，所述套杆(125)和固定板(112)固定连接，所述套杆(125)内壁的一侧滑动插接有插杆(12...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪翼凡，
申请(专利权)人：汪翼凡，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。