一种用于半导体加工的精密定位升降台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体加工的精密定位升降台，包括底座，所述底座的内部嵌设有电机，电机的输出轴上固接有齿轮，齿轮与齿圈相啮合，齿圈固设在螺纹柱底端的外壁上，螺纹柱的底端通过轴承座转动连接在底座内，螺纹柱的顶端螺旋传动连接在升降柱内，升降柱的顶端延伸至底座外部并与固定板的底部固接，此用于半导体加工的精密定位升降台，区别于现有技术，实现整个工作台的升降过程，方便对半导体的加工作业，可调节半导体的加工角度，具备调节功能，且调节方便，将半导体夹紧在活动板上，实现半导体的定位加工作业，对半导体装夹简单快捷，可提高半导体的加工效率预先设定上升距离，从而能够实现精准的工作台上升过程。从而能够实现精准的工作台上升过程。从而能够实现精准的工作台上升过程。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体加工的精密定位升降台


[0001]本技术涉及半导体加工设备
，具体为一种用于半导体加工的精密定位升降台。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。
[0003]目前，在半导体加工
，需要用到高精度定位要求的精密测量仪器、精密装配机等，这些仪器上面需要配备多种高精度的定位升降工作台，但现有的升降台结构简单，难以调节半导体的加工角度，同时难以对半导体进行快速装夹，使用不方便，为此，我们提出一种用于半导体加工的精密定位升降台。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于半导体加工的精密定位升降台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于半导体加工的精密定位升降台，包括底座，所述底座的内部嵌设有电机，电机的输出轴上固接有齿轮，齿轮与齿圈相啮合，齿圈固设在螺纹柱底端的外壁上，螺纹柱的底端通过轴承座转动连接在底座内，螺纹柱的顶端螺旋传动连接在升降柱内，升降柱的顶端延伸至底座外部并与固定板的底部固接，固定板上铰接有活动板，活动板靠近下方的表面固接有固定夹板，活动板靠近上方的表面固设有定位组件并通过定位组件活动连接有活动夹板。
[0006]作为优选，所述升降柱靠近底端的外壁上固接有多个滑动块，滑动块滑动在底座内壁上开设的滑动槽内。
[0007]作为优选，所述固定板的表面开设有调节槽，调节槽内滑动有调节块，调节块螺旋传动连接在调节螺杆的外壁上，调节螺杆转动连接在调节槽内，调节螺杆的一端延伸至固定板的外侧，调节块的表面通过铰接杆与活动板的底部相铰接。
[0008]作为优选，所述定位组件包括固接在活动板上方侧壁处的固定块，固定块上转动连接有活动臂，活动板远离固定块的一端处固接有固定环，活动板的两侧壁均通过连杆与活动夹板的侧壁相铰接。
[0009]作为优选，所述活动夹板的两端内侧均设有限位部并通过限位部滑动在活动板两侧壁上开设的限位槽内。
[0010]作为优选，所述底座上固接有处于固定板一侧的竖板，竖板上套设有移动块，移动块的侧壁上螺纹连接有调节螺栓，移动块的底部安装有止动开关，止动开关与电机电性连
接，竖板的侧壁上还设有高度刻度线。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、通过电机、齿轮、齿圈、螺纹柱和升降柱的设置，从而实现整个工作台的升降过程，方便对半导体的加工作业；
[0013]2、通过调节螺杆、调节块和铰接杆的设置，从而可调节半导体的加工角度，具备调节功能，且调节方便；
[0014]3、通过定位组件的设置，利用活动夹板和固定夹板的配合使用，从而将半导体夹紧在活动板上，实现半导体的定位加工作业，对半导体装夹简单快捷，可提高半导体的加工效率；
[0015]4、通过移动块、调节螺栓和止动开关的设置，当固定板上移时，固定板可抵触到止动开关，从而停止电机工作，预先设定上升距离，从而能够实现精准的工作台上升过程。
附图说明
[0016]图1为本技术整体的结构示意图；
[0017]图2为本技术固定板和活动板连接处侧视的结构示意图；
[0018]图3为本技术底座和升降柱部分剖视的结构示意图；
[0019]图4为本技术竖板上各部件的结构示意图。
[0020]图中：1、底座；2、电机；3、齿轮；4、齿圈；5、螺纹柱；6、升降柱；7、滑动块；8、固定板；9、活动板；10、调节螺杆；11、调节块；12、铰接杆；13、固定夹板；14、定位组件；141、固定块；142、活动臂；143、固定环；144、连杆；15、活动夹板；16、竖板；17、移动块；18、调节螺栓；19、止动开关；20、高度刻度线。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：一种用于半导体加工的精密定位升降台，包括底座1，底座1的内部嵌设有电机2，电机2的输出轴上固接有齿轮3，齿轮3与齿圈4相啮合，齿圈4固设在螺纹柱5底端的外壁上，螺纹柱5的底端通过轴承座转动连接在底座1内，螺纹柱5的顶端螺旋传动连接在升降柱6内，升降柱6的顶端延伸至底座1外部并与固定板8的底部固接，固定板8上铰接有活动板9，活动板9靠近下方的表面固接有固定夹板13，活动板9靠近上方的表面固设有定位组件14并通过定位组件14活动连接有活动夹板15。
[0023]进一步地，升降柱6靠近底端的外壁上固接有多个滑动块7，滑动块7滑动在底座1内壁上开设的滑动槽内；滑动块7可用于限制升降柱6转动，保持升降柱6在升降过程中的稳定性。
[0024]进一步地，固定板8的表面开设有调节槽，调节槽内滑动有调节块11，调节块11螺旋传动连接在调节螺杆10的外壁上，调节螺杆10转动连接在调节槽内，调节螺杆10的一端延伸至固定板8的外侧，调节块11的表面通过铰接杆12与活动板9的底部相铰接；可调节半
导体的加工角度，具备调节功能，且调节方便。
[0025]进一步地，定位组件14包括固接在活动板9上方侧壁处的固定块141，固定块141上转动连接有活动臂142，活动板9远离固定块141的一端处固接有固定环143，活动板9的两侧壁均通过连杆144与活动夹板15的侧壁相铰接；利用活动夹板15和固定夹板13的配合使用，从而将半导体夹紧在活动板9上，实现半导体的定位加工作业，对半导体装夹简单快捷，可提高半导体的加工效率。
[0026]进一步地，活动夹板15的两端内侧均设有限位部并通过限位部滑动在活动板9两侧壁上开设的限位槽内；保持活动夹板15在装夹过程中的稳定性。
[0027]进一步地，底座1上固接有处于固定板8一侧的竖板16，竖板16上套设有移动块17，移动块17的侧壁上螺纹连接有调节螺栓18，移动块17的底部安装有止动开关19，止动开关19与电机2电性连接，竖板16的侧壁上还设有高度刻度线20；当固定板8上移时，固定板8可抵触到止动开关19，从而停止电机2工作，预先设定上升距离，从而能够实现精准的工作台上升过程。
[0028]本方案，在使用时，启动电机2工作，电机2通过齿轮3与齿圈4的啮合作用带动螺纹柱5旋转，螺纹柱5通过与升降柱6的螺旋传动作用使固定板8上下移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体加工的精密定位升降台，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的内部嵌设有电机(2)，电机(2)的输出轴上固接有齿轮(3)，齿轮(3)与齿圈(4)相啮合，齿圈(4)固设在螺纹柱(5)底端的外壁上，螺纹柱(5)的底端通过轴承座转动连接在底座(1)内，螺纹柱(5)的顶端螺旋传动连接在升降柱(6)内，升降柱(6)的顶端延伸至底座(1)外部并与固定板(8)的底部固接，固定板(8)上铰接有活动板(9)，活动板(9)靠近下方的表面固接有固定夹板(13)，活动板(9)靠近上方的表面固设有定位组件(14)并通过定位组件(14)活动连接有活动夹板(15)。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工的精密定位升降台，其特征在于：所述升降柱(6)靠近底端的外壁上固接有多个滑动块(7)，滑动块(7)滑动在底座(1)内壁上开设的滑动槽内。3.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工的精密定位升降台，其特征在于：所述固定板(8)的表面开设有调节槽，调节槽内滑动有调节块(11)，调节块(11)螺旋传动连接在调节螺杆(10)的外壁上，调节螺杆(10)转动连接在调节槽内...

【专利技术属性】
技术研发人员：许云飞，
申请(专利权)人：斯棨信息科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：