一种光罩盒制造技术

本申请公开了一种光罩盒，该光罩盒包括底板、侧板和盖板。侧板绕设于所述底板的外周且与底板之间形成用于放置光罩的安装区间，该安装区间具有第一端口。盖板与底板沿第一直线方向间隔分布且盖设于第一端口处，盖板与侧板之间沿第二直线方向可滑动连接，第二直线方向与第一直线方向相交。当盖板在侧板上滑动时，光罩盒外的灰尘或微粒会跟随着空气从第一端口的正上方进入盒内，从而避免灰尘或微粒从光罩盒内侧进入安装区间的底端，以减少灰尘或微粒对光罩的污染，保证盒内光罩的质量。保证盒内光罩的质量。保证盒内光罩的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种光罩盒


[0001]本申请涉及光罩辅助设备
，尤其涉及一种光罩盒。

技术介绍

[0002]在半导体制造工艺中，光刻是其中重要的环节之一，主要是利用光蚀刻技术，将光罩上的图案复制到晶圆上。因此，光罩的洁净度是保证光刻质量的重要因素。光罩在传送过程中，通常夹设在光罩盒内，以防止光罩被外界的灰尘、微粒等污染。
[0003]然而，当打开光罩盒夹取光罩时，盒外部分灰尘或微粒因气流扰动，会被带入光罩盒内，从而污染光罩盒内的光罩。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供了一种光罩盒，用于解决打开光罩盒时微粒污染光罩的问题。所述的技术方案如下：
[0005]本申请实施例提供了一种光罩盒，该光罩盒包括：
[0006]底板；
[0007]侧板，侧板绕设于底板的外周且与底板之间形成用于放置光罩的安装区间，安装区间具有第一端口；
[0008]盖板，盖板与底板沿第一直线方向间隔分布且盖设于第一端口处，盖板与侧板之间沿第二直线方向可滑动连接，第二直线方向与第一直线方向相交。
[0009]在上述技术方案中，由于光罩放置在光罩盒内时，光罩的薄膜面可以放置于安装区间的底端，而光罩的玻璃面可以置于安装区间的上方靠近第一端口处，因此将光罩盒上的盖板设置为在侧板上沿第二直线方向滑动连接，当光罩盒打开时，可阻止灰尘或微粒随着空气流动从侧面进入光罩盒内并污染处于安装区间下方位置的薄膜面的情况，而可以让微粒从光罩盒内第一端口的正面方向进入光罩盒内并集中附着在光罩的玻璃面上，从而防止灰尘或微粒污染光罩的薄膜面，以保证光罩的质量。通过该设计，可有效的减少光罩被灰尘或微粒污染的可能，增加光罩盒的防护效果。
[0010]在其中一些实施例中，盖板包括第一盖体及第二盖体，第一盖体及第二盖体沿第二直线方向分布且均与侧板沿第二直线方向可滑动连接。
[0011]在上述技术方案中，具体地将光罩盒的盖板分为两个子盖体，且两个子盖体均可在侧板上沿第二直线方向滑动。当需要打开光罩盒时，第一盖体和第二盖体在侧板上沿平行于第二直线方向且相互远离的方向滑动，即光罩盒的开口从中间向两边逐渐变大，此时光罩盒外的灰尘或微粒会随着空气从光罩盒的第一端口的中间区域进入光罩盒内，并集中附着在光罩玻璃面的中间区域上。通过上述设计，可阻止灰尘或微粒随空气从光罩盒的侧面进入安装区间底部污染光罩的薄膜面的情况，以保证光罩的质量。
[0012]在其中一些实施例中，第一盖体上设置有第一滑块、沿第二直线方向分布的第一滑槽中的一种，侧板上设置有第一滑块、第一滑槽中的另一种，第一滑块位于第一滑槽内且
可在第一滑槽内滑动；或，第二盖体上设置有第二滑块、沿第二直线方向分布的第二滑槽中的一种，侧板上设置有第二滑块、第二滑槽中的另一种，第二滑块位于第二滑槽内且可在第二滑槽内滑动。
[0013]在上述技术方案中，通过第一滑块位于第一滑槽内且可在第一滑槽内滑动，实现第一盖体在侧板上的滑动的目的，具体地，若第一滑块设置在第一盖体上，则第一滑槽设置于侧板上，若第一滑块设置于侧板上，则第一滑槽设置于第一盖体上；或，通过第二滑块位于第二滑槽内且可在第二滑槽内滑动，实现第二盖体在侧板上的滑动的目的，具体地，若第二滑块设置在第二盖体上，则第二滑槽设置于侧板上，若第二滑块设置于侧板上，则第二槽设置于第二盖体上。
[0014]在其中一些实施例中，第一盖体上设置有第一滑块且第二盖体上设置有第二滑块，侧板上设置有第一滑槽及第二滑槽，第一滑槽与第二滑槽连通。
[0015]在上述技术方案中，将第一滑槽和第二滑槽均设置在侧板上且使第一滑槽和第二滑槽连接，可以减少侧板加工的工序，提高侧板的制造效率，同时也可以便于光罩盒的组装，提供光罩盒的组装效率。
[0016]在其中一些实施例中，第一滑块包括第一结构部和第二结构部，第二结构部的一端与第一结构部的中部连接，第二结构部的另一端与第一盖体连接，第一滑槽包括第一槽体和与第一槽体连通的第二槽体，第一槽体与第一结构部相适配，第一结构部位于第一槽体内且可在第一槽体内滑动，第二槽体与第二结构部相适配，第二结构部位于第二槽体内且可在第二槽体内滑动；
[0017]第二滑块包括第三结构部和第四结构部，第四结构部的一端与第三结构部的中部连接，第四结构部的另一端与第二盖体连接，第二滑槽包括第三槽体和与第三槽体连通的第四槽体，第三槽体与第三结构部相适配，第三结构部位于第三槽体内且可在第三槽体内滑动，第四槽体与第四结构部相适配，第四结构部位于第四槽体内且可在第四槽体内滑动。
[0018]在上述技术方案中，将第一滑块和第二滑块均设置为T型滑块，第一滑槽是与第一滑块相适配的T型凹槽，第二滑槽是与第二滑块相适配的T型凹槽。可在第一滑块和第二滑块分别位于第一滑槽和第二滑槽时，第一滑块和第二滑块不会轻易脱落，且增加了第一盖体和第二盖体在侧板上滑动连接的稳定性，保证光罩盒防止灰尘或微粒污染光罩的功能实现。
[0019]在其中一些实施例中，第一盖体面向第二盖体的一侧设置有第一凹槽，第一凹槽的内壁面包括第一内壁面、与第一内壁面间隔设置的第二内壁面和连接于第一内壁面与第二内壁面之间的第三内壁面，第二盖体面向第一盖体的一侧设置有安装部，安装部位于第一凹槽内，且安装部均与第一内壁面和第二内壁面贴合，安装部与第三内壁面之间具有间隙。
[0020]在上述技术方案中，通过将第二盖体上设置的安装部与第一盖体上设置的第一凹槽相配合，并且安装部与第一凹槽的第三内壁之间存在间隙，可使得在光罩盒闭合时，光罩盒外的部分灰尘或微粒会在随空气通过安装部和第三内壁面的过程中，被阻挡并堆积在安装部与第三内壁面之间的间隙中，而不会进入光罩盒内。通过上述的设计，在光罩盒闭合时，可有效的防止盒外的灰尘或微粒通过光罩盒上方的缝隙进入光罩盒内污染光罩，可以提高光罩盒的防尘效果。
[0021]在其中一些实施例中，光罩盒还包括：
[0022]锁扣，锁扣具有第一锁体和第二锁体，第一锁体与第一盖体连接，第二锁体与第二盖体连接，第二锁体与第一锁体可拆卸连接。
[0023]在上述技术方案中，第一盖体和第二盖体的连接是通过第一锁体和第二锁体的可拆卸连接实现的。当光罩盒关闭时，第一锁体与第二锁体可以连接，以保证第一盖体和第二盖体之间的锁死，并在光罩的运输过程中不会各自移动，影响光罩盒的正常作用；当光罩盒打开时，将第一锁体与第二锁体可以解锁，以使第一盖体与第二盖体在侧板上沿互相远离的方向滑动，从而方便取出光罩盒内的光罩。
[0024]在其中一些实施例中，光罩盒还包括：
[0025]防护件，防护件位于安装区间内且覆盖第一端口，防护件与底板之间用于放置光罩。
[0026]在上述技术方案中，通过防护件覆盖安装区间的第一端口，当光罩盒打开时，可以使得进入盒内的灰尘或微粒被防护件阻挡，并附着在防护件上，从而防止灰尘或微粒进一步进入安装区间内污染放置其中的光罩，保证光罩的质量。通过上述设计，可进一步提高光罩盒防尘的效果。
[0027本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光罩盒，其特征在于，包括：底板；侧板，所述侧板绕设于所述底板的外周且与所述底板之间形成用于放置光罩的安装区间，所述安装区间具有第一端口；盖板，所述盖板与所述底板沿第一直线方向间隔分布且盖设于所述第一端口处，所述盖板与所述侧板之间沿第二直线方向可滑动连接，所述第二直线方向与所述第一直线方向相交。2.如权利要求1所述光罩盒，其特征在于，所述盖板包括第一盖体及第二盖体，所述第一盖体及所述第二盖体沿所述第二直线方向分布且均与所述侧板沿所述第二直线方向可滑动连接。3.如权利要求2所述光罩盒，其特征在于，所述第一盖体上设置有第一滑块、沿所述第二直线方向分布的第一滑槽中的一种，所述侧板上设置有所述第一滑块、所述第一滑槽中的另一种，所述第一滑块位于所述第一滑槽内且可在所述第一滑槽内滑动；和/或所述第二盖体上设置有第二滑块、沿所述第二直线方向分布的第二滑槽中的一种，所述侧板上设置有所述第二滑块、所述第二滑槽中的另一种，所述第二滑块位于所述第二滑槽内且可在所述第二滑槽内滑动。4.如权利要求3所述光罩盒，其特征在于，所述第一盖体上设置有所述第一滑块且所述第二盖体上设置有所述第二滑块，所述侧板上设置有所述第一滑槽及所述第二滑槽，所述第一滑槽与所述第二滑槽连通。5.如权利要求4所述光罩盒，其特征在于，所述第一滑块包括第一结构部和第二结构部，所述第二结构部的一端与所述第一结构部的中部连接，所述第二结构部的另一端与所述第一盖体连接，所述第一滑槽包括第一槽体和与所述第一槽体连通的第二槽体，所述第一槽体与所述第一结构部相适配，所述第一结构部位于所述第一槽体内且可在所述第一槽体内滑动，所述第二槽体与所述第二结构部相适配，所述第二结构部位于所述第二槽体内且可在所述第二槽体内滑动；或，所述第二滑块包括第三结构部和第四结构部，所述第四结构部的一端与...

【专利技术属性】
技术研发人员：张迪，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：