一种用于硅单晶片的酸洗机制造技术

技术编号:34534871 阅读:15 留言:0更新日期:2022-08-13 21:29
本实用新型专利技术公开了一种用于硅单晶片的酸洗机,涉及硅单晶片生产技术领域,针对人工进行酸洗效率低,效果差,长时间进行人工酸洗会对身体造成伤害的问题,现提出如下方案,包括机体,所述机体的内部底端固定连接有电机,所述电机的输出轴固定连接有驱动杆,所述驱动杆的顶部固定连接有工作台,所述驱动杆的下方固定套设有第一皮带轮;所述机体的内部右侧转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的下端固定套设有第二皮带轮,所述第二皮带轮与第一皮带轮的外部套设有皮带,所述螺纹杆上螺纹套设有移动板。本实用新型专利技术不仅可以通过夹板进行快速定位加持固定处理,同时可以对硅单晶片主体进行自动清洗处理,有效的提高了硅单晶片酸洗的效率和效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅单晶片的酸洗机


[0001]本技术涉及硅单晶片生产
,尤其涉及一种用于硅单晶片的酸洗机。

技术介绍

[0002]硅单晶片是半导体的主要基片材料之一,硅单晶在生产过程中由于晶体生长可能出现晶体内缺陷,也可由于制备过程中留下的机械损伤以及污染导致半导体成品率的降低,为获得表面光洁、平整的硅片,提高半导体成品率,对硅片必需进行研磨和抛光,研磨可使晶片表面达到微米级加工精度,但硅片经研磨后还会有一定的损伤层,需在抛光机中进行抛光,硅单晶片加工完成后需要对其表面进行酸洗处理,利用酸溶液去除钢铁表面上的氧化皮和锈蚀物的方法称为酸洗,是清洁金属表面的一种方法,现有的酸洗方式是通过人工进行清洗,人工进行清洗无法掌握清洗的力度,容易导致硅单晶片的表面造成损伤,同时人工清理效率低,同时人工长时间进行酸洗对人体有害,为此,我们提出了一种用于硅单晶片的酸洗机。

技术实现思路

[0003]本技术提出的一种用于硅单晶片的酸洗机,解决了人工进行酸洗效率低,效果差,长时间进行人工酸洗会对身体造成伤害的问题。
[0004]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0005]一种用于硅单晶片的酸洗机,包括机体,所述机体的内部底端固定连接有电机,所述电机的输出轴固定连接有驱动杆,所述驱动杆的顶部固定连接有工作台,所述驱动杆的下方固定套设有第一皮带轮;
[0006]所述机体的内部右侧转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的下端固定套设有第二皮带轮,所述第二皮带轮与第一皮带轮的外部套设有皮带,所述螺纹杆上螺纹套设有移动板,所述移动板的左侧固定连接有连接板,所述螺纹杆的下端设有限位机构;
[0007]所述连接板上开设有放置孔,所述放置孔的内部左右两边分别开设有空腔,两个所述空腔的内部分别活动套设有阻力弹簧,两个所述阻力弹簧的另一端分别固定连接有连接块,两个所述连接块的另一端分别固定连接有夹板,位于左侧所述连接块的顶部固定连接有操作板。
[0008]优选的,所述机体的内部固定连接有阻隔板,所述阻隔板的顶部左侧固定连接有导向杆,所述导向杆上活动套设有导向板,所述导向板的右侧与连接板的左侧固定连接。
[0009]优选的,所述机体的内部下方固定连接有固定板,所述固定板上开设有第一活动孔,所述驱动杆活动套设在第一活动孔的内部,所述螺纹杆的底部与固定板的顶部右侧转动连接。
[0010]优选的,所述限位机构包括与阻隔板的顶部右侧固定连接的限位弹簧,所述阻隔板上开设有两个第二活动孔,所述驱动杆活动套设在位于左侧的第二活动孔的内部,所述螺纹杆活动贯穿限位弹簧并活动套设在位于右侧的第二活动孔的内部。
[0011]优选的,所述工作台的顶部固定连接有清洗海绵,位于左侧空腔的顶部开设有移动槽,所述操作板活动套设在移动槽的内部。
[0012]优选的,所述机体的顶部开设有通口,所述通口的顶部左侧铰接有盖板,所述机体的底部固定连接有垫块。
[0013]与现有的技术相比,本技术的有益效果是:本技术通过安装电机;驱动杆;第一皮带轮;工作台;清洗海绵;螺纹杆;第二皮带轮;皮带;移动板;连接板;连接块;阻力弹簧;操作板;夹板;阻隔板;导向杆;导向板;限位弹簧;固定板;盖板等机构,该设备设计新颖,操作简单,该设备不仅可以通过夹板进行快速定位加持固定处理,同时可以对硅单晶片主体进行自动清洗处理,有效的提高了硅单晶片酸洗的效率和效果。
附图说明
[0014]图1为本技术提出的一种用于硅单晶片的酸洗机的第一工作状态剖面结构示意图;
[0015]图2为本技术提出的一种用于硅单晶片的酸洗机的第二工作状态剖面结构示意图;
[0016]图3为本技术提出的一种用于硅单晶片的酸洗机的连接板的俯视结构示意图。
[0017]图中:1、机体;2、电机;3、驱动杆;4、第一皮带轮;5、工作台;6、清洗海绵;7、螺纹杆;8、第二皮带轮;9、皮带;10、移动板;11、连接板;12、连接块;13、阻力弹簧;14、操作板;15、夹板;16、阻隔板;17、导向杆;18、导向板;19、限位弹簧;20、固定板;21、盖板;22、硅单晶片主体。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0019]参照图1

3,本方案提供的一种实施例:一种用于硅单晶片的酸洗机,包括机体1,机体1的内部底端固定连接有电机2,电机2的输出轴固定连接有驱动杆3,驱动杆3的顶部固定连接有工作台5,驱动杆3的下方固定套设有第一皮带轮4;
[0020]机体1的内部右侧转动连接有螺纹杆7,螺纹杆7的下端固定套设有第二皮带轮8,第二皮带轮8与第一皮带轮4的外部套设有皮带9,螺纹杆7上螺纹套设有移动板10,移动板10的左侧固定连接有连接板11,螺纹杆7的下端设有限位机构;
[0021]连接板11上开设有放置孔,放置孔的内部左右两边分别开设有空腔,两个空腔的内部分别活动套设有阻力弹簧13,两个阻力弹簧13的另一端分别固定连接有连接块12,两个连接块12的另一端分别固定连接有夹板15,位于左侧连接块12的顶部固定连接有操作板14。
[0022]本实施例中,机体1的内部固定连接有阻隔板16,阻隔板16的顶部左侧固定连接有导向杆17,导向杆17上活动套设有导向板18,导向板18的右侧与连接板11的左侧固定连接。
[0023]本实施例中,机体1的内部下方固定连接有固定板20,固定板20上开设有第一活动
孔,驱动杆3活动套设在第一活动孔的内部,螺纹杆7的底部与固定板20的顶部右侧转动连接。
[0024]本实施例中,限位机构包括与阻隔板16的顶部右侧固定连接的限位弹簧19,阻隔板16上开设有两个第二活动孔,驱动杆3活动套设在位于左侧的第二活动孔的内部,螺纹杆7活动贯穿限位弹簧19并活动套设在位于右侧的第二活动孔的内部。
[0025]本实施例中,工作台5的顶部固定连接有清洗海绵6,位于左侧空腔的顶部开设有移动槽,操作板14活动套设在移动槽的内部。
[0026]本实施例中,机体1的顶部开设有通口,通口的顶部左侧铰接有盖板21,机体1的底部固定连接有垫块。
[0027]工作原理,首先,将机体1的内部注满清洗液,通过将操作板14向左移动将硅单晶片主体22放置在两个夹板15之间,通过阻力弹簧13使连接块12向中间移动,通过连接块12向中间移动会带动夹板15向中间移动对硅单晶片主体22进行夹持固定处理;
[0028]通过电机2的启动会带动驱动杆3的转动驱动杆3的转动会同步带动第一皮带轮4和工作台5的转动,第一皮带轮4的转动会通过皮带9带动第二皮带轮8的转动,通过第二皮带轮8的转动会带动螺纹杆7的转动,通过螺纹杆7的转动会带动移动板10向下移动,移动板10向下移动的同时会带动连接板11通过导本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅单晶片的酸洗机,包括机体(1),其特征在于,所述机体(1)的内部底端固定连接有电机(2),所述电机(2)的输出轴固定连接有驱动杆(3),所述驱动杆(3)的顶部固定连接有工作台(5),所述驱动杆(3)的下方固定套设有第一皮带轮(4);所述机体(1)的内部右侧转动连接有螺纹杆(7),所述螺纹杆(7)的下端固定套设有第二皮带轮(8),所述第二皮带轮(8)与第一皮带轮(4)的外部套设有皮带(9),所述螺纹杆(7)上螺纹套设有移动板(10),所述移动板(10)的左侧固定连接有连接板(11),所述螺纹杆(7)的下端设有限位机构;所述连接板(11)上开设有放置孔,所述放置孔的内部左右两边分别开设有空腔,两个所述空腔的内部分别活动套设有阻力弹簧(13),两个所述阻力弹簧(13)的另一端分别固定连接有连接块(12),两个所述连接块(12)的另一端分别固定连接有夹板(15),位于左侧所述连接块(12)的顶部固定连接有操作板(14)。2.根据权利要求1所述的一种用于硅单晶片的酸洗机,其特征在于,所述机体(1)的内部固定连接有阻隔板(16),所述阻隔板(16)的顶部左侧固定连接有导向杆(17),所述导向杆(17)上活动套设有导向板(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:王世江吴启宝
申请(专利权)人:马鞍山市世辰半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1