基于硅与锗锑碲复合纳米柱阵列可调谐的红外窄带滤光片制造技术

本发明专利技术公开一种基于硅与锗锑碲复合纳米柱阵列可调谐的红外窄带滤光片，包括衬底及形成于衬底表面的硅与锗锑碲复合纳米柱阵列；所述硅与锗锑碲复合纳米柱阵列包括多个周期性排布的硅与锗锑碲复合纳米柱，所述硅与锗锑碲复合纳米柱自下而上为硅、锗锑碲、硅三层纳米柱结构，所述硅与锗锑碲复合纳米柱三层的横截面都为矩形且尺寸相同；所述红外窄带滤光片的工作波长可通过锗锑碲相变动态调节。进一步，本发明专利技术还提出制备上述可调谐的红外窄带滤光片的方法。本发明专利技术在红外波段可以实现反射型窄带滤光片，并且滤光片的工作波长可以通过锗锑碲相变动态调节。碲相变动态调节。碲相变动态调节。

【技术实现步骤摘要】
基于硅与锗锑碲复合纳米柱阵列可调谐的红外窄带滤光片


[0001]本专利技术属于光电功能器件
，具体涉及一种基于硅与锗锑碲复合纳米柱阵列可调谐的红外窄带滤光片。

技术介绍

[0002]窄带滤光片在化学光谱学、超光谱成像、红外天文学等领域有着重要的应用。传统上，人们利用干涉效应设计各种窄带滤光片，通过调节法布里
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珀罗腔的厚度选择不同波长光的输出实现滤光功能。但是，基于这种方法制备出的窄带滤光片体积较大，不利于制作片上可集成的光学器件。最近，利用超构材料设计窄带滤光片引起人们广泛的研究，其具有体积小以及设计灵活等优势。超构材料是由亚波长金属或介质微纳结构组成，这些微纳结构可以激发各种共振模式，在反射谱或透射谱表现出一些峰，从而在这些峰的波长可以实现滤光功能。人们通过调节金属或介质微纳结构的几何参数在可见光、红外光、太赫兹波和微波等波长范围实现了各种窄带滤光片。
[0003]尽管人们已经利用超构材料设计出各种窄带滤光片，但是这些器件一旦被制备完成，其工作波长也就固定。在实际应用中，人们希望滤光片的工作波长可以被动态调节本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于硅与锗锑碲复合纳米柱阵列可调谐的红外窄带滤光片，其特征在于，包括衬底及形成于衬底表面的硅与锗锑碲复合纳米柱阵列；所述硅与锗锑碲复合纳米柱阵列包括多个周期性排布的硅与锗锑碲复合纳米柱，所述硅与锗锑碲复合纳米柱自下而上为硅、锗锑碲、硅三层纳米柱结构，所述硅与锗锑碲复合纳米柱三层的横截面都为矩形且尺寸相同；所述红外窄带滤光片的工作波长可通过锗锑碲相变动态调节。2.如权利要求1所述的可调谐的红外窄带滤光片，其特征在于，所述硅与锗锑碲复合纳米柱横截面的长为1000～1500nm，宽为500～750nm。3.如权利要求1所述的可调谐的红外窄带滤光片，其特征在于，所述硅与锗锑碲复合纳米柱中硅、锗锑碲、硅三层结构的厚度自下而上分别为150～250nm，20～50n...

【专利技术属性】
技术研发人员：束方洲，吕旺泽，陶一，张冬芹，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：发明
国别省市：