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基于硅与锗锑碲复合纳米柱阵列可调谐的红外窄带滤光片制造技术
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下载基于硅与锗锑碲复合纳米柱阵列可调谐的红外窄带滤光片的技术资料
文档序号:34533863
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本发明公开一种基于硅与锗锑碲复合纳米柱阵列可调谐的红外窄带滤光片,包括衬底及形成于衬底表面的硅与锗锑碲复合纳米柱阵列;所述硅与锗锑碲复合纳米柱阵列包括多个周期性排布的硅与锗锑碲复合纳米柱,所述硅与锗锑碲复合纳米柱自下而上为硅、锗锑碲、硅三层...
该专利属于中国计量大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量大学授权不得商用。
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