一种磁通门传感器铁芯及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种磁通门传感器铁芯制备方法，包含以下步骤：S1，制作绝缘层；S2，制作电镀种子层；S3，制作电镀模具；S4，制作第一层薄膜铁芯：采用电镀工艺，在所述电镀模具上电镀出第一层薄膜铁芯，所述第一层薄膜铁芯由并行的多根条形铁芯组成，多根铁芯是指至少为2根铁芯；S5，清洗处理；S6，制作填充材料；S7，清洗，烘干。一种磁通门传感器铁芯，由所述磁通门传感器铁芯制备方法制造生成，单层的多根条形铁芯并列排布。本发明专利技术的优点是：多层条形铁芯结构可以进一步减小每根条形铁芯的横截面积，因此可以使退磁系数进一步减小，同样在铁芯总有效横截面积不变的情况下，既保证了磁通门灵敏度不受太大影响，又显著降低了磁通门噪声水平。又显著降低了磁通门噪声水平。又显著降低了磁通门噪声水平。

【技术实现步骤摘要】
一种磁通门传感器铁芯及其制备方法


[0001]本专利技术涉及传感器领域，尤其涉及一种磁通门传感器铁芯结构及其制备方法。

技术介绍

[0002]微型磁通门传感器在微型卫星、无人机、机器人等要求高稳定性的领域有很好的应用前景。很多文献中都对磁通门传感器进行了相关的介绍和说明。
[0003]文献1“Sources of Noise in a Magnetometer Based on Orthogonal Fluxgate Operated in Fundamental Mode.IEEE Transactions on Magnetics,2012,48(4):1508
‑
1511”研究表明，磁通门噪声的主要部分不是测量电路产生的，也不是激励电流的噪声引起的，噪声主要是软磁薄膜铁芯内部产生的。文献2“Detection of dynabeads in small bias magnetic field by a micro fluxgate
‑
based sensing system,Journal of本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁通门传感器铁芯制备方法，其特征在于，包含以下步骤：S1，制作绝缘层：以硅片作为基底，在所述硅片的抛光面上生长二氧化硅薄膜，所述二氧化硅薄膜作为绝缘层；S2，制作电镀种子层，在所述绝缘层上沉积铜作为电镀种子层；S3，制作电镀模具：在电镀种子层上旋涂光刻胶，用第一层铁芯掩膜版对准光刻显影，作为电镀模具；S4，制作第一层铁芯：采用电镀工艺，在所述电镀模具上电镀出第一层薄膜铁芯，所述第一层铁芯由并行的多根条形铁芯组成，多根铁芯是指至少为2根铁芯；S5，清洗处理：所述第一层薄膜铁芯电镀完成后，放入光刻胶清洗溶液中，去除光刻胶，之后进行清洗，烘干；S6，制作填充材料：在并行的多根条形铁芯之间制备填充材料；所述填充材料可以是光刻胶，也可以是抗磁材料；S7，清洗，烘干。2.如权利要求1所述的磁通门传感器铁芯制备方法，其特征在于：所述步骤S1中的所述硅片为单抛面硅片。3.如权利要求1所述的磁通门传感器铁芯制备方法，其特征在于：所述步骤S2中所述绝缘层上沉积铜采用磁控溅射工艺。4.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔智军，王磊，阎丽平，
申请(专利权)人：安康学院，
类型：发明
国别省市：