检查系统、检查方法及检查程序技术方案

提供一种检查系统、检查方法及检查程序，其用于降低检查员在检查系统中的工作负担。该检查系统包括：图像再现部，以从第一遮盖图像再现遮盖前的第一图像的方式被进行了训练，所述第一遮盖图像通过将拍摄检查对象物而得到的图像之中的、判断为未包含缺陷的第一图像的一部分遮盖而生成；以及判定部，基于通过将第二遮盖图像输入至所述图像再现部而再现的再现图像、以及第二图像，对在所述第二图像中是否包含缺陷进行判定，所述第二遮盖图像通过将拍摄新的检查对象物而得到的所述第二图像的一部分遮盖而生成。一部分遮盖而生成。一部分遮盖而生成。

【技术实现步骤摘要】
检查系统、检查方法及检查程序


[0001]本专利技术涉及一种检查系统、检查方法及检查程序。

技术介绍

[0002]传统上，已知一种检查系统，其通过对印刷基板等检查对象物进行摄影，并将其与基准图像进行比较，从而对检查对象物是合格产品还是不合格产品进行检查。
[0003]在该检查系统中，例如，通过以不将不合格产品作为合格产品的方式，先过度地检测出缺陷候选，并最终由检查员对检测出的缺陷候选的图像进行目视检查，从而实现防止缺陷的漏检。
[0004]<现有技术文献>
[0005]<专利文献>
[0006]专利文献1：日本特开2013
‑
098267号公报
[0007]专利文献2：日本特开2020
‑
052474号公报

技术实现思路

[0008]<本专利技术要解决的问题>
[0009]然而，在上述检查系统的情况下，由于在合格产品的范围内的制造偏差等也会被检测为缺陷候选，因此存在要由检查员进行目视检查的缺陷候选的图像较多，检查员的工作负担较高的问题。
[0010]根据一个方面，本专利技术的目的在于降低检查员在检查系统中的工作负担。
[0011]<用于解决问题的手段>
[0012]根据一个实施方式，提供一种检查系统，包括：图像再现部，以从第一遮盖图像再现遮盖前的第一图像的方式被进行了训练，所述第一遮盖图像通过将拍摄检查对象物而得到的图像之中的、判断为未包含缺陷的第一图像的一部分遮盖而生成；以及判定部，基于通过将第二遮盖图像输入至所述图像再现部而再现的再现图像、以及第二图像，对在所述第二图像中是否包含缺陷进行判定，所述第二遮盖图像通过将拍摄新的检查对象物而得到的所述第二图像的一部分遮盖而生成。
[0013]<专利技术的效果>
[0014]能够降低检查员在检查系统中的工作负担。
附图说明
[0015]图1是示出训练阶段中的检查系统的系统构成的一个示例的图。
[0016]图2是示出训练装置的硬件构成的一个示例的图。
[0017]图3是示出由训练装置的训练用数据集生成部进行的处理的具体示例的图。
[0018]图4是示出由训练装置的训练部进行的处理的具体示例的第1图。
[0019]图5是示出检查阶段中的检查系统的系统构成的一个示例的图。
[0020]图6是示出推断装置的硬件构成的一个示例的图。
[0021]图7是示出由推断装置的推断部进行的处理的具体示例的第1图。
[0022]图8是示出检查系统中的训练处理的流程的第1流程图。
[0023]图9是示出检查系统中的检查处理的流程的第1流程图。
[0024]图10是示出由训练装置的训练部进行的处理的具体示例的第2图。
[0025]图11是示出由推断装置的推断部进行的处理的具体示例的第2图。
[0026]图12是示出检查系统中的训练处理的流程的第2流程图。
[0027]图13是示出检查系统中的检查处理的流程的第2流程图。
[0028]符号说明
[0029]100：检查系统
[0030]110：AOI装置
[0031]120：训练装置
[0032]121：训练用数据集生成部
[0033]122：训练部
[0034]310：训练用数据集
[0035]410：遮盖部
[0036]420：图像再现部
[0037]500：检查系统
[0038]510：推断装置
[0039]511：推断部
[0040]512：输出部
[0041]710：遮盖部
[0042]720：训练完成图像再现部
[0043]730：判定部
具体实施方式
[0044]以下，参照附图对各实施方式具体进行说明。需要说明的是，在本说明书和附图中，有时针对具有实质上相同的功能构成的构成要素，赋予相同的符号以省略重复的说明。
[0045][第1实施方式][0046]<训练阶段中的检查系统的系统构成>
[0047]首先，对根据第1实施方式的检查系统的训练阶段中的系统构成进行说明。图1是示出训练阶段中的检查系统的系统构成的一个示例的图。
[0048]如图1所示，训练阶段中的检查系统100具有自动光学检查(AOI：Automated Optical Inspection)装置110、以及训练装置120。
[0049]AOI装置110对印刷基板130进行自动外观检查。AOI装置110通过利用摄像头对印刷基板130进行扫描并对各种检查项目进行检查，从而检查候选缺陷。由AOI装置110检查的检查项目例如包括电路宽度、电路间隔、缺焊盘/无焊盘、电路短路等。
[0050]包括由AOI装置110检测出的缺陷候选的各区域的图像140被发送到训练装置120，并且被发送到检查线。在检查线上，检查员111等检查员对包含缺陷候选的各区域的图像
140进行目视检查。需要说明的是，假设AOI装置110被设定为以不将不合格产品作为合格产品的方式，过度地检测出包含缺陷候选的各区域的图像。
[0051]检查员111对在各区域的图像140中是否包含缺陷进行目视检查，并且最终对印刷基板130是合格产品还是不合格产品进行判断。具体来说，在包含缺陷候选的各区域的图像140中均未包含缺陷的情况下，判断为印刷基板130是合格产品。另外，在包含缺陷候选的各区域的图像140中的任意一者中包含缺陷的情况下，判断为印刷基板130是不合格产品。
[0052]需要说明的是，检查员111将目视检查的结果(对在各区域的图像140中是否包含缺陷进行判断的结果)通知给训练装置120。在图1的示例中，“目视检查结果：OK”表示判断为在包含缺陷候选的区域的图像中未包含缺陷，“目视检查结果：NG”表示判断为在包含缺陷候选的区域的图像中包含缺陷。
[0053]在训练装置120中安装有训练程序，并且训练装置120通过执行该程序，从而起到训练用数据集生成部121和训练部122的功能。
[0054]训练用数据集生成部121从由AOI装置110发送的包含缺陷候选的各区域的图像140中提取检查员111的目视检查的结果、以及判断为未包含缺陷的图像。另外，训练用数据集生成部121将提取出的各区域的图像与目视检查结果相关联，并将其作为训练用数据集存储在训练用数据集存储部123中。
[0055]训练部122将存储在训练用数据集存储部123中的训练用数据集中包含的各区域的图像读出。另外，训练部122通过将各区域的图像的一部分遮盖而生成遮盖图像，并且以从生成的遮盖图像再现遮盖前的图像的方式对模型进行训练处理。
[0056]需要说明的是，对于由训练部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检查系统，包括：图像再现部，以从第一遮盖图像再现遮盖前的第一图像的方式被进行了训练，所述第一遮盖图像通过将拍摄检查对象物而得到的图像之中的、判断为未包含缺陷的第一图像的一部分遮盖而生成；以及判定部，基于通过将第二遮盖图像输入至所述图像再现部而再现的再现图像、以及第二图像，对在所述第二图像中是否包含缺陷进行判定，所述第二遮盖图像通过将拍摄新的检查对象物而得到的所述第二图像的一部分遮盖而生成。2.根据权利要求1所述的检查系统，其中，所述判定部在基于所述再现图像与所述第二图像之间的各个像素的像素值的误差计算出的值为预定的阈值以下的情况下，判定为在所述第二图像中未包含缺陷，并且在基于所述再现图像与所述第二图像之间的各个像素的像素值的误差计算出的值超过预定的阈值的情况下，判定为在所述第二图像中包含缺陷。3.根据权利要求1所述的检查系统，其中，所述图像再现部以从叠加图像再现遮盖前的第一图像的方式被进行训练，所述叠加图像通过在生成的第一遮盖图像上叠加CAD数据而成，所述判定部基于通过将叠加图像输入至所述图像再现部而再现的再现图像、以及所述第二图像，对在所述第二图像中是否包含缺陷进行判定，所述叠加图像通过在生成的第二遮盖图像上叠加CAD数据而成。4.根据权利要求2所述的检查系统，还包括：输出部，在由所述判定部判定为在所述第二图像中包含缺陷的情况下，所述输出部输出所述第二图像，以针对所述第二图像进行目视检查。5.根据权利要求1所述的检查系统，还包括：训练部...

【专利技术属性】
技术研发人员：木川洋一，陈日飞，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：