一种制程真空无尘室除尘系统技术方案

本申请公开了一种制程真空无尘室除尘系统，包括无尘室、收集槽、真空泵、固定管、连接管、控制阀、固定板、隔板、支撑板、安装板、过滤网、导向板、振动电机、通孔、电动推杆、盖板、开口、螺钉、风机和导流管。本申请通过设置固定管和连接管能够实现无尘室内空气的循环流通以及抽真空处理，能够保证无尘室内灰尘的有效清除，避免灰尘清除效果较差而影响真空无尘室的正产使用，提高无尘室的洁净度；本申请经过过滤的灰尘能够实现有效收集，并能够保证无尘室的整体无尘环境，经过收集的灰尘方便进行后续处理，提高使用便利性。提高使用便利性。提高使用便利性。

【技术实现步骤摘要】
一种制程真空无尘室除尘系统


[0001]本申请涉及真空无尘室应用
，尤其是一种制程真空无尘室除尘系统。

技术介绍

[0002]真空无尘室是一种真空环境下的无尘室，通过真空系统实现真空状态，真空系统由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业，通过启动系统，主真空泵组开始工作，直到真空罐内真空度达到设定的上限值，真空泵自动停止运行，中央真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持，如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时，备用真空泵组自动启动，由此循环往复，真空系统的真空度能够维持稳定的真空源，满足生产的要。
[0003]制程真空无尘室是指制程中无尘室内为真空状态，由于无尘室内使用后可能存在灰尘，在进行无尘室真空后容易导致灰尘存在无尘室内，在抽真空的过程中难以实现灰尘的全部清除，降低无尘室制程的生产品质。因此，针对上述问题提出一种制程真空无尘室除尘系统。

技术实现思路

>[0004]在本实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制程真空无尘室除尘系统，其特征在于：包括无尘室(1)、收集槽(2)、真空泵(3)和固定板(7)；所述无尘室(1)底部固定安装有收集槽(2)，所述收集槽(2)顶部与真空泵(3)固定连接，所述真空泵(3)通过固定管(4)与无尘室(1)顶部固定连接，所述固定管(4)底部与连接管(5)连通，所述固定管(4)和连接管(5)都设有控制阀(6)，所述无尘室(1)侧壁通过固定板(7)与隔板(8)固定连接，所述固定板(7)和隔板(8)连接处搭接有支撑板(9)，所述无尘室(1)底端与安装板(10)固定连接，所述安装板(10)和隔板(8)都与过滤网(11)固定连接，所述安装板(10)顶部与支撑板(9)贴合密封，所述安装板(10)侧壁与导向板(12)固定连接，所述导向板(12)之间的无尘室(1)和收集槽(2)都开设有相对对应的开口(17)。2.根据权利要求1所述的一种制程真空无尘室除尘系统，其特征在于：所述无尘室(1)侧壁与若干个真空泵(3)固定连接，所述真空泵(3)通过固定管(4)分别与无尘室(1)底端和顶端连通。3.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁锋，刘云飞，
申请(专利权)人：上海井升机电工程有限公司，
类型：新型
国别省市：