多层膜结构镀层及其制备方法、制备装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及多层膜结构镀层及其制备方法、制备装置，属于材料科学中的电镀技术领域，该多层膜结构镀层是在电镀工艺过程中通过周期性间歇引入打气搅拌于电镀液中沉积合金镀层，通过打气或不打气条件改变电镀液的搅拌速率，获得具有一定层间特性差异的子层，制备成分呈周期层状的多层膜结构镀层。本发明专利技术通过在单槽电镀过程中控制打气搅拌装置的开启或关闭，即能形成一种或多种合金元素的成分含量呈周期变化的多层膜结构镀层，不仅电镀液性能稳定，使单层膜镀层具有更优的性能，还无需新增镀槽和其他处理工艺，实施较为方便，适于工业化生产。产。产。

【技术实现步骤摘要】
多层膜结构镀层及其制备方法、制备装置


[0001]本专利技术属于材料科学中的电镀
，涉及多层膜结构镀层及其制备方法、制备装置。

技术介绍

[0002]近年来，人们对研发多层膜结构给予了极大的关注。组分调制多层膜是一种由多种金属或合金的薄膜(子层或亚层)交替叠加起来而形成的在组成或结构上周期性变化的新型材料。与工艺上优化改进不同，它是一种通过材料结构改变而带来性能上突破的方法。多层膜结构中不同特性的子层，在整体构造中发挥着不同的作用。组分调制多层膜的制备方法大致分为磁控溅射法和电镀法，磁控溅射法对设备要求高，制备时间长且成本高。电镀法因其设备简单，易于操作，生产成本低，生产效率高而备受关注。多数研究结果表明：组分调制多层膜比相同厚度的单层膜具有更优的力学性能和防腐性能。
[0003]电镀多层膜结构镀层的工艺大致分为双槽工艺和单槽工艺两大类。基体在不同镀液之间周期性转移实现交替电沉积组成不同的子层的方法称为双槽工艺。但在双槽制备组分调制多层膜的过程中，不仅镀液消耗量增加，镀液间容易相互污染，试样存在双槽间相互转移过程中发生表面氧化、阳本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多层膜结构镀层的制备方法，其特征在于：采用单槽电镀法，电镀时通过周期性间歇引入打气搅拌于电镀液中沉积合金镀层，通过打气或不打气条件改变电镀液的搅拌速率，获得具有一定层间特性差异的子层，以制备成分呈周期层状的多层膜结构镀层。2.根据权利要求1所述的一种多层膜结构镀层的制备方法，其特征在于：基体在电镀前依次进行如下步骤：打磨—水洗—超声清洗—碱洗除油—水洗—酸洗—水洗；基体在电镀后进行烘干步骤。3.根据权利要求1所述的一种多层膜结构镀层的制备方法，其特征在于：超声清洗的工艺参数为：在无水乙醇中超声清洗10min。4.根据权利要求1所述的一种多层膜结构镀层的制备方法，其特征在于：碱洗除油的工艺参数为：在70～90℃碱洗液中处理5～10分钟；碱洗液为氢氧化钠溶液、碳酸钠溶液中的任一种或多种的混合液。5.根据权利要求1所述的一种多层膜结构镀层的制备方法，其特征在于：酸洗的工艺参数为：在23
±
1℃酸洗液中浸泡5～10s，酸洗液为浓度为...

【专利技术属性】
技术研发人员：易泉秀，王水根，冯科，陈欣，薛雯娟，郑思婷，
申请(专利权)人：中冶赛迪技术研究中心有限公司，
类型：发明
国别省市：