一种互联用转接真空装置及超高真空设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种互联用转接真空装置，包括第一真空单元和第一吸附单元，其中，第一真空单元具有第一真空腔、第一转接口、第二转接口和抽气口，第一吸附单元包括容置腔和吸附壁，第一转接口能够与其中一组超高真空设备相连，第二转接口与另外一组超高真空设备相连，抽真空设备通过抽气口对第一真空腔进行抽真空后，向第一吸附单元的容置腔内输入冷却介质，使第一吸附单元降温，使得吸附壁能够吸附第一真空腔内壁脱附的水分子，从而进一步提高第一真空腔的真空度，使得样品能够在两组超高真空设备之间顺利转移，同时有效避免样品被污染。本发明专利技术还提供一种超高真空设备，包含上述的互联用转接真空装置，提高超高真空设备的适应性。提高超高真空设备的适应性。提高超高真空设备的适应性。

【技术实现步骤摘要】
一种互联用转接真空装置及超高真空设备


[0001]本专利技术涉及超高真空设备及其周边配套设施
，特别是涉及一种互联用转接真空装置及超高真空设备。

技术介绍

[0002]超高真空设备能够避免材料在制备和分析中被污染或氧化等因素破坏，因此在材料研发、生产、检测中被广泛使用。为了使材料的制备和分析都保持在超高真空环境不变，最直接的想法是将超高真空设备直接用超高真空管道互联固定在一起，使样品一直保持在超高真空环境而实现不被污染或氧化。但投资建设直线或者射线状的超高真空互联装置的成本非常高，互联4套超高真空设备的成本约60～100万元，互联的设备越多所使用的互联装置模块数就更多，相应的成本就越大；另外，有的单位虽然有很多套的超高真空设备，但是分属于不同的课题组或者研究团队，无法协调将超高真空设备搬迁到一起实现互联；还有的情况是有的单位超高真空设备较少，但是又有一些样品分析需要在外地外单位的超高真空设备上进行。
[0003]公开号为210823656U的中国专利，公开了一种新型超高真空多样品转移装置，这种装置主要目的是实现样品在异地异种超高真本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种互联用转接真空装置，其特征在于，包括：第一真空单元，所述第一真空单元具有第一真空腔、第一转接口、第二转接口和抽气口，所述第一转接口、所述第二转接口以及所述抽气口均与所述第一真空腔相连通，所述第一转接口和所述第二转接口均能够与超高真空设备相连，所述抽气口能够与抽真空设备相连；第一吸附单元，所述第一吸附单元包括容置腔和吸附壁，所述容置腔与所述吸附壁相连，所述吸附壁设置于所述第一真空腔内，所述容置腔与外部冷却介质源相连通。2.根据权利要求1所述的互联用转接真空装置，其特征在于：所述第一吸附单元还包括导入管和导出管，所述导入管和所述导出管均与所述容置腔相连通，所述导入管与所述外部冷却介质源相连通，所述导入管伸入所述容置腔内的长度较所述导出管伸入所述容置腔内的长度长。3.根据权利要求1所述的互联用转接真空装置，其特征在于：所述容置腔以及所述吸附壁由无氧铜材质制成。4.根据权利要求1所述的互联用转接真空装置，其特征在于：所述吸附壁为空心圆柱状结构。5.根据权利要求4所述的互联用转接真空装置，其特征在于：所述第一转接口和所述第二转接口以所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯卫，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院材料研究所，
类型：发明
国别省市：