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本发明公开一种互联用转接真空装置，包括第一真空单元和第一吸附单元，其中，第一真空单元具有第一真空腔、第一转接口、第二转接口和抽气口，第一吸附单元包括容置腔和吸附壁，第一转接口能够与其中一组超高真空设备相连，第二转接口与另外一组超高真空设备相...
该专利属于中国工程物理研究院材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院材料研究所授权不得商用。

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