沉积掩模制造技术

本发明专利技术涉及一种沉积掩模，该沉积掩模包括：金属板，金属板用于有机发光二极管像素图案的有机材料沉积；多个小表面孔，小表面孔形成在金属板的一个表面上；多个大表面孔，大表面孔形成在与金属板的一个表面相反的另一表面上；以及多个通孔，通孔将小表面孔和大表面孔连通；其中，小表面孔的在金属板的纵向方向上的横截面中的高度与小表面孔的在金属板的侧向方向上的横截面中的高度不同。侧向方向上的横截面中的高度不同。侧向方向上的横截面中的高度不同。

【技术实现步骤摘要】
沉积掩模
[0001]本申请是申请日为2018年8月24日(于2020年3月6日进入中国国家阶段)、国家申请号为201880058019.8(国际申请号为PCT/KR2018/009806)、专利技术名称为“用于OLED像素沉积的金属材料沉积掩模及其制造方法”的专利技术专利申请的分案申请。


[0002]实施方式涉及用于有机发光二极管(OLED)像素沉积的金属材料沉积掩模及其制造方法。特别地，根据实施方式的沉积掩模用于生产具有500PPI或更高的高分辨率的OLED面板。

技术介绍

[0003]由于需要具有高分辨率和低功耗的显示装置，因此已经开发了各种显示装置，比如液晶显示装置和电致发光显示装置。
[0004]由于相比于液晶显示装置电致发光显示装置具有更优异的特性，如更低的发光、更低的功耗以及更高的分辨率等，所以电致发光显示装置作为下一代显示装置已经受到关注。
[0005]电场显示装置中存在有机发光显示装置和无机发光显示装置。也就是说，电场显示装置根据发光层的材料可以分为有机发光显示装置和无机发光显示装置。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种沉积掩模，包括：金属板，所述金属板用于有机发光二极管像素图案的有机材料沉积；多个小表面孔，所述小表面孔形成在所述金属板的一个表面上；多个大表面孔，所述大表面孔形成在与所述金属板的所述一个表面相反的另一表面上；以及多个通孔，所述通孔将所述小表面孔和所述大表面孔连通；其中，所述小表面孔的在所述金属板的纵向方向上的横截面中的高度与所述小表面孔的在所述金属板的侧向方向上的横截面中的高度不同。2.根据权利要求1所述的沉积掩模，其中，所述金属板包括沉积区域和非沉积区域，其中，所述沉积区域包括：彼此间隔开的多个有效部分；以及除所述有效部分之外的非有效部分。3.根据权利要求1所述的沉积掩模，其中，所述小表面孔的在所述金属板的所述纵向方向上的横截面中的高度小于所述小表面孔的在所述金属板的所述侧向方向上的横截面中的高度。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的沉积掩模，其中，所述小表面孔的在所述金属板的所述纵向方向上的横截面中的高度为0.1μm至2.4μm，并且其中，所述小表面孔的在所述金属板的所述侧向方向上的横截面中的高度为0.1μm至3.4μm。5.根据权利要求1至3中的任一项所述的沉积掩模，其中，所述金属板的所述纵向方向是垂直于有机材料沉积容器的移动方向的方向，所述有机材料沉积容器用于所述有机发光二极管像素图案的所述有机材料沉积，并且其中，所述侧向方向是所述有机材料沉积容器的所述移动方向。6.根据权利要求1至3中的任一项所述的沉积掩模，其中，所述金属板的所述另一表面上的所述大表面孔的在所述纵向方向上的宽度大于所述金属板的所述另一表面上的所述大表面孔的在所述侧向方向上的宽度。7.根据权利要求1至3中的任一项所述的沉积掩模，还包括：岛状部分，所述岛状部分定位在多个所述通孔中的在对角线方向上间隔开的多个通孔之间；并且其中，所述岛状部分的在所述纵向方向上的宽度与所述岛状部分的在所述侧向方向上的宽度不同。8.根据权利要求7所述的沉积掩模，其中，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：白智钦，金海植，曹荣得，李相侑，曹守铉，孙晓源，
申请(专利权)人：LG伊诺特有限公司，
类型：发明
国别省市：