一种可调式单晶炉石墨中轴盖制造技术

本申请公开一种可调式单晶炉石墨中轴盖，包括：支撑机构和调节机构，所述支撑机构的底部与调节机构的顶部固定连接；所述调节机构包括丝杆，所述丝杆的底部固定连接有挡板，所述丝杆的外壁螺纹连接有活动板，所述活动板的顶部固定连接有内筒，所述内筒的外壁滑动连接有外筒，所述活动板的外壁固定连接有第一支撑杆，所述第一支撑杆的内部活动连接有第一固定杆，所述第一固定杆的外壁活动连接有第一电动推杆，所述第一支撑杆的内部固定连接有第二固定杆，所述第三固定杆的外壁固定连接有固定块。该可调式单晶炉石墨中轴盖，具备方便对中轴盖从炉体的顶部和内部压紧安装，提高压紧效果和中轴盖的密封性等优点。果和中轴盖的密封性等优点。果和中轴盖的密封性等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种可调式单晶炉石墨中轴盖


[0001]本技术涉及单晶炉
，尤其涉及一种可调式单晶炉石墨中轴盖。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]目前单晶炉应用广泛，现有的单晶炉石墨中轴盖多为人工手动拧上，或者在单晶炉顶部进行卡紧，不方便对中轴盖从炉体的顶部和内部压紧安装，压紧效果差，影响中轴盖的密封性，故而提出了一种可调式单晶炉石墨中轴盖来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种可调式单晶炉石墨中轴盖，具备方便对中轴盖从炉体的顶部和内部压紧安装，提高压紧效果和中轴盖的密封性等优点，解决了现有的单晶炉石墨中轴盖多为人工手动拧上，或者在单晶炉顶部进行卡紧，不方便对中轴盖从炉体的顶部和内部压紧安装，压紧效果差，影响中轴盖的密封性的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可调式单晶炉石墨中轴盖，包括：支撑机构和调节机构，所述支撑机构的底部与调节机构的顶部固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调式单晶炉石墨中轴盖，其特征在于，包括：支撑机构（1）和调节机构（2），所述支撑机构（1）的底部与调节机构（2）的顶部固定连接；所述调节机构（2）包括丝杆（201），所述丝杆（201）的底部固定连接有挡板（202），所述丝杆（201）的外壁螺纹连接有活动板（203），所述活动板（203）的顶部固定连接有内筒（204），所述内筒（204）的外壁滑动连接有外筒（205），所述活动板（203）的外壁固定连接有第一支撑杆（206），所述第一支撑杆（206）的内部活动连接有第一固定杆（207），所述第一固定杆（207）的外壁活动连接有第一电动推杆（208），所述第一电动推杆（208）的伸缩端固定连接有压体（209），所述第一支撑杆（206）的内部固定连接有第二固定杆（210），所述第二固定杆（210）远离第一支撑杆（206）的一端固定连接有第二支撑杆（211），所述第二固定杆（210）的外壁转动连接有第二电动推杆（212），所述第二电动推杆（212）的伸缩端活动连接有第三固定杆（213），所述第三固定杆（213）的外壁固定连接有固定块（214）。2.如权利要求1所述可调式单晶炉石墨中轴盖，其特征在于，所述支撑机构（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵永超，高尊庆，张成玖，
申请(专利权)人：山东祥烁新型材料有限公司，
类型：新型
国别省市：