一种半导体单晶炉底部加热器安装防形变装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体单晶炉底部加热器安装防形变装置，包括：具有两个应力缓冲槽的单晶炉底部加热器；所述单晶炉底部加热器包括加热板、两个腿部；加热板及腿部的顶面均设有螺纹孔，螺栓穿过加热板的螺纹孔与腿部的螺纹孔螺纹连接；加热板包括若干首尾相连的U形板；还包括横板、分别固定于横板两端底部的两过渡板、固定于过渡板底部的支撑件以及配合件；所述的底部支撑件插入的应力缓冲槽内，且底部支撑件的两侧面分别与应力缓冲槽的内侧面相接触；配合件贯穿横板和过渡板，将过渡板与单晶炉底部加热器顶面抵紧。本实用新型专利技术能够防止半导体单晶炉底部加热器在安装固定螺栓时产生变形，避免了对底部加热器的对中安装产生不利影响。生不利影响。生不利影响。

An anti deformation device for installing heater at the bottom of semiconductor single crystal furnace

【技术实现步骤摘要】
一种半导体单晶炉底部加热器安装防形变装置


[0001]本技术涉及半导体单晶炉安装
，具体是涉及一种半导体单晶炉底部加热器安装防形变装置。

技术介绍

[0002]专利申请号为CN2017102454267的专利申请公开了一种半导体级硅单晶炉底部加热器；当半导体单晶炉底部加热器与加热器固定支柱通过固定螺栓进行紧固时，由于底部加热器材料为石墨且环状扇形结构刚度较弱，当受到扭矩的作用时，底部加热器结构容易产生变形，此变形会增加底部加热器在使用时的对中难度，导致底部加热器对中难。

技术实现思路

[0003]技术目的：针对以上缺点，本技术提供一种半导体单晶炉底部加热器安装防形变装置，可以防止半导体单晶炉底部加热器在安装固定螺栓时产生变形，进而避免了对底部加热器的对中安装产生不利影响。
[0004]技术方案：为解决上述问题，本技术提供一种半导体单晶炉底部加热器安装防形变装置，包括：具有两个应力缓冲槽的单晶炉底部加热器，所述两个应力缓冲槽位于单晶炉底部加热器上表面且分别位于该单晶炉底部加热器对称中轴的对称两侧；所述单晶炉底部加热器包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体单晶炉底部加热器安装防形变装置，包括：具有两个应力缓冲槽(6)的单晶炉底部加热器(5)，所述两个应力缓冲槽(6)位于单晶炉底部加热器(5)上表面且分别位于该单晶炉底部加热器(5)对称中轴的对称两侧；所述单晶炉底部加热器(5)包括围成一圈的加热板(51)、位于该加热板(51)两侧底部且向下延伸的两个腿部(52)；加热板(51)及腿部(52)的顶面均设有螺纹孔，螺栓穿过加热板(51)的螺纹孔与腿部(52)的螺纹孔螺纹连接；所述加热板(51)包括若干首尾相连的U形板；其特征在于，还包括横板(1)、分别固定于横板(1)两端底部的两过渡板(2)、固定于过渡板(2)底部的支撑件(3)以及配合件(4)；所述的支撑件(3)插入单晶炉底部加热器(5)的应力缓冲槽(6)内，且支撑件(3)的两侧面分别与应力缓冲槽(6)的内侧面相接触；所述的配合件(4)贯穿横板(1)和过渡板(2)，且配合件(4)将过渡板(2)与单晶炉底部加热器(5)顶面抵紧。2.根据权利要求1所述的半导体单晶炉底部加热器安装防形变装置，其特征在于，所述加热板(51)上设置两个螺纹孔且分别位于应力缓冲槽(6)的外侧，该加热板(51)的两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘清跃，姜宏伟，李亚南，王维川，
申请(专利权)人：南京晶能半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：