一种键合强度测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于微纳加工制造技术领域，具体涉及一种键合强度测试装置，包括底座(1)，所述底座(1)上均匀设有密集的真空吸附孔洞(2)，所述底座(1)上设有可滑动的刀片(3)，所述刀片(3)由设置在控制单元(6)中的电机马达通过电路控制，所述刀片(3)上设置有拉力传感器，所述拉力传感器与显示单元(7)电性连接。本实用新型专利技术通过在控制单元中安装电机马达，实现自动拉动刀片，并在控制单元中安装拉力感应器，显示单元实时显示拉力值，结束后显示最大值、平均值和最小值。操作安全性高、误差基本可忽略不计。计。计。

【技术实现步骤摘要】
一种键合强度测试装置


[0001]本技术属于微纳加工制造
，具体涉及一种键合强度测试装置。

技术介绍

[0002]中国专利CN201811368302.9公开了一种测量键合强度的方法，此方法采用手动测试，将刀片插入到已经键合好的两片晶圆中间并且固定刀片的插入深度，使两片晶圆中间产生缝隙；将晶圆水平放置，使一束激光沿刀片中心与晶圆中心连线从刀片对向紧贴晶圆表面水平入射，激光束遇到产生形变的晶圆后被反射，记录激光束在晶圆表面走过的水平直线距离L0，再通过晶圆直径及刀片插入的长度计算缝隙长度L；通过缝隙长度及特定公式计算键合强度。此方法，在刀片的嵌入过程中，晶圆片容易划破手，存在一定危险，并且计算公式复杂。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种操作安全性高的键合强度测试装置，减少手动操作误差。
[0004]为达到上述目的，本技术采用的技术方案如下：
[0005]一种键合强度测试装置，包括底座，所述底座上均匀地设有密集的真空吸附孔洞，所述底座上设有可滑动的刀片，所述刀片由设置在控制单元中的电机马达通过电路控制，所述控制单元内设置有拉力传感器，所述拉力传感器与显示单元电性连接。
[0006]进一步地，相邻的两个所述真空吸附孔洞之间的间距≤1mm，此间距尽量小，方便各种尺寸芯片测试。
[0007]进一步地，所述底座的两侧相对地设置有轨道，所述刀片的两端分别滑动设置在所述轨道上。
[0008]进一步地，待测样品放置在所述底座上，打开真空进行吸附。
[0009]进一步地，所述刀片放置于所述待测样品的上表面与下表面之间。
[0010]在控制单元中电机马达的控制下，刀片沿着轨道进行移动，直至样品被破坏显示单元实时显示拉力值，并在结束后显示最大值、平均值和最小值。
[0011]本技术的优点和积极效果：
[0012]通过在控制单元中安装电机马达，实现自动拉动刀片，并在控制单元中安装拉力感应器，显示单元实时显示拉力值，结束后显示最大值、平均值和最小值。
[0013]操作安全性高、误差基本可忽略不计。
附图说明
[0014]图1本技术总体结构示意图；
[0015]图1标记含义如下：1
‑
底座，2
‑
真空吸附孔洞，3
‑
刀片，4
‑
轨道，5
‑
待测样品，6
‑
控制单元，7
‑
显示单元。
具体实施方式
[0016]在本技术的描述中，有必要理解的是，“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系均为基于附图所示的方位或位置关系，目标仅为便于描述本技术和简化描述，并不是指示或暗示所指部件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0017]下面结合附图对本技术的具体实施例做详细说明。
[0018]一种键合强度测试装置，如图1所示，包括底座1，所述底座1上均匀设有密集的真空吸附孔洞2，相邻的两个所述真空吸附孔洞2之间的间距为0.5mm；
[0019]所述底座1上设有可滑动的刀片3，具体地，所述底座1的两侧相对地设置有轨道4，所述刀片3的两端分别滑动设置在所述轨道4上；
[0020]所述刀片3由设置在控制单元6中的电机马达通过电路控制，所述控制单元6内设置有拉力传感器，所述拉力传感器与显示单元7电性连接。
[0021]使用时，待测样品5放置在所述底座1上，开真空对待测样品5进行吸附，所述刀片3放置于所述待测样品5的上表面与下表面之间，在控制单元6中的电机马达控制下，刀片3沿着轨道4进行移动，直至样品被破坏，显示单元7实时显示拉力值，并在结束后显示最大值、平均值和最小值。
[0022]本技术说明书中没有作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。本技术使用到的标准零件均可从市场上购买，异形件根据说明书和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。
[0023]上述实施例仅是本技术的较优实施方式，凡是依据本技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修饰、修改及替代变化，均属于本技术技术方案的范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种键合强度测试装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)上均匀设有密集的真空吸附孔洞(2)，所述底座(1)上设有可滑动的刀片(3)，所述刀片(3)由设置在控制单元(6)中的电机马达通过电路控制，所述控制单元(6)内设置有拉力传感器，所述拉力传感器与显示单元(7)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种键合强度测试装置，其特征在于，相邻的两个所述真空吸附孔洞(2)之间的间距≤1...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈婷，龚跃武，官盛果，杨山清，涂良成，
申请(专利权)人：中山大学南昌研究院，
类型：新型
国别省市：