一种真空复合离子镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜机技术领域，尤其涉及一种真空复合离子镀膜机，包括底座，底座的底部固定连接有转向轮，底座的顶部固定连接有主体，底座的外侧固定连接有控制箱，底座的外侧固定连接有电机，电机靠近底座内部的一端转动连接有转轴，转轴的外侧固定连接有衔接圈。本实用新型专利技术当主体内部停止工作时，这时启动电机，使电机带动转轴在底座的内部进行旋转，通过转轴的旋转带动衔接圈进行转动，从而使其在离心力的作用下带动挤压罩对底座内部的受力板产生挤压，通过挤压受力板，从而使受力板带动移动杆进行移动，通过移动杆的移动带动推动盘进行移动，从而使推动盘挤压喷水圈，使喷水圈内部的水喷洒到主体的内壁上，从而进行自动清洗。清洗。清洗。

【技术实现步骤摘要】
一种真空复合离子镀膜机


[0001]本技术涉及镀膜机
，尤其涉及一种真空复合离子镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]但是目前市场上常见的真空复合离子镀膜机在日常使用过程中还是具有些许不足的地方，例如：市场上常见真空复合离子镀膜机在使用过程中，在设备的内壁上会残留很多溶液，清理时比较的麻烦，会浪费大量的时间；常见的真空复合离子镀膜机在清理时，清理后的污水不能够完全排放干净，导致在设备内部残留，影响设备的正常工作。

技术实现思路

[0004]为解决
技术介绍
中存在的技术问题，本技术提出一种真空复合离子镀膜机，包括底座，底座的底部固定连接有转向轮，底座的顶部固定连接有主体，底座的外侧固定连接有控制箱，底座的外侧固定连接有电机，电机靠近底座内部的一端转动连接有转轴，转轴的外侧固定连接有衔接圈，衔接圈的外侧固定连接有弹簧杆，弹簧杆远离衔接圈的一端固定连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空复合离子镀膜机，其特征在于，包括底座(1)，底座(1)的底部固定连接有转向轮(2)，底座(1)的顶部固定连接有主体(3)，底座(1)的外侧固定连接有控制箱(4)，底座(1)的外侧固定连接有电机(5)，电机(5)靠近底座(1)内部的一端转动连接有转轴(6)，转轴(6)的外侧固定连接有衔接圈(7)，衔接圈(7)的外侧固定连接有弹簧杆(8)，弹簧杆(8)远离衔接圈(7)的一端固定连接有挤压罩(9)，底座(1)的内部活动连接有受力板(10)，受力板(10)的顶部固定连接有移动杆(11)，移动杆(11)远离受力板(10)的一端固定连接有推动盘(12)，主体(3)的底部开设有漏孔(13)，主体(3)的内部固定连接有支撑杆(14)，支撑杆(14)的顶部固定连接有喷水圈(15)，主体(3)的外侧固定连接有水箱(16)，水箱(16)的底部固定连接有水管(17)，底座(1)的内部开设有集水槽(18)，集水槽(18)内部活动连接有活塞柱(19)。2.根据权利要求1所述的一种真空复合离子镀膜机，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：林腾光，
申请(专利权)人：江西光腾微纳材料有限公司，
类型：新型
国别省市：