一种硅基微针的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种硅基微针的制备方法，的制备方法包括如下步骤：S1、在单晶硅基底的所有表面沉积保护膜；S2、对上述硅基底一个面上的保护膜进行正交网格开槽；S3、碱液刻蚀，形成微针阵列结构；S4、去除保护膜并清洗干净。本发明专利技术具有如下有益效果：（1）制备流程简单，工艺成本低，适合大批量产业化生产；（2）孔洞位于微针的正中间位置，无偏差；（3）无任何加工损伤，针型好。型好。型好。

【技术实现步骤摘要】
一种硅基微针的制备方法


[0001]本专利技术属于硅基微针生产
，尤其涉及一种带孔或不带孔硅基微针的制备方法。

技术介绍

[0002]近年来，硅基微针在医美领域得到广泛应用，主要利用其打开皮肤角质层，然后配合使用一些美容药物，提高皮肤对美容药物的吸收。由于硅基微针长度精准可控，未达到人体皮肤真皮层的痛感神经，所以通常不会引起疼痛感，在临床皮试、疫苗注射、胰岛素注射等领域具有较好的应用前景。
[0003]目前，微针按材料不同可分为金属微针、聚合物微针及硅基微针等。其中，金属微针主要是通过CNC加工制备，或利用模具倒模制备而成，这意味着金属微针很难做到很小的尺寸，长度尺寸一般在3 mm左右，在使用的过程中还是会触碰皮肤真皮层的痛感神经，一般使用前需在皮肤表层涂敷麻药，例如：滚针。聚合物微针，一般又称为可溶性微针，通常是利用模具，将可溶高分子材料直接倒模制作成针型，并将药物载在其中，但因本身材料性能的影响，聚合物的力学性能较差，应用场景受限。随着MEMS技术的发展，硅基微针技术被快速发展。硅基微针通常是直径为几到几十微米，长度为几十到几本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅基微针的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：S1、在单晶硅基底的所有表面沉积保护膜；S2、对上述硅基底一个面上的保护膜进行正交网格开槽；S3、碱液刻蚀，形成微针阵列结构；S4、去除保护膜并清洗干净。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法在步骤S1之前还包括：S0、在单晶硅的基底上制备阵列孔洞。3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S0具体为：利用激光器在单晶硅的基底上制备阵列通孔，通孔直径为20
‑
200
µ
m，相邻两个通孔的间距为100
‑
2000
µ
m；或所述步骤S0具体为：利用激光器在单晶硅的基底上制备阵列盲孔，盲孔直径为20
‑
200
µ
m，相邻两个盲孔的中心间距为100
‑
2000
µ
m，盲孔的深度为10
‑
1499
µ
m。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中保护膜为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅中的一种或多种，保护膜的厚度为0.1
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1.5
µ
m。5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S2具体为利用激光或水刀对硅基底一个面上的保护膜进行网格开槽，两条相邻平行开槽线中间间距100
‑
2000
ꢀµ
m。6.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹帅，苏晓东，黄洁，
申请(专利权)人：相邦苏州生物材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：