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本发明公开了一种硅基微针的制备方法,的制备方法包括如下步骤:S1、在单晶硅基底的所有表面沉积保护膜;S2、对上述硅基底一个面上的保护膜进行正交网格开槽;S3、碱液刻蚀,形成微针阵列结构;S4、去除保护膜并清洗干净。本发明具有如下有益效果:(...该专利属于相邦(苏州)生物材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过相邦(苏州)生物材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种硅基微针的制备方法,的制备方法包括如下步骤:S1、在单晶硅基底的所有表面沉积保护膜;S2、对上述硅基底一个面上的保护膜进行正交网格开槽;S3、碱液刻蚀,形成微针阵列结构;S4、去除保护膜并清洗干净。本发明具有如下有益效果:(...