数字式高速可调光衰减器制造技术

一种数字式高速可调光衰减器，其特征在于：该光衰减器由基板１、ｍ个微驱动单元２、输入准直器３、输出准直器４和数字式电子控制电路５构成，光定量衰减片２ｄ表面涂覆宽带半透射膜，输入准直器３和输出准直器４固定在基板１上，且同轴布置。同现有技术比较，本发明专利技术具有如下的优点：１）采用的ｍ个微驱动单元２运动机构行程小，只需一个工作脉冲即可在任意两个工作状态间转换，工作稳定，速度快；２）由于ｍ个微驱动单元２落地面积非常小，衰减器体积大大减小；３）实现了微驱动单元２的驱动电压数字化，工作重复性好；４）微驱动单元２具有自锁功能；提高工作稳定性；５）光定量衰减片２ｄ表面涂覆宽带半透射膜，没有波长及偏振控制的要求，具有宽带特性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种数字式高速可调光衰减器，包括基板，输入准直器，输出准直器，其特征在于：该光衰减器由一个基板（１）、ｍ个微驱动单元（２）、一个输入准直器（３）、一个输出准直器（４）和数字式电子控制电路（５）构成，其中基板（１）上开有ｍ个用于布置微驱动单元（２）的盲孔，该盲孔底部开一个凹槽，每一个微驱动单元（２）由轴（２ａ）、轴承（２ｂ）、摆杆（２ｃ）、光定量衰减片（２ｄ）、线圈（２ｅ）、永久磁铁（２ｆ）组成，两端装有轴承（２ｂ）的轴（２ａ）布置在基板（１）的凹槽上，摆杆（２ｃ）的下端部固定在轴（２ａ）上，光定量衰减片（２ｄ）固定在摆杆（２ｃ）的上端部，线圈（２ｅ）固定在基板（１）上，永久磁铁（２ｆ）布置在线圈（２ｅ）的顶部，光定量衰减片（２ｄ）表面涂覆宽带半透射膜，输入准直器（３）和输出准直器（４）固定在基板（１）上，且同轴布置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曹钟慧，袁野，吴兴坤，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]