一种从氨气直接生产电子级硝酸制备系统及方法技术方案

本发明专利技术属于电子化学技术领域，具体公开了一种从氨气直接生产电子级硝酸制备系统及方法，包括依次通过管道连通的原料储罐、过滤装置、第一清洗塔、氧化炉、吸收塔、电解槽和反渗透装置；所述原料储罐和过滤装置之间设置有加压降温设备；所述加压降温设备通过管道与所述原料储罐和活性炭过滤器连接；所述氧化炉通过管道连接有高纯氧气储罐；所述氧化炉用于进行高纯氨气氧化反应；所述吸收塔用于进行二氧化氮和高纯水反应。本发明专利技术的制备方法从原材料进行纯化、生产过程进行控制，并对生成的硝酸进行电解、反渗透处理，可以得到高纯度的电子级硝酸。硝酸。硝酸。

【技术实现步骤摘要】
一种从氨气直接生产电子级硝酸制备系统及方法


[0001]本专利技术属于电子化学
，特别涉及一种从氨气直接生产电子级硝酸制备系统及方法。

技术介绍

[0002]硝酸是一种具有强氧化性、腐蚀性的强酸。易溶于水，稀溶液无色透明，其用途非常广泛，是一种重要的化工原料，是化工行业基础酸之一，在工业上可用于制化肥、农药、炸药等，也应用于医药化工行业、化纤行业等。目前国内集成电路工业迅猛发展，集成电路用超纯试剂的需求量特别大，对超纯试剂的品质也要求越来越严格，电子级硝酸作为强酸型清洗剂和腐蚀剂广泛应用于半导体元件生产和集成电路装配及加工中。目前工业生产硝酸，由于技术和设备及硝酸产品本身的性质问题，批量生产硝酸所使用的方法通常为氨催化氧化法，即氧气和氨反应制备硝酸。
[0003]目前生产电子级硝酸的途径有以下两种：
[0004]第一种是利用98％的浓硝酸调配后得到68％硝酸作为原料，多次蒸馏气化制备，该法所使用的浓硝酸本身杂质较多，且该产品自身性质对环境污染较大，需从高浓度稀释到低浓度，工艺复杂。
[0005]第二种是利用电子级硝本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种从氨气直接生产电子级硝酸制备系统及方法，其特征在于，包括依次通过管道连接的原料储罐、过滤装置(1)、第一清洗塔(3)、氧化炉(4)、吸收塔(5)、电解槽(6)和反渗透装置(7)；所述原料储罐和过滤装置(1)之间设置有加压降温设备(2)；所述加压降温设备(2)通过管道与所述原料储罐和活性炭过滤器(1)连接；所述氧化炉(4)通过管道连接有高纯氧气储罐；所述氧化炉(4)用于进行高纯氨气氧化反应；所述吸收塔(5)用于进行二氧化氮和高纯水反应。2.根据权利要求1所述的一种从氨气直接生产电子级硝酸制备系统及方法，其特征在于，所述过滤装置(1)为活性炭过滤器。3.根据权利要求1所述的一种从氨气直接生产电子级硝酸制备系统及方法，其特征在于，所述第一清洗塔(3)和氧化炉(4)之间设置有第二清洗塔(9)；所述第二清洗塔(9)与所述第一清洗塔(3)和氧化炉(4)通过管道连接。4.根据权利要求1所述的一种从氨气直接生产电子级硝酸制备系统及方法，其特征在于，所述系统还包括第一收集装置(10)、第二收集装置(11)、第三收集装置(12)；所述第一收集装置(10)与所述过滤装置(1)通过管道连接；所述第二收集装置(11)与所述加压降温设备(2)通过管道连接；所述第三收集装置(12)与所述氧化炉(4)通过管道连接。5.根据权利要求1所述的一种从氨气直接生产电子级硝酸制备系统及方法，其特征在于，所述系统还包括产品储罐(8)；所述产品储罐(8)与所述反渗透装置(7)通过管道连接。6.根据权利要求1所述的一种从氨气直接生产电子级硝酸制备系统及方法，其特征在于，所述反渗透装置(7)内设置有反渗透膜；所述反渗透膜采用芳香聚酰胺膜、聚砜膜、聚氯乙烯膜中的至少一种。7.一种从氨气直接生产电子级硝酸制备系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲍鑫，蔡阿丽，元刚，张凯，张晓东，
申请(专利权)人：西安吉利电子新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：