一种MEMS陀螺的抖动微纳结构制造技术

技术编号:34433241 阅读:19 留言:0更新日期:2022-08-06 16:13
本发明专利技术公开了一种MEMS陀螺的抖动微纳结构,包括支撑柱、外圈、折叠梁及电极;支撑柱和外圈同轴设置,折叠粱用于将多个折叠粱沿径向设置于支撑柱和外圈之间并在周向360度范围内均匀分布,在折叠粱的侧面设置正负电极,折叠粱具有左右对称的折叠结构,所述折叠结构增加了正负电极的表面积。本发明专利技术的抖动微纳结构采用折叠梁结构增加电极表面积,使得在相同抖动幅度的情况下驱动电压更低;本发明专利技术抖动微纳结构的外圈为镂空结构,实现了更大抖动幅值。本发明专利技术具有成本低、体积小、结构简单、驱动电压低、抖动频率高的优点,用于惯导系统的陀螺可以缩短启动时间,提高响应速度。提高响应速度。提高响应速度。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS陀螺的抖动微纳结构


[0001]MEMS和惯性导航
,涉及一种MEMS陀螺的抖动微纳结构。

技术介绍

[0002]陀螺零偏是影响惯导系统精度的主要误差源,通常需要对已装上系统的陀螺零偏进行周期性的标定和检测才能保证惯导系统的指标。随着应用装备中惯导系统数量的增加,惯导系统周期性的标定和检测给用户带来越来越沉重的负担,用户迫切需要实现惯导系统免标定。如何减小甚至消除零偏,一直是陀螺技术研究面临的技术挑战和难点,也是惯导系统实现免标定的前提。
[0003]目前常规MEMS陀螺的静态性能(零偏稳定性、分辨率)已能够满足大多数应用需求。但由于零偏受温度、力学环境、封装应力、封装气体等影响,尤其是,MEMS陀螺长期存储后,实测都还存在随时间漂移的问题。
[0004]为解决上述问题,现有技术已有调制解调消除陀螺零偏的方法。该方法对陀螺敏感轴进行周期性调制,在解调角速度的过程中,将陀螺零偏调制到高频,并通过滤波予以消除。但已有的抖动调制机构,普遍存在机电结构复杂、体积庞大的缺点,使得陀螺启动时间长、动态性能差,并且成本高。因本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS陀螺的抖动微纳结构,包括支撑柱、外圈、折叠梁及电极;支撑柱固定于MEMS陀螺中,外圈与支撑柱同轴设置,多个折叠粱沿径向设置于支撑柱和外圈之间并在周向360度范围内均匀分布,折叠粱包括多段单梁和连接相邻单梁的连接部,每段单梁的侧面均设置有正负电极,多段单梁通过连接部连接形成左右对称的折叠结构,所述折叠结构用于增加正负电极的表面积。2.如权利要求1所述的抖动微纳结构,其中,折叠粱的单梁是长方体,并且多段单梁相互平行。3.如权利要求2所述的抖动微纳结构,其中,在折叠粱对称轴上设置一段单梁,对称轴两侧分别设置n次对折结构,折叠粱共折叠2n次,n为自然数。4.如权利要求3所述的抖动微纳结构,其中,折叠粱的单梁仅在左右侧面布置正负电极,左右侧面布置电极的方式相同,均采用长度方向上正负电极交错布置的方式,同一侧面和不同侧面的电极之间留有间隔;角度相邻的单梁的电极分布规律相反,角度相邻的折叠粱的电极分布规律相反。5.如权利要求3所述的抖动微纳结构,其中,折叠粱的单梁在前后左右四个侧面布置正负电极,相平行的两个...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭芃李长健冯立辉郭军强
申请(专利权)人:北京理工大学
类型:发明
国别省市:

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