集成电路清洁装置制造方法及图纸

技术编号:34431497 阅读:33 留言:0更新日期:2022-08-06 16:09
本揭露是关于集成电路清洁装置,其用于清洁集成电路产品。根据本申请一实施例的集成电路清洁装置可包括第一组件、传动组件及动力组件。传动组件可经配置以带动第一组件转动。动力组件可经配置以带动传动组件转动。本揭露提供的集成电路清洁装置能够高效地清除集成电路产品表面的毛刺且达到良好的清洁效果。路产品表面的毛刺且达到良好的清洁效果。路产品表面的毛刺且达到良好的清洁效果。

【技术实现步骤摘要】
集成电路清洁装置


[0001]本技术涉及集成电路
,特别是涉及一种集成电路清洁装置。

技术介绍

[0002]目前,使用溅镀工艺在集成电路产品设置电磁屏蔽层时,铜(Cu)或不锈钢(SUS)金属原子处于高度激发的状态。靶材会难以避免地溢镀到集成电路封装产品的引脚面。通常,使用胶带来保护引脚面。然而,在胶带的移除过程中会形成不期望的毛刺。因而,业内亟需解决如何有效地清除集成电路产品表面的毛刺的问题。

技术实现思路

[0003]本技术提供了一种集成电路清洁装置,其能够有效地清除集成电路产品的表面上的毛刺,且达到良好的清洁效果。
[0004]本技术的一实施例提供了一种集成电路清洁装置,其用于清洁集成电路产品,其包括第一组件;传动组件,其经配置以带动第一组件转动;及动力组件,其经配置以带动传动组件转动。
[0005]在本申请的另一实施例中,第一组件经配置以位于待处理的集成电路产品的表面的下方。
[0006]在本申请的又一实施例中,集成电路清洁装置还包括用于接触集成电路产品的表面的清洁组件。
[0007]在本申请的另一实施例中,清洁组件以可拆卸的方式固定至第一组件。
[0008]在本申请的又一实施例中,传动组件包括第一轴承,且第一组件经配置以连接至第一轴承。
[0009]在本申请的另一实施例中,传动组件包括第一齿轮,该第一齿轮安装于第一轴承上。
[0010]在本申请的又一实施例中,传动组件还包括二轴承,且动力组件经配置以连接至第二轴承。
[0011]在本申请的另一实施例中,传动组件还包括第二齿轮,该第二齿轮安装于第二轴承上。
[0012]在本申请的又一实施例中,传动组件还包括与第一齿轮和第二齿轮连接的皮带轮。
[0013]在本申请的另一实施例中,其进一步包括经配置以固定动力组件和传动组件的第二组件,第一轴承和第二轴承固定于第二组件。
[0014]在本申请的又一实施例中,第二组件为钢板平台。
[0015]在本申请的另一实施例中,动力组件是电动机。
[0016]在本申请的又一实施例中,清洁组件可包括第一元件及收容第一元件的第二元件,且第二元件固定至第一组件。
[0017]本技术实施例提供的集成电路清洁装置可有效地去除集成电路封装产品的引脚面的毛刺,从而避免集成电路封装产品的引脚面发生短路。
附图说明
[0018]图1是根据本技术一实施例的集成电路清洁装置在X

Y平面上的截面示意图;
[0019]图2A是图1中所示的集成电路清洁装置的清洁组件在X

Y平面上的截面示意图;
[0020]图2B是图1中所示的集成电路清洁装置的清洁组件在Y

Z平面上截面示意图;
[0021]图2C是图1中所示的集成电路清洁装置的清洁组件的立体示意图;
[0022]图2D是图1中所示的集成电路清洁装置的清洁组件的第二元件在X

Y平面上的截面示意图;
[0023]图3是图1中所示的集成电路清洁装置的清洁组件和第一组件在X

Y平面上的截面示意图;
[0024]图4是根据本技术另一实施例的集成电路清洁装置的清洁组件在X

Y平面上的截面示意图。
具体实施方式
[0025]为更好的理解本技术的精神,以下结合本技术的部分优选实施例对其作进一步说明。
[0026]图1是根据本技术一实施例的集成电路清洁装置10的截面示意图。图2A是图1中所示的集成电路清洁装置10的清洁组件101在X

Y平面上的截面示意图。图2B是图1中所示的集成电路清洁装置10的清洁组件101在Y

Z平面上截面示意图。图2C是图1中所示的集成电路清洁装置10的清洁组件101的立体示意图。图2D是图1中所示的集成电路清洁装置10的清洁组件101的第二元件1013在X

Y平面上的截面示意图。
[0027]图3是图1中所示的集成电路清洁装置10的清洁组件101和第一组件105在X

Y平面上的截面示意图。
[0028]如图1至图3所示,该清洁装置10可具有清洁组件101、传动组件103、第一组件105和动力组件109。清洁装置10可具有沿着X方向(即,水平方向)上的长度、沿着Y方向(即,垂直方向)上的高度,及沿着Z方向(即,垂直于水平方向和垂直方向所在的平面)上的宽度。
[0029]清洁组件101可用于接触待处理的集成电路产品200的表面201。清洁组件101以可拆卸的方式固定至第一组件105。清洁组件101可包括第一元件1011及收容第一元件1011的第二元件1013。第二元件1013经配置以固定于第一组件105中。第一元件1011与第二元件1013能够以可拆卸的方式连接。清洁组件101还可包括连接第一元件1011与第二元件1013的连接件1015。
[0030]第一元件1011可具有沿清洁组件10的高度方向Y延伸的第一端1011A和与第一端1011A相对的第二端1011B。第一端1011A可经配置以清除待处理的集成电路产品200的表面201上的毛刺。第一端1011A可为平坦表面。第二端1011B可为弧形,其可收容于第二元件1013。在本申请其它实施例中,第二端1011B可为方形或任意其它合适的形状。第二端1011B可包括沿高度方向Y从第二端1011B的外表面延伸至第一元件1011内部的第一孔1011C和第二孔1011D。第一孔1011C和第二孔1011D可连通。在本申请其它实施例中,第二端1011B可包
括任意合适数量和形状的孔,且孔可连通或不连通。第一元件1011的材料可为,例如,但不限于,橡胶。采用橡胶制成第一元件1011可使得第一元件1011具有耐磨损和使用寿命长的优点。第一元件1011的材料也可为任意合适的耐磨损材料。可根据需要设置第一元件1011沿着Y方向具有较长的尺寸,以使得第一元件1011具有较长的使用寿命,降低更换第一元件1011的频率。第一元件1011沿着Y方向的尺寸可为,例如,但不限于,30mm、50mm、2cm、3cm、5cm、6cm,或7cm。第一元件1011的形状可为,例如,但不限于,圆柱形,方形。
[0031]第二元件1013可具有容纳第一元件1011的内表面1013A。内表面1013A的弧形可与第二端1011B的形状配合。在本申请其它实施例中,内表面1013A可为方形或任意其它合适的形状,其与第二端1011B的形状配合。第二元件1013可具有从内表面1013A沿高度方向Y延伸穿过第二元件1013的第三孔1013B和第四孔1013C。第三孔1013B和第四孔1013C不连通。在本申请其它实施例中,第二元件1013可包括任意合适数量和形状的孔。第二元件1013还可包括第二子元件1013D。第三孔1013B和第四孔101本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路清洁装置,其用于清洁集成电路产品,其特征在于,其包括:第一组件;传动组件,其经配置以带动所述第一组件转动;及动力组件,其经配置以带动所述传动组件转动,其中所述第一组件经配置以位于待处理的所述集成电路产品的表面的下方。2.根据权利要求1所述的集成电路清洁装置,其特征在于,所述集成电路清洁装置还包括用于接触所述集成电路产品的表面的清洁组件。3.根据权利要求2所述的集成电路清洁装置,其特征在于,所述清洁组件以可拆卸的方式固定至所述第一组件。4.根据权利要求1所述的集成电路清洁装置,其特征在于,所述传动组件包括第一轴承,且所述第一组件经配置以连接至所述第一轴承。5.根据权利要求4所述的集成电路清洁装置,其特征在于,所述传动组件包括第一齿轮,所述第一齿轮安装于所述第一轴承上。6.根据权利要求5所述的集成电路清洁装置,其特征在于,所述传动组件还包...

【专利技术属性】
技术研发人员:周猛张生
申请(专利权)人:日月新半导体苏州有限公司
类型:新型
国别省市:

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