一种复合金属膜水电镀的生产设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种复合金属膜水电镀的生产设备，包括放卷装置、收卷装置和薄膜处理装置，薄膜处理装置位于放卷装置和收卷装置之间，其中，薄膜处理装置包括化学镀槽本体和电镀槽本体。本实用新型专利技术实施例中在电镀之前先通过化学镀槽本体对基膜进行化学沉积，实现电镀前的镀层预增厚，降低了复合金属膜生产过程中产生孔洞的风险，提高了生产效率，同时降低了复合铜膜孔的不良率，提高了成品良率。提高了成品良率。提高了成品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种复合金属膜水电镀的生产设备


[0001]本技术涉及复合金属薄膜制造
，具体涉及一种复合金属膜水电镀的生产设备。

技术介绍

[0002]目前，在复合金属薄膜在制造过程中，为了生产出符合要求的复合金属膜，现有技术中通常通过多次物理气相沉积，包括一次磁控溅射合金打底层、六次真空蒸镀铜层和一次磁控溅射铜层的方式，再经过电镀铜，实现复合铜膜的生产，虽然此种生产线能生产出满足复合铜膜的物理性能，但是物理气象沉积时镀层比厚时，容易使得膜面出现孔洞，且方阻高，导电性能差导致电镀效率低，甚至影响产品性能。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术实施例的目的在于提供一种复合金属膜水电镀的生产设备，以解现有技术中由于物理气象沉积时镀层比较厚时容易导致膜面容易出现孔洞，且方阻高，导电性能差导致电镀效率低的技术问题。
[0004]为达上述目的，本技术实施例提供了一种复合金属膜水电镀的生产设备，所述生产设备包括：
[0005]放卷装置、收卷装置和薄膜处理装置，所述薄膜处理装置位于所述放卷装置和所述收卷装置之间，其中，所述薄膜处理装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述生产设备包括：放卷装置(1)、收卷装置(2)和薄膜处理装置(3)，所述薄膜处理装置(3)位于所述放卷装置(1)和所述收卷装置(2)之间，其中，所述薄膜处理装置(3)包括化学镀单元(31)和电镀单元(32)；所述化学镀单元(31)包括：第一槽本体(310)；第一对挤压辊(311)和第二对挤压辊(312)，分别转动的安装在所述第一槽本体(310)的两端的侧壁上；储液槽(313)，设置在所述第一对挤压辊(311)和所述第二对挤压辊(312)之间；所述电镀单元(32)包括：第二槽本体(320)；若干对导电辊(321)，间隔设置在所述第二槽本体(320)内，且分别转动的安装在所述第二槽本体(320)的侧壁上；若干个镀液槽(322)，分别设置在相邻的两对导电辊(321)之间。2.根据权利要求1所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述化学镀单元(31)还包括：第一对截液辊(314)和第二对截液辊(315)，分别设置在所述储液槽(313)的入液端和出液端，且与所述储液槽(313)的侧壁转动连接。3.根据权利要求2所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述化学镀单元(31)还包括：若干个过辊(316)，设置在所述第一对截液辊(314)和所述第二对截液辊(315)之间，且与所述储液槽(313)的侧壁转动连接。4.根据权利要求3所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述电镀单元(32)还包括：第三对截液辊(323)和第四对截液辊(324)，分别设置在所述镀液槽(322)的入液端和出液端，分别与所述镀液槽(322)的侧壁转动连接。5.根据权利要求4所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述电镀单元(32)还包括：上下阳极钛蓝(325)，设置在所述第三对截液辊(323)和所述第四对截液辊(324)之间，与所述镀液槽(322)的侧壁固定连接。6.根据权利要求5所述的一种复合金属膜水电镀的生产设备，其特征在于，所述薄膜处理装置(3)还包括：第一水洗单元(33)，设置在所述化学镀单元(31)和所述电镀单元(32)之间，所述第一水洗单元(33)包括：第三槽本体(330)；第三对挤压辊(331)、若干个喷水管(332)和第一水洗...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，刘洪波，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：