一种可调光学滤波装置制造方法及图纸

一种可调光学滤波装置，包括相互键合的第一透明衬底(101)和第二透明衬底(102)，在第一透明衬底(101)和第二透明衬底(102)的相互面对的表面上分别设置有互相平行的第一镜面(111)和第二镜面(112)，第一透明衬底(101)设置有分布在第一镜面(111)的外部周围的弹性结构(201)，弹性结构(201)上远离第一透明衬底(101)的一侧通过键合物与第二透明衬底(102)键合在一起。衬底和镜面组成的镜面芯片与弹性结构(201)通过分离且不同质的材料制成由电容驱动的FPI器件，在机械强度上满足FPI器件设计的要求，可以使第一镜面(111)和第二镜面(112)保持极高的平整度。光学镜面的制造和FPI器件的组装都兼容于标准化的微机械加工，因此适合大批量生产。大批量生产。大批量生产。大批量生产。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭斌，
申请(专利权)人：深圳市海谱纳米光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：