一种用于单晶炉的拼接式底加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于单晶炉的拼接式底加热器，涉及单晶硅制造技术领域，其可至少部分解决现有技术中由于底加热器一体化设计，导致不能单独更换部件，使用成本高昂的问题，本实用新型专利技术实施例的一种用于单晶炉的拼接式底加热器，包括发热条和脚板，所述发热条与脚板可拆卸连接。脚板可拆卸连接。脚板可拆卸连接。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶炉的拼接式底加热器


[0001]本技术涉及单晶硅制造
，具体涉及一种用于单晶炉的拼接式底加热器。

技术介绍

[0002]低成本、高品质的单晶硅片是单晶硅制造企业的核心竞争力。为进一步降低成本，大尺寸热场及大尺寸硅片应运而生，但大热场随之带来了热场石墨件成本高的问题。单晶炉热场石墨件中影响成本的主要是大尺寸的加工成本和大尺寸部件易损坏两个方面，其中单晶炉热场中的底加热器由于结构问题导致损坏较多。
[0003]如图1和图2，目前单晶炉热场中使用的底加热器为一体式结构，一体式结构的底加热器与电极的连接位置处易损坏，与电极的连接位置处易损坏一旦有某个位置损坏就无法使用，只能更换，由于一体式结构单个成本高，因此，目前的一体式结构的底加热器使用成本高。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是一种用于单晶炉的拼接式底加热器，用于解决现有技术中底加热器一旦有部分位置损坏就导致整个底加热器无法使用，使用成本高昂的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用了以下方案：一种用于单晶炉的拼接式底加热器，包括发热条本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的拼接式底加热器，包括发热条和脚板，其特征在于，所述发热条与脚板可拆卸连接；所述发热条包括第一发热条(3)和第二发热条(4)，所述脚板包括第一脚板(1)和第二脚板(2)；第一发热条(3)的两端分别和第一脚板(1)、第二脚板(2)可拆卸连接，第二发热条(4)的两端分别和第一脚板(1)、第二脚板(2)可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的拼接式底加热器，其特征在于，所述第一发热条(3)和所述第二发热条(4)的结构相同，第一发热条(3)和第二大热条均包括位于中间的发热部(5)和位于发热部(5)两侧的搭接部(6)；所述第一脚板(1)和所述第二脚板(2)的结构相同，第一脚板(1)和第二脚板(2)均包括位于中间的电极连接部和位于电极连接部两侧的承接部(10)；第一发热条(3)和第二发热条(4)的搭接部(6)均分别搭接在第一脚板(1)和第二脚板(2)的承接部(10)上。3.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉的拼接式底加热器，其特征在于，所述第一脚板(1)和第二脚板(2)分别位于所述第一发热条(3)和第二发热条(4)的发热部(5)的两侧，且第一脚板(1)和第二脚板(2)反向设置，第一发热条(3)和第二发热条(4)反向设置；第一发热条(3)和第二发热条(4)的搭接部(6)均包括A型搭接部和B型搭接部，第一脚板(1)和第二脚板(2)的承接部(10)均包括A型承接部和B型承接部，A型搭接部与A型承接部相适配，B型搭接部与B型承接部相适配；第一发热条(3)的A型搭接部搭接在第一脚板(1)的A型承接部上，第一发热条(3)的B型搭接部搭接在第二脚板...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨春祥，关树军，张鹏，路建华，刘国勇，
申请(专利权)人：乐山市京运通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：