一种芯片测试工程的动态优化方法及其系统技术方案

本发明专利技术提出了一种芯片测试工程的动态优化方法及其系统，方法包括：设置良率基准值；获取当前晶圆的测试数据和历史测试数据；查找与测试工程中各测试项相关的数据，得到各个测试项所对应的测试项数据；逐一对比各个测试项数据是否超出该测试项的预设测试限值计算各个测试项的良率；筛选出待优化测试项，若待优化测试项的数据满足正态分布，则构建出待正态分布图并分析优化建议，综合瑕疵率、优化建议和正态分布图得到该测试工程的测试报告。本方案在测试工程的执行过程中，综合当前测试数据和历史测试数据进行动态分析，及时发现测试项的异常，并根据优化方案及时调整，避免不良结果的进一步扩大，实现对测试工程的动态优化。实现对测试工程的动态优化。实现对测试工程的动态优化。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片测试工程的动态优化方法及其系统


[0001]本专利技术涉及半导体芯片测试领域，特别涉及一种芯片测试工程的动态优化方法及其系统。

技术介绍

[0002]ATE（Automatic Test Equipment）是集成电路自动化测试设备，是用于检测芯片功能和性能的专用设备，芯片良品率监测、工艺改善和可靠性的验证都需要通过该类设备来完成。
[0003]在实际应用中，需要依靠ATE设备执行芯片测试工程，以实现一批芯片晶圆的测试。每个芯片测试工程都包括多个测试项，每个测试项都有limit值来判断测试值是不是正常范围内（limit_min
–
limit_max）。
[0004]现有技术中，各个公司出品的测试机台在测试过程中都没有相关的数据分析、自动优化的功能。一般都是在测试完成后，技术人员根据测试数据手动做出测试工程的结果分析，再给出测试报告。
[0005]然而，该方案存在如下缺点：首先，测试报告是基于测试结果的分析，此时所有晶圆的测试都已经完成，若由测试工程偏差而导致晶圆测试的良率低，良率低的结果已经发生、且无法避免，只能根据优化测试工程之后再次进行测试。例如，某个测试项存在偏差，大概率会导致良率低的结果，但也只能将该批晶圆测试完毕后才能考测试报告得知，此时测试工程已经结束，只能重新调整测试项再次对该批晶圆进行测试，测试效率极低。其次，测试工程的优化需要明确具体问题，该方案只能得出一个关于fail率的报告，普遍的AE工程师无法将测试结果跟芯片测试工程准确联系在一起，不知如何优化。

技术实现思路

[0006]在有鉴于此，本专利技术提出了一种芯片测试工程的动态优化方法及其系统，具体方案如下：一种芯片测试工程的动态优化方法，包括如下：设置预设测试工程的良率基准值；由ATE设备依次对每个晶圆执行测试工程的各个测试项，并持续获取ATE设备在测试过程中产生的关于晶圆的测试数据；在已完成部分晶圆测试的基础上，获取当前晶圆的测试数据，结合由当前晶圆之前所有晶圆的测试数据共同构成的历史测试数据，得到第一测试数据；在第一测试数据中，查找与测试工程中各测试项相关的数据，得到各个测试项所对应的测试项数据；逐一对比各个测试项数据是否超出该测试项的预设测试限值，并将超出的标记为瑕疵，得到各个测试项的瑕疵率，并基于瑕疵率计算各个测试项的良率；筛选出良率低于所述良率基准值的测试项作为待优化测试项，若待优化测试项的
数据满足正态分布，则构建出待优化测试项的正态分布图并分析得到关于测试项调整的优化建议，综合瑕疵率、优化建议和正态分布图得到该测试工程的测试报告。
[0007]在一个具体实施例中，所述优化建议包括测试限值的调整；基于待优化测试项的正态分布图确认测试限值是否合理：若不合理，则根据待优化测试项的正态分布图重新划定测试项的测试限值。
[0008]在一个具体实施例中，所述优化建议还包括测试项顺序的调整；基于各个测试项的瑕疵率调整测试项之间的顺序，以使瑕疵率高的测试项在顺序上优先于瑕疵率低的测试项执行。
[0009]在一个具体实施例中，测试工程中的各个测试项以第一序列进行排列，部分测试项之间会存在依赖关系；所述依赖关系包括在前测试项影响在后测试项的测试，存在依赖关系的测试项之间须按照特定的先后顺序进行排列；所述测试项顺序的调整具体包括：基于第一序列，按照瑕疵率从大到小的顺序依次选定一个待优化测试项作为第一测试项进行顺序调整，将测试工程中除第一测试项以外、且位于第一测试项之前的测试项作为第二测试项；所述顺序调整包括：以第一序列从后往前的顺序，通过逐个判断第二测试项与第一测试项之间是否存在依赖关系，以调整测试工程中第一测试项所处的位置，直至满足预设停止条件，完成第一测试项的位置调整，并更新第一序列；基于更新后的第一序列，更换待优化测试项作为第一测试项进行位置调整。
[0010]在一个具体实施例中，预设停止条件包括：首次出现第二测试项与第一测试项之间存在依赖关系；或，完成所有第二测试项的判断均未发现与第一测试项存在依赖关系的第二测试项。
[0011]在一个具体实施例中，若第二测试项与第一测试项之间存在依赖关系，则将第一测试项设置于该第二测试项之后，并停止判断；若第二测试项与第一测试项之间不存在依赖关系，则将第一测试项置于该第二测试项之前，并继续判断。
[0012]在一个具体实施例中，所述依赖关系包括直接依赖关系和间接依赖关系，所述直接依赖关系为在前测试项直接影响在后测试项的测试，所述间接依赖关系为在前测试项通过影响中间测试项进而间接影响在后测试项的测试；若第二测试项与第一测试项之间存在依赖关系，则：将该第二测试项作为第一测试项的前序测试项；筛选出与每个前序测试项存在直接或间接依赖关系的第二测试项，并更新到前序测试项中；将更新后的前序测试项置于第一测试项之前，并继续判断。
[0013]在一个具体实施例中，测试工程中涉及的测试项包括Trim测试项；若Trim测试项为待优化测试项，则优化建议中还包括：检查算法的实现过程或更换算法；
并重新对Trim测试项所用到的ATE设备相关资源进行精度校准。
[0014]在一个具体实施例中，测试工程中涉及的测试项包括OS测试项；若OS测试项为待优化测试项，则优化建议中还包括：当检测到的电压值接近于0时，检查相关引脚电路是否短路；当检测到的电压值接近于测试限值的最大值时，检查相关引脚电路是否开路。
[0015]一种芯片测试工程的动态优化系统，包括如下：基准值单元，用于设置预设测试工程的良率基准值；数据获取单元，用于由ATE设备依次对每个晶圆执行测试工程的各个测试项，并持续获取ATE设备在测试过程中产生的关于晶圆的测试数据；数据融合单元，用于在已完成部分晶圆的测试的基础上，获取当前晶圆的测试数据，结合由当前晶圆之前所有晶圆的测试数据共同构成的历史测试数据，得到第一测试数据；测试项筛选单元，用于在第一测试数据中，查找与测试工程中各测试项相关的数据，得到各个测试项对应的测试项数据；对比标记单元，用于逐一对比各个测试项数据是否超出该测试项的预设测试限值，并将超出的标记为瑕疵，得到各个测试项的瑕疵率，并基于瑕疵率计算各个测试项的良率；测试项优化单元，用于筛选出良率低于所述良率基准值的测试项作为待优化测试项，若待优化测试项的数据满足正态分布，则构建出待优化测试项的正态分布图并分析出优化建议，综合瑕疵率、优化建议和正态分布图得到该测试工程的测试报告。
[0016]有益效果：本专利技术提出了一种芯片测试工程的动态优化方法及其系统，在测试工程的执行过程中，综合当前晶圆的测试数据以及之前晶圆的历史测试数据进行动态分析，实现对测试工程精准的动态优化。在测试工程执行过程中即可及时发现测试项的异常，并根据优化方案及时调整，避免不良结果的进一步扩大，能有效提升芯片晶圆的测试效率，且降低了技术人员的技术水平要求，提高了ATE测试机的使用效率。
附图说明
[0017]图1为本专利技术实施例的动态优化方法流程示意图；图2为本专利技术实施例的动态优化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试工程的动态优化方法，其特征在于，包括如下：设置预设测试工程的良率基准值；由ATE设备依次对每个晶圆执行测试工程的各个测试项，并持续获取ATE设备在测试过程中产生的关于晶圆的测试数据；在已完成部分晶圆测试的基础上，获取当前晶圆的测试数据，结合由当前晶圆之前所有晶圆的测试数据共同构成的历史测试数据，得到第一测试数据；在第一测试数据中，查找与测试工程中各测试项相关的数据，得到各个测试项所对应的测试项数据；逐一对比各个测试项数据是否超出该测试项的预设测试限值，并将超出的标记为瑕疵，得到各个测试项的瑕疵率，并基于瑕疵率计算各个测试项的良率；筛选出良率低于所述良率基准值的测试项作为待优化测试项，若待优化测试项的数据满足正态分布，则构建出待优化测试项的正态分布图并分析得到关于测试项调整的优化建议，综合瑕疵率、优化建议和正态分布图得到该测试工程的测试报告。2.根据权利要求1所述的动态优化方法，其特征在于，所述优化建议包括测试限值的调整；基于待优化测试项的正态分布图确认测试限值是否合理：若不合理，则根据待优化测试项的正态分布图重新划定测试项的测试限值。3.根据权利要求2所述的动态优化方法，其特征在于，所述优化建议还包括测试项顺序的调整；基于各个测试项的瑕疵率调整测试项之间的顺序，以使瑕疵率高的测试项在顺序上优先于瑕疵率低的测试项执行。4.根据权利要求3所述的动态优化方法，其特征在于，测试工程中的各个测试项以第一序列进行排列，部分测试项之间会存在依赖关系；所述依赖关系包括在前测试项影响在后测试项的测试，存在依赖关系的测试项之间须按照特定的先后顺序进行排列；所述测试项顺序的调整具体包括：基于第一序列，按照瑕疵率从大到小的顺序依次选定一个待优化测试项作为第一测试项进行顺序调整，将测试工程中除第一测试项以外、且位于第一测试项之前的测试项作为第二测试项；所述顺序调整包括：以第一序列从后往前的顺序，通过逐个判断第二测试项与第一测试项之间是否存在依赖关系，以调整测试工程中第一测试项所处的位置，直至满足预设停止条件，完成第一测试项的位置调整，并更新第一序列；基于更新后的第一序列，更换待优化测试项作为第一测试项进行位置调整。5.根据权利要求4所述的动态优化方法，其特征在于，预设停止条件包括：首次出现第二测试项与第一测试项之间存在依赖关系；或，完成所有第二测试项的判断均未发现与第一测试项存在依赖关系的第二测试项。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌云，邬刚，
申请(专利权)人：杭州加速科技有限公司，
类型：发明
国别省市：