具有三平衡质量的位移装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种具有三平衡质量的位移装置，通过平衡质量组件的第一质量块、第二质量块和第三质量块的反力引导作用组合，可以将平面运动组件在位移过程中引起的旋转角位移，转化为第二质量块和第三质量块在第一水平方向上的直线位移或者位移差。与现有技术相比，该方案实现了对附加旋转力矩的运动反冲和缓冲消化的效果，极大削弱了平面运动组件运动过程中在旋转方向上对支撑台产生的振动干扰影响，提高位移装置整体运动的稳定性和定位精度。并且，与现有的位移装置相比，该方案不会有反应迟滞的问题，不会在启动和加减速过程中对位移装置引起附加的振动冲击。而且，在满足位移稳定性和精度的同时，降低了制造难度和成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
具有三平衡质量的位移装置


[0001]本技术涉及精密运动装备
，具体而言，涉及一种具有三平衡质量的位移装置。

技术介绍

[0002]在精密运动装备制造领域，大行程运动台技术是一项核心技术，一直受到行业内的高度重视。在大行程位移装置中，位移装置的运动往往会产生很大的反向作用力，尤其是在加速和减速阶段产生的反向作用力要更大，由此反向作用力引发的振动冲击影响，极大地干扰了位移装置的定位精度、反应速度和稳定时间，因此需要设计平衡质量部件充当反力引导机构，承担位移装置的反向作用力和反向位移，抵消位移过程中产生的振动冲击影响。
[0003]平衡质量部件的设计基于动量守恒原理，电机驱动力作用于平面运动组件上，推动平面运动组件产生运动，同时电机驱动反力作用于平衡质量上，推动平衡质量反向运动，平衡质量部件的设计基本能消除传递到装置框架的扰动。
[0004]现有技术中，有通过气浮装置支撑平面运动的位移装置，在实现了水平两自由度的反力引导作用外，还会附加水平面上的旋转力矩作用，该旋转力矩产生的角位移并不满足角动量守恒原理。为了解决旋转力矩引起的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有三平衡质量的位移装置，其特征在于，包括支撑台(1)、平衡质量组件(2)和平面运动组件(3)；所述平衡质量组件(2)包括第一质量块(201)、第二质量块(202)和第三质量块(203)，所述第一质量块(201)至少部分设置于所述第二质量块(202)和所述第三质量块(203)之间，且所述第一质量块(201)可沿第二水平方向滑动地设置于所述支撑台(1)上，所述第二质量块(202)和所述第三质量块(203)均可沿第一水平方向滑动地并排设置于所述支撑台(1)上或所述第一质量块(201)上，所述第二水平方向垂直于所述第一水平方向；所述平面运动组件(3)包括运动台(301)和驱动组件(302)，所述运动台(301)分别滑动连接至所述第一质量块(201)、所述第二质量块(202)和所述第三质量块(203)，所述驱动组件(302)的定子相对所述平衡质量组件(2)固定，所述驱动组件(302)的动子相对所述运动台(301)固定，以驱动所述运动台(301)沿所述第一水平方向和/或所述第二水平方向运动。2.根据权利要求1所述的具有三平衡质量的位移装置，其特征在于，所述平衡质量组件(2)还包括第一导向机构(211)、第二导向机构(212)和第三导向机构(213)；所述第一导向机构(211)包括第一导轨和第一移动部，所述第一导轨连接至所述支撑台(1)，且所述第一导轨沿所述第二水平方向延伸，所述第一移动部可滑动或滚动地和所述第一导轨配合，所述第一移动部和所述第一质量块(201)连接；所述第二导向机构(212)包括第二导轨和第二移动部，所述第二导轨连接至所述支撑台(1)或所述第一质量块(201)，且所述第二导轨沿所述第一水平方向延伸，所述第二移动部可滑动或滚动地和所述第二导轨配合，所述第二移动部和所述第二质量块(202)连接；所述第三导向机构(213)包括第三导轨和第三移动部，所述第三导轨连接至所述支撑台(1)或所述第一质量块(201)，且所述第三导轨沿所述第一水平方向延伸，所述第三移动部可滑动或滚动地和所述第三导轨配合，所述第三移动部和所述第三质量块(203)连接。3.根据权利要求1所述的具有三平衡质量的位移装置，其特征在于，所述第二质量块(202)和所述第三质量块(203)设置于所述支撑台(1)上，所述第二质量块(202)和所述第三质量块(203)并排设置，所述第一质量块(201)全部位于所述第二质量块(202)和所述第三质量块(203)之间。4.根据权利要求1所述的具有三平衡质量的位移装置，其特征在于，所述第二质量块(202)和所述第三质量块(203)设置于所述第一质量块(201)上，所述第一质量块(201)具有两个并排设置的安装槽(2013)，所述第二质量块(202)和所述第三质量块(203)分别位于两个所述安装槽(2013)内。5.根据权利要求1所述的具有三平衡质量的位移装置，其特征在于，还包括防漂组件，所述防漂组件包括：第一防漂部，所述第一防漂部包括第一驱动电机(511)，所述第一驱动电机(511)的定子连接至所述支撑台(1)，所述第一驱动电机(511)的动子连接至所述第一质量块(201)的一端；第二防漂部，所述第二防漂部包括第二驱动电机(512)，所述第二驱动电机(512)的动子连接至所述第二质量块(202)的一端；第三防漂部，所述第三防漂部包括第三驱动电机(513)，所述第三驱动电机(513)的动子连接至所述第三质量块(203)的一端；
其中，若所述第二质量块(202)和所述第三质量块(203)设置于所述支撑台(1)上，所述第二驱动电机(512)和所述第三驱动电机(513)的定子均连接至所述支撑台(1)；若所述第二质量块(202)和所述第三质量块(203)设置于所述第一质量块(201)上，所述第二驱动电机(512)和所述第三驱动电机(513)的定子均连接至所述第一质量块(201)。6.根据权利要求5所述的具有三平衡质量的位移装置，其特征在于，所述第一防漂部还包括第一弹性机构(521)，所述第一弹性机构(521)的一端连接至所述第一质量块(201)的另一端，所述第一弹性机构(521)的另一端连接至所述支撑台(1)；所述第二防漂部还包括第二弹性机构(522)，所述第二弹性机构(522)的一端连接至所述第二质量块(202)的另一端；所述第三防漂部还包括第三弹性机构(523)，所述第三弹性机构(523)的一端连接至所述第三质量块(203)的另一端；其中，若所述第二质量块(202)和所述第三质量块(203)设置于所述支撑台(1)上，所述第二弹性机构(522)和所述第三弹性机构(523)的另一端均连接至所述支撑台(1)；若所述第二质量块(202)和所述第三质量块(203)设置于所述第一质量块(201)上，所述第二弹性机构(522)和所述第三弹性机构(523)的另一端均连接至所述第一质量块(201)。...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚威，胡兵，彭仁强，蒋贇，陈懋毓，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：