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本实用新型提供了一种具有三平衡质量的位移装置,通过平衡质量组件的第一质量块、第二质量块和第三质量块的反力引导作用组合,可以将平面运动组件在位移过程中引起的旋转角位移,转化为第二质量块和第三质量块在第一水平方向上的直线位移或者位移差。与现有技...该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种具有三平衡质量的位移装置,通过平衡质量组件的第一质量块、第二质量块和第三质量块的反力引导作用组合,可以将平面运动组件在位移过程中引起的旋转角位移,转化为第二质量块和第三质量块在第一水平方向上的直线位移或者位移差。与现有技...