一种晶圆盒用压盒推料机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶圆盒用压盒推料机构，包括机架、第一压盒机构和第二压盒机构，第一压盒机构包括压盒电机、第一压块和第一齿条，压盒电机沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过第一丝杆和第一丝杆螺母与第一齿条沿着Y轴方向驱动连接设置，第一齿条与内侧的第一压块啮合设置，第二压盒机构包括第二齿条和第二压块，第二齿条与内侧的第二压块啮合设置，第一压块沿着Y轴正方向的一侧通过拉绳与第二压块沿着Y轴正方向的一侧相连接。本实用新型专利技术一种晶圆盒用压盒推料机构，通过第一压盒机构和第二压盒机构可以快速自动的实现对晶圆盒的压盒处理，操作简单，使用方便；通过推料机构的结构设置，可以对晶圆盒内移位的晶圆进行推料处理。理。理。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒用压盒推料机构


[0001]本技术涉及晶圆加工相关
，尤其涉及一种晶圆盒用压盒推料机构。

技术介绍

[0002]晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。晶圆盒放置到位后一般需要进行压盒操作，避免晶圆盒在加工过程中产生位置偏移等情况，但是现有技术中的压盒操作一般通过手动拨动压块的操作方式。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆盒用压盒推料机构，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种晶圆盒用压盒推料机构。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种晶圆盒用压盒推料机构，包括机架、第一压盒机构和第二压盒机构，机架上沿着X轴负方向的一侧设置有第一压盒机构，机架上沿着X轴正方向的一侧设置有第二压盒机构，第一压盒机构包括压盒电机、第一压块和第一齿条，压盒电机沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过第一丝杆和第一丝杆螺母与第一齿条沿本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒用压盒推料机构，其特征在于，包括机架(1)、第一压盒机构(3)和第二压盒机构(6)，所述机架(1)上沿着X轴负方向的一侧设置有第一压盒机构(3)，所述机架(1)上沿着X轴正方向的一侧设置有第二压盒机构(6)，所述第一压盒机构(3)包括压盒电机(8)、第一压块(10)和第一齿条(11)，所述压盒电机(8)沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过第一丝杆和第一丝杆螺母与第一齿条(11)沿着Y轴方向驱动连接设置，所述第一齿条(11)与内侧的第一压块(10)啮合设置，所述第二压盒机构(6)包括第二齿条(14)和第二压块(15)，所述第二齿条(14)与内侧的第二压块(15)啮合设置，所述第一压块(10)沿着Y轴正方向的一侧通过拉绳(9)与第二压块(15)沿着Y轴正方向的一侧相连接，所述机架(1)上还设置有推料机构(7)，所述推料机构(7)包括推料电机(17)、转动块(19)、转轴(23)和推块(25)，所述推料电机(17)沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过第二丝杆和第二丝杆螺母(18)与转动块(19)相连接，所述转动块(19)与转轴(23)相连接，所述转轴(23)通过轴承(22)安装在机架(1)上，所述转轴(23)的底部通过连接杆(24)与推块(25)相连接。2.如权利要求1所述的一种晶圆盒用压...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐靖宇，林坚，王彭，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：