温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种晶圆盒用压盒推料机构，包括机架、第一压盒机构和第二压盒机构，第一压盒机构包括压盒电机、第一压块和第一齿条，压盒电机沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过第一丝杆和第一丝杆螺母与第一齿条沿着Y轴方向驱动连接设置，第一齿条与内侧的第一...
该专利属于泓浒（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泓浒（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。