一种新型三自由度柔性并联微转台制造技术

本发明专利技术公开了一种新型三自由度柔性并联微转台，包括机架、动平台、一条中心支链以及均匀布置于动平台、机架之间的若干条结构相同的运动支链，机架上设置有若干条均匀布置且相交于一点的水平直线导轨。中心支链是由第一中心立柱、柔性球铰、第二中心立柱组成。若干条结构相同的运动支链均依次由水平直线导轨、压电陶瓷驱动器、移动滑块、第一柔性球铰、连杆、第二柔性球铰组成。本发明专利技术由于柔性铰链具有无间隙、无摩擦、和无润滑等一系列优点，使得由柔性铰链作为被动副所构建的机构具有高分辨率和高重复定位精度的特性。本发明专利技术的新型三自由度柔性并联微转台可以在工作空间内提供微弧度级运动精度。级运动精度。级运动精度。

【技术实现步骤摘要】
一种新型三自由度柔性并联微转台


[0001]本专利技术属于微细作业装备
，涉及一种柔性并联微转台，具体涉及一种新型微弧度级精度定位三自由度柔性并联微转台。

技术介绍

[0002]伴随着微纳米科技浪潮所引发的制造、信息、材料、生物、医疗和国防等众多领域的革命性变化，使得柔性机构在微电子、光电子元器件的微制造和微操作、微机电系统(MEMS)、生物医学工程等这些定位精度要求一般在亚微米级甚至纳米级的领域中得到了广泛应用。
[0003]柔性机构应用最广的领域是微定位，特别是具有纳米级(微弧度级)运动分辨率的超精密定位
它经历了从单自由度到多自由度，从一维到平面再到三维的发展历程。结构类型有串联、并联、混联等多种形式，但以并联为主。目前，常用柔性精密定位平台的运动类型可大致分为纯移动或纯转动和既有转动又有移动这两类；纯转动类型的柔性精密定位平台多为二自由度且为指向机构，而三自由度的柔性精密定位平台却很少。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提提供一种具有一定的承载能力，结构简单紧凑、制造成本低、精度高等性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型三自由度柔性并联微转台，其特征在于：由机架(1)、动平台(5)以及两者之间的若干条运动支链和一条中心支链组成；所述若干条运动支链结构相同，每条运动支链设置在机架(1)与动平台(5)之间，依次由水平直线导轨(11)、压电陶瓷驱动器(10)、移动滑块(9)、第一柔性球铰(8)、连杆(7)、第二柔性球铰(6)组成；所述机架(1)上设置有若干条均匀布置且交于一点的水平直线导轨(11)；所述压电陶瓷驱动器(10)和移动滑块(9)均设置在所述水平直线导轨(11)上，且所述压电陶瓷驱动器(10)驱动移动滑块(9)在水平直线导轨(11)上作直线运动；所述移动滑块(9)通过所述第二柔性铰链(8)与所述连杆(7)相连接，所述连杆(7)通过所述第一柔性铰链(6)与所述动平台(5)相连接；所述中心支链由第一中心立柱(2)、柔性球铰(3)和第二中心立柱(4)组成；所述第一中心立柱(2)与所述机架(1)连接，并通过所述柔性球铰(3)与所述第二中心立柱(4)相连接，所述第二中心立柱(4)与所述动平台(5)连接；所述第二柔性球铰(6)的球心均匀分布在同一圆上，所述第一柔性球铰(8)的球心也均匀分布在同一圆上；每条运动支链绕第一中心立柱(2)轴线对称分布，且每条运动支链的连杆与第一中心立柱(2)空间交错。2.根据权利要求1所述的新型三自由度柔性并联微转台，其特征在于：所述柔性球铰(3)切口轮廓为圆弧形状，具有三个自由度。3.根据权利要求1所述的新型三自由度柔性并联微转台，其特征在于：所述第一柔性球铰(8)切口轮廓为圆弧形状，具有三个自由度。4.根据权利要求1所述的新型三自由度柔性...

【专利技术属性】
技术研发人员：任军，吴瀚海，李其良，江辉，兰骜桀，曹秋玉，汪泉，张万成，
申请(专利权)人：湖北工业大学，
类型：发明
国别省市：