表面分析方法及表面分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术在分光成像中的分析结果的可视化时，能够进行高准确性的分析。一种表面分析方法，其具有如下工序：使用分光相机来获取试样表面的分光图像数据的工序；提取所获取的分光图像数据中的分散于特定波长范围内的n个波长，并将分光图像数据中的各波长的光谱按每个像素设为n维的空间向量的工序；对每个像素的空间向量进行标准化的工序；使标准化的空间向量在特定数量的分类中进行聚类的工序；及按每个分类识别显示在分类中聚类的像素的工序。个分类识别显示在分类中聚类的像素的工序。个分类识别显示在分类中聚类的像素的工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】表面分析方法及表面分析装置


[0001]本专利技术涉及一种表面分析方法及表面分析装置。

技术介绍

[0002]作为表面分析的方法之一，已知有分光成像。其使用分光相机(超光谱传感器(Hyper
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spectrum sensor)等)，获取按每个像素存储有分光光谱信息的分布数据(分光图像数据)，并通过分析每个像素的分光光谱信息，将试样中所含的物质或组成等分布可视化(例如，参考下述专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2016
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102769号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术课题
[0007]前述的分光成像被利用于生物体试样中的物质分析等各种领域中，在分光图像数据的分析中使用多变量分析等统计方法。在将分光图像数据可视化的方面有效的方法是分光光谱信息的聚类，通过以同一颜色显示在一个分类中聚类的一组分光光谱信息的像素，能够将基于分光图像数据的分析结果可视化为彩色图像。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种表面分析方法，其特征在于，具有如下工序：使用分光相机来获取试样表面的分光图像数据的工序；提取所获取的分光图像数据中的分散于特定波长范围内的n个波长，并将所述分光图像数据中的各波长的光谱按每个像素设为n维的空间向量的工序；对每个像素的所述空间向量进行标准化的工序；使标准化的所述空间向量在特定数量的分类中进行聚类的工序；及按每个所述分类识别显示在所述分类中聚类的像素的工序。2.根据权利要求1所述的表面分析方法，其特征在于，所述试样表面为TFT基板的表面，通过在所述分类中聚类的像素识别显示缺陷部分。3.一种表面分析装置，其特征在于，具备：分光...

【专利技术属性】
技术研发人员：水村通伸，
申请(专利权)人：株式会社V技术，
类型：发明
国别省市：