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表面分析方法及表面分析装置制造方法及图纸
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文档序号:34381246
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本发明在分光成像中的分析结果的可视化时,能够进行高准确性的分析。一种表面分析方法,其具有如下工序:使用分光相机来获取试样表面的分光图像数据的工序;提取所获取的分光图像数据中的分散于特定波长范围内的n个波长,并将分光图像数据中的各波长的光谱按...
该专利属于株式会社V技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社V技术授权不得商用。
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