一剂型高效长寿命铜钼蚀刻液、其制备方法及应用技术

本发明专利技术提供一种一剂型高效长寿命铜钼蚀刻液、其制备方法及应用。所述一剂型高效长寿命铜钼蚀刻液，包括质量配比如下的各组分：氧化剂5

A dosage form of high-efficiency long-life copper molybdenum etching solution, its preparation method and Application

【技术实现步骤摘要】
一剂型高效长寿命铜钼蚀刻液、其制备方法及应用


[0001]本专利技术涉及铜钼蚀刻液技术，尤其涉及一种一剂型高效长寿命铜钼蚀刻液、其制备方法及应用。

技术介绍

[0002]目前TFT
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LCD(Thin Flim Transistor
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Liquid Crystal Display)显示技术早已深入人们生活的方方面面，尤其是在电视等大尺寸显示器上，人们对于电视尺寸的要求越来愈大。在大尺寸显示器件上，目前其制作源漏极以及栅极的工艺大多选择铜制程，这是因为铜金属的导电性能比铝金属更好，更加适合高分辨率的大尺寸面板的制作。由于铜原子性质较活泼，容易往其他膜层扩散，且铜层与玻璃基板的粘接性较差。因此在制作铜导线时通常需要在铜层下方与玻璃或其他膜层接触的部位会镀上一层钼或者钼铌合金。从而在制作这类铜导线时，就需要使用到一种可以同时蚀刻铜层及钼或钼铌层金属的铜钼蚀刻液，并且还能保证蚀刻完后得到特定锥角的坡度、各金属层蚀刻量较为统一、无底切现象的蚀刻形貌。
[0003]目前最常使用的铜钼蚀刻液一般由双氧水、无机酸或有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种一剂型高效长寿命铜钼蚀刻液，其特征在于，包括质量配比如下的各组分：2.根据权利要求1所述一剂型高效长寿命铜钼蚀刻液，其特征在于，所述氧化剂为H2O2和/或过硫酸盐。3.根据权利要求1所述一剂型高效长寿命铜钼蚀刻液，其特征在于，所述三元无机酸为H3PO4和/或H3AsO4。4.根据权利要求1所述一剂型高效长寿命铜钼蚀刻液，其特征在于，所述有机酸选自酒石酸、丙二酸、二乙醇酸、马来酸、乙醇酸、羟基丁酸、乳酸、琥珀酸、苹果酸、柠檬酸、邻苯二甲酸和水杨酸中的一种或多种的混合。5.根据权利要求1所述一剂型高效长寿命铜钼蚀刻液，其特征在于，所述有机碱选自乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、N
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乙基乙醇胺、二甘醇胺、三异丙醇胺、N,N
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二甲基乙醇胺和N,N
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二乙基乙醇胺中的一种或多种的混合。6.根据权利要求1所述一剂型高效长寿命铜钼蚀刻液，其特征在于，所述磷酸二氢盐为磷酸...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：浙江奥首材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：