光学元件保持架、光学元件保持装置以及蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够不费事地拆卸镜片等光学元件的光学元件保持架。保持镜片(50)的镜片保持架(30)具备：框体(32)、安装于框体(32)且保持镜片(50)的镜片保持部、安装于框体(32)且由被磁体吸附的材料中的一方形成的保持架安装部(34、35)，镜片保持架(30)通过保持架安装部(34、35)和托盘侧安装部之间的磁力能够安装于具有由磁体(26)形成的托盘侧安装部的托盘(16)。(16)。(16)。

Optical element holder, optical element holder and evaporation device

【技术实现步骤摘要】
光学元件保持架、光学元件保持装置以及蒸镀装置


[0001]本公开涉及光学元件保持架、光学元件保持装置以及蒸镀装置。

技术介绍

[0002]为了防止镜片等光学元件的反射及划伤等，进行的是在光学元件的表面上形成薄膜。作为薄膜形成法，例如已知有真空蒸镀法或溅射成膜。在真空蒸镀法中，使蒸镀材料在形成真空的容器内气化，在将镜片保持于镜片保持装置的状态下，根据需要照射离子枪，使气化后的蒸镀材料附着于玻璃基板表面，由此形成薄膜。
[0003]作为在这样的各种成膜方法中使用的镜片蒸镀装置，例如在专利文献1中记载有一种装置，其具备沿周向安装的多个镜片保持架单元，各镜片保持架单元具备具有开口的镜片保持架，另外，提及在镜片保持架的开口部以等间隔在三个部位设置弹性保持机构的镜片的保持方法。而且，在专利文献1的方法中，将各镜片保持架使用销及螺丝固定在安装于框架的基板上(参照专利文献1的段落0045、0047)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本专利第3084020号

技术实现思路

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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学元件保持架，保持光学元件，其特征在于，具备：保持架主体；光学元件保持部，其安装于所述保持架主体，保持所述光学元件；保持架安装部，其安装于所述保持架主体，由磁体及被磁体吸附的材料中的一方形成；所述光学元件保持架通过所述保持架安装部和托盘侧安装部之间的磁力能够安装于具有由磁体及被磁体吸附的材料中的另一方形成的所述托盘侧安装部的托盘。2.一种光学元件保持装置，其特征在于，具有托盘侧安装部，该托盘侧安装部由磁体及被磁体吸附的材料中的另一方形成，以通过磁力能够安装保持光学元件且具备由磁体及被磁体吸附的材料中的一方形成的保持架安装部的保持架主体。3.一种光学元件保持装置，其特征在于，具备：权利要求1所述的光学元件保持架；托盘，其具有由磁体及被磁体吸附的材料中的另一方形成的托盘侧安装部。4.根据权利要求3所述的光学元件保持装置，其特征在于，所述光学元件保持架具有操作部，该操作部在安装状态下沿相对于所述托盘的表面交叉的方向延伸。5.根据权利要求3或4所述的光学元件保持装置，其特征在于，所述托盘分别能够反转，所述光学元件保持装置还具备反转机构，该反转机构使所述托盘绕轴线反转，所述托盘的轴线穿过被所述光学元件保持架保持的光学元件的厚度方向中央的平面。6.根据权利要求3或4所述的光学元件保持装置，其特征在于，所述保持架安装部的正面和背面平坦地形成。7.一种成膜装置，其特征在于，具备权利要求3所述的光学元件保持装置。8.一种蒸镀装置，对光学元件表...

【专利技术属性】
技术研发人员：清水浩，
申请(专利权)人：豪雅镜片泰国有限公司，
类型：发明
国别省市：