一种高压气体真空分压测量装置及测量方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及真空测试设备技术领域，特别是涉及一种高压气体真空分压测量装置及测量方法。本发明专利技术包括测试腔体和第一差分系统，所述测试腔体和第一差分系统并行连接，所述测试腔体出口与调节阀入口连接，所述调节阀的出口与过渡腔体相连，所述过渡腔体分别与四级质谱仪、第二差分系统和规管相连。本发明专利技术提供了一种高压气体真空分压测量装置及测量方法，实现了四级质谱仪在低真空高压强环境下分压准确测量的功能，有效提高了低真空高压强环境下四级质谱仪的测试效率和测试精度；同时，可以保证全过程气体分压实时监控，有利于产品的质量合格率的提升。合格率的提升。合格率的提升。

A high pressure gas vacuum partial pressure measuring device and measuring method

【技术实现步骤摘要】
一种高压气体真空分压测量装置及测量方法


[0001]本专利技术属于真空测试设备
，具体涉及一种高压气体真空分压测量装置及测量方法。

技术介绍

[0002]真空分压测量技术能够分析真空中气体成分并测量其组分压力，是众多研究和生产领域不可或缺的技术，为真空系统提供大量有效信息。近年来，随着我国高新尖端技术的迅猛发展，分压力测量技术在航空航天、高能核物理、半导体工业和纳米材料技术等领域具有迫切的需要。
[0003]质谱法是使用最广泛最悠久的真空分压力测量方法，常用的分压力质谱计有磁偏转质谱计、飞行时间质谱计、四极质谱仪等。其中，四极质谱仪由于不使用磁场、刻度线性和离子源简单高效的优点牢牢占据分压力测量仪器的主导地位。四极质谱仪的测量使用范围一般从1
×
10
‑4Torr 至2
×
10
‑
14
Torr，即在高真空低压强环境下完成测量。由此可见，单独使用四级质谱仪不能准确完成低真空高压强环境下的分压测量任务。

技术实现思路

[0004]本专利技术就是针对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高压气体真空分压测量装置，包括测试腔体（1）和第一差分系统，其特征在于：所述测试腔体（1）和第一差分系统并行连接，所述测试腔体（1）出口与调节阀（2）入口连接，所述调节阀（2）的出口与过渡腔体（3）相连，所述过渡腔体（3）分别与四级质谱仪（5）、第二差分系统和规管（6）相连。2.根据权利要求1所述的一种高压气体真空分压测量装置，其特征在于：所述第一差分系统包括第一机械泵（4），所述第一机械泵（4）出口与第一挡板阀（9）相连。3.根据权利要求1所述的一种高压气体真空分压测量装置，其特征在于：所述第二差分系统包括第二机械泵（7），所述第二机械泵（7）出口与分子泵（8）的入口端相连，所述分子泵（8）的出口端与过渡腔体（3）相连。4.根据权利要求3所述的一种高压气体真空分压测量装置，其特征在于：所述第二机械泵（7）与分子泵（8）之间设置有第二挡板阀（10）。5.根据权利要求1所述的一种高压气体真空分压测量装置，其特征在于：所述测试腔体（1）与调节阀（2）之间管路采用毫米级不锈钢管。6.根据权利要求1所述的一种高压气体真空分压测量装置，其特征在于：所述调节阀（2）采用微漏针阀。7.根据权利要求1所述的一种高压气体真空分压测量装置，其特征在于：所述过渡腔体（3）的测试法兰端口与四级质谱仪（5）的检测端口之...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟凡利，王海涛，王学峰，赵科新，冯育强，
申请(专利权)人：沈阳天科合达半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：