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本发明涉及真空测试设备技术领域，特别是涉及一种高压气体真空分压测量装置及测量方法。本发明包括测试腔体和第一差分系统，所述测试腔体和第一差分系统并行连接，所述测试腔体出口与调节阀入口连接，所述调节阀的出口与过渡腔体相连，所述过渡腔体分别与四级...
该专利属于沈阳天科合达半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳天科合达半导体设备有限公司授权不得商用。

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