一种用于磷化铟加工用的清洗装置制造方法及图纸

技术编号:34351904 阅读:49 留言:0更新日期:2022-07-31 05:52
本实用新型专利技术涉及磷化铟技术领域,尤其涉及一种用于磷化铟加工用的清洗装置。其技术方案包括:底箱、蓄液箱和集液箱,底箱的外部一侧安装有空气除味器,底箱的底部安装有底板,底箱的内部安装有集液箱,集液箱的顶部安装有排液管,集液箱的顶部一侧安装有排气管,且排气管与空气除味器连接,底箱的顶部安装有顶箱,顶箱内部的顶部安装有喷淋架,顶箱的内部两侧安装有隔板,隔板的一侧安装有加热丝,顶箱的顶部安装有蓄液箱。本实用新型专利技术通过在隔板的一侧安装有加热丝,利用加热丝的通电运行可将电能转换为热能,可使顶箱的内部进行升温,使磷化铟的清洗环境达到指定温度,加快磷化铟表面杂质与清洗液的化学反应,保证清洗效果。保证清洗效果。保证清洗效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于磷化铟加工用的清洗装置


[0001]本技术涉及磷化铟
,具体为一种用于磷化铟加工用的清洗装置。

技术介绍

[0002]磷化铟是一种化学物质,是沥青光泽的深灰色晶体,通常用作半导体材料,用于光纤通信技术等,而磷化铟在生产加工过程中,磷化铟材料表面容易被杂质玷污,会直接影响磷化铟的物理特性,为了对磷化铟表面进行清洗,为此提出一种用于磷化铟加工用的清洗装置。
[0003]经检索,专利公告号为CN213287900U公开一种磷化铟晶体生长除杂装置,包括固定底板,所述固定底板的顶部固定连接有水箱,所述水箱的右侧固定连接有导管,所述导管的外部固定安装有控制阀,所述固定底板的顶部固定连接有位于水箱外侧的支撑板,所述支撑板的内侧固定连接有顶板,所述顶板的顶部固定安装有电动推杆,所述顶板的顶部固定安装有位于电动推杆左侧的控制台。
[0004]现有的用于磷化铟加工用的清洗装置存在的缺陷是:
[0005]1、现有的用于磷化铟加工用的清洗装置在使用合成清洗剂清洗磷化铟时,无法对磷化铟的清洗环境进行升温,清洗剂与磷化铟表面的化学反应较慢,导致清洗时间较长,清洗效果一般;
[0006]2、现有的用于磷化铟加工用的清洗装置在对磷化铟进行清洗时,因酸洗过程中因化学反应会产生刺鼻气体,给工作人员造成不适,不利于工作人员进行操作,为此我们提出一种用于磷化铟加工用的清洗装置来解决现有的问题。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种用于磷化铟加工用的清洗装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于磷化铟加工用的清洗装置,包括底箱、蓄液箱和集液箱,所述底箱的外部一侧安装有空气除味器,所述底箱的底部安装有底板,所述底箱的内部安装有集液箱,所述集液箱的顶部安装有排液管,所述集液箱的顶部一侧安装有排气管,且排气管与空气除味器连接,所述底箱的顶部安装有顶箱,所述顶箱内部的顶部安装有喷淋架,所述顶箱的内部两侧安装有隔板,所述隔板的一侧安装有加热丝,所述顶箱的顶部安装有蓄液箱。
[0009]使用装置对磷化铟进行清洗时,利用滑架可提供磷化铟的放置位置,利用蓄液箱可提供清洗液的储存位置,利用水泵的通电运行可将蓄液箱内部的清洗液泵入至喷淋架,通过喷淋架可对清洗液进行均匀喷洒,利用加热丝的通电运行可将电能转换为热能,可使顶箱的内部进行升温,使磷化铟的清洗环境达到指定温度,加快磷化铟表面杂质与清洗液的化学反应,保证清洗效果,而清洗后的水液可经排液管流入集液箱的内部,而清洗液的挥发气体可由排气管被空气除味器进行除味并排出,可减少装置排出的刺鼻气体,提高工作
人员操作装置时定的舒适性。
[0010]优选的,所述底板的底部两侧安装有两组支腿,且支腿的底部安装有脚垫。利用支腿与脚垫的配合可便于将装置稳定的放置在指定位置。
[0011]优选的,所述底箱的外部一侧安装有控制器,且底箱的正面通过合页安装有第一箱门。利用控制器可便于工作人员对装置的运行参数进行设定,利用第一箱门的开合可便于工作人员取出底箱内部构件。
[0012]优选的,所述顶箱的正面通过合页安装有第二箱门,且第二箱门的正面安装有视窗。利用第二箱门的开合可便于工作人员取出滑架,利用视窗可便于工作人员查看装置内部的清洗状态,利用视窗可便于工作人员从装置外部对装置内部进行观察。
[0013]优选的,所述蓄液箱的顶部一侧安装有进水管,且蓄液箱的顶部另一侧安装有水泵。利用蓄液箱可提供清洗液的储存位置,利用进水管可便于工作人员向蓄液箱的内部注入清洗液,利用水泵的通电运行可将清洗液泵入喷淋架的内部,可通过喷淋架喷淋。
[0014]优选的,所述隔板的内部等距安装有三组滑块,且滑块的顶部活动安装有滑架。滑块可提供滑架的放置位置,而滑架可提供磷化铟的放置位置,可便于装置对磷化铟进行清洗。
[0015]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0016]1、本技术通过在隔板的一侧安装有加热丝,利用加热丝的通电运行可将电能转换为热能,可使顶箱的内部进行升温,使磷化铟的清洗环境达到指定温度,加快磷化铟表面杂质与清洗液的化学反应,保证清洗效果。
[0017]2、本技术通过在底箱的外部一侧安装有空气除味器,清洗后的水液可经排液管流入集液箱的内部,而清洗液的挥发气体可由排气管被空气除味器进行除味并排出,可减少装置排出的刺鼻气体,提高工作人员操作装置时定的舒适性。
附图说明
[0018]图1为本技术的主视图;
[0019]图2为本技术的正面结构示意图;
[0020]图3为本技术的内部结构示意图;
[0021]图4为本技术的隔板局部结构示意图。
[0022]图中:1、底板;101、支腿;2、底箱;201、控制器;202、第一箱门;203、空气除味器;3、顶箱;301、第二箱门;302、视窗;303、喷淋架;4、蓄液箱;401、进水管;402、水泵;5、隔板;501、滑块;502、滑架;503、加热丝;6、集液箱;601、排气管;602、排液管。
具体实施方式
[0023]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0024]实施例一
[0025]如图1

4所示,本技术提出的一种用于磷化铟加工用的清洗装置,包括底箱2、蓄液箱4和集液箱6,底箱2的外部一侧安装有空气除味器203,底箱2的底部安装有底板1,底箱2的内部安装有集液箱6,集液箱6的顶部安装有排液管602,集液箱6的顶部一侧安装有排气管601,且排气管601与空气除味器203连接,底箱2的顶部安装有顶箱3,顶箱3内部的顶部
安装有喷淋架303,顶箱3的内部两侧安装有隔板5,隔板5的一侧安装有加热丝503,顶箱3的顶部安装有蓄液箱4。
[0026]基于实施例一的用于磷化铟加工用的清洗装置工作原理是:使用装置对磷化铟进行清洗时,利用滑架502可提供磷化铟的放置位置,利用蓄液箱4可提供清洗液的储存位置,利用水泵402的通电运行可将蓄液箱4内部的清洗液泵入至喷淋架303,通过喷淋架303可对清洗液进行均匀喷洒,利用加热丝503的通电运行可将电能转换为热能,可使顶箱3的内部进行升温,使磷化铟的清洗环境达到指定温度,加快磷化铟表面杂质与清洗液的化学反应,保证清洗效果,而清洗后的水液可经排液管602流入集液箱6的内部,而清洗液的挥发气体可由排气管601被空气除味器203进行除味并排出,空气除味器203的型号可采用HQ

01型,可减少装置排出的刺鼻气体,提高工作人员操作装置时定的舒适性。
[0027]实施例二
[0028]如图1或图3所示,本技术提出的一种用于磷化铟加工用的清洗装置,相较于实施例一,本实施例还包括:底板1的底部两侧安装有两组支腿101,且支腿101的底部安装有脚垫,底箱2的外部一侧安装有控制器201,且底箱2本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于磷化铟加工用的清洗装置,包括底箱(2)、蓄液箱(4)和集液箱(6),其特征在于:所述底箱(2)的外部一侧安装有空气除味器(203),所述底箱(2)的底部安装有底板(1),所述底箱(2)的内部安装有集液箱(6),所述集液箱(6)的顶部安装有排液管(602),所述集液箱(6)的顶部一侧安装有排气管(601),且排气管(601)与空气除味器(203)连接,所述底箱(2)的顶部安装有顶箱(3),所述顶箱(3)内部的顶部安装有喷淋架(303),所述顶箱(3)的内部两侧安装有隔板(5),所述隔板(5)的一侧安装有加热丝(503),所述顶箱(3)的顶部安装有蓄液箱(4)。2.根据权利要求1所述的一种用于磷化铟加工用的清洗装置,其特征在于:所述底板(1)的底部两侧安装有两组支腿(101),且支腿(10...

【专利技术属性】
技术研发人员:战泽兴战泽瑞蒙奎芝战先华喻会平
申请(专利权)人:山东欧思特新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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