一种用于磷化铟生产用的生长炉制造技术

技术编号:34953769 阅读:21 留言:0更新日期:2022-09-17 12:31
本实用新型专利技术涉及磷化铟生产技术领域,尤其涉及一种用于磷化铟生产用的生长炉。其技术方案包括:底座和设置在所述底座上的炉体,所述底座上表面的两侧分别固定安装有第一支架和第二支架,所述第一支架的一侧转动安装有螺杆,所述第二支架的一侧固定安装有导杆,所述螺杆的表面螺纹连接有第一连接块,所述导杆的表面滑动连接有第二连接块,所述第一连接块和第二连接块之间固定安装有清洁环,所述清洁环套在炉体的外部。本实用新型专利技术通过第一支架、第二支架、螺杆、导杆、第一连接块、第二连接块和清洁环的设置,在使用时,使清洁环对炉体的外部进行清洁,无需人工操作,省时省力,且能够避免工作人员被烫伤的情况。免工作人员被烫伤的情况。免工作人员被烫伤的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种用于磷化铟生产用的生长炉


[0001]本技术涉及磷化铟生产
,尤其涉及一种用于磷化铟生产用的生长炉。

技术介绍

[0002]磷化铟(InP)是非常重要的化合物半导体材料,是继硅(Si)、砷化镓(GaAs)之后的新一代微电子、光电子功能材料。其因电子迁移率高、禁带宽度大等特点,被广泛应用于微波及光电器件领域。InP单晶生长的方法有很多种,如液封直拉(LEC)法、水平布里奇曼(HB)法、垂直布里奇曼(VB)法及垂直梯度凝固(VGF)法等。
[0003]在磷化铟生产中,一般都是利用生长炉将金属铟和赤磷混合加热反应制得,然而,生长炉在长期使用时,其外部容易沾染灰尘等杂质,影响生长炉的正常使用,目前通常是人工对生长炉的外部进行清洁,操作费时费力,且存在烫伤的风险。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对
技术介绍
中存在的问题,提出一种用于磷化铟生产用的生长炉。
[0005]本技术的技术方案:一种用于磷化铟生产用的生长炉,包括底座和设置在所述底座上的炉体,所述底座上表面的两侧分别固定安装有第一支架和第二支架,所述第一支架的一侧转动安装有螺杆,所述第二支架的一侧固定安装有导杆,所述螺杆的表面螺纹连接有第一连接块,所述导杆的表面滑动连接有第二连接块,所述第一连接块和第二连接块之间固定安装有清洁环,所述清洁环套在炉体的外部。
[0006]通过第一支架、第二支架、螺杆、导杆、第一连接块、第二连接块和清洁环的设置,在使用时,可控制螺杆转动,使导杆能够对清洁环起到导向限位作用,使螺杆带动清洁环上下运动,使清洁环对炉体的外部进行清洁,无需人工操作,省时省力,且能够避免工作人员被烫伤的情况。
[0007]优选的,所述第一支架的顶部固定安装有电机,所述电机的输出端与螺杆固定连接,通过电机的设置,方便控制螺杆转动。
[0008]优选的,所述第一支架和第二支架的内侧壁均开设有滑槽,所述第一连接块和第二连接块的一侧均固定连接有滑块,所述滑块滑动连接在滑槽内,通过滑槽与滑块的配合,能够对第一连接块和第二连接块起到滑动支撑作用,提高清洁环的稳定性。
[0009]优选的,所述清洁环的内表面固定连接有棉条,通过棉条的设置,能够对炉体的外表面进行清洁。
[0010]优选的,所述底座上表面的中部设置有固定座,所述炉体设置在固定座内,通过固定座的设置,能够对炉体起到固定作用。
[0011]优选的,所述底座底部的四角处均固定安装有支撑脚,通过支撑脚的设置,能够对底座起到支撑作用。
[0012]与现有技术相比,本技术具有如下有益的技术效果:
[0013]用于磷化铟生产用的生长炉通过第一支架、第二支架、螺杆、导杆、第一连接块、第二连接块和清洁环的设置,在使用时,可控制螺杆转动,使导杆能够对清洁环起到导向限位作用,使螺杆带动清洁环上下运动,使清洁环对炉体的外部进行清洁,通过电机的设置,方便控制螺杆转动,无需人工操作,省时省力,且能够避免工作人员被烫伤的情况。
附图说明
[0014]图1为本技术的立体图;
[0015]图2为本技术的主视结构图;
[0016]图3为本技术的剖面结构图;
[0017]图4为本技术的清洁环结构图。
[0018]附图标记:1、底座;2、炉体;3、第一支架;4、第二支架;5、螺杆;6、导杆;7、第一连接块;8、第二连接块;9、清洁环;10、电机;11、滑槽; 12、滑块;13、棉条;14、固定座;15、支撑脚。
具体实施方式
[0019]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0020]实施例一
[0021]如图1、2、3、4所示,本技术提出的一种用于磷化铟生产用的生长炉,包括底座1和设置在底座1上的炉体2,底座1上表面的两侧分别固定安装有第一支架3和第二支架4,第一支架3的一侧转动安装有螺杆5,第二支架4的一侧固定安装有导杆6,螺杆5的表面螺纹连接有第一连接块7,导杆6的表面滑动连接有第二连接块8,第一连接块7和第二连接块8之间固定安装有清洁环9,清洁环9套在炉体2的外部,通过第一支架3、第二支架4、螺杆5、导杆 6、第一连接块7、第二连接块8和清洁环9的设置,在使用时,可控制螺杆5 转动,使导杆6能够对清洁环9起到导向限位作用,使螺杆5带动清洁环9上下运动,使清洁环9对炉体2的外部进行清洁,无需人工操作,省时省力,且能够避免工作人员被烫伤的情况,第一支架3的顶部固定安装有电机10,电机10 的输出端与螺杆5固定连接,第一支架3和第二支架4的内侧壁均开设有滑槽 11,第一连接块7和第二连接块8的一侧均固定连接有滑块12,滑块12滑动连接在滑槽11内,清洁环9的内表面固定连接有棉条13,底座1上表面的中部设置有固定座14,炉体2设置在固定座14内。
[0022]基于实施例1的用于磷化铟生产用的生长炉工作原理是:通过第一支架3、第二支架4、螺杆5、导杆6、第一连接块7、第二连接块8和清洁环9的设置,在使用时,可控制螺杆5转动,使导杆6能够对清洁环9起到导向限位作用,使螺杆5带动清洁环9上下运动,使清洁环9对炉体2的外部进行清洁,无需人工操作,省时省力,且能够避免工作人员被烫伤的情况,通过电机10的设置,方便控制螺杆5转动,通过滑槽11与滑块12的配合,能够对第一连接块7和第二连接块8起到滑动支撑作用,提高清洁环9的稳定性,通过棉条13的设置,能够对炉体2的外表面进行清洁,通过固定座14的设置,能够对炉体2起到固定作用。
[0023]实施例二
[0024]如图1、2所示,本技术提出的一种用于磷化铟生产用的生长炉,相较于实施例
一,本实施例还包括:底座1底部的四角处均固定安装有支撑脚15。
[0025]本实施例中,通过支撑脚15的设置,能够对底座1起到支撑作用。
[0026]上述具体实施例仅仅是本技术的几种优选的实施例,基于本技术的技术方案和上述实施例的相关启示,本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于磷化铟生产用的生长炉,包括底座(1)和设置在所述底座(1)上的炉体(2),其特征在于:所述底座(1)上表面的两侧分别固定安装有第一支架(3)和第二支架(4),所述第一支架(3)的一侧转动安装有螺杆(5),所述第二支架(4)的一侧固定安装有导杆(6),所述螺杆(5)的表面螺纹连接有第一连接块(7),所述导杆(6)的表面滑动连接有第二连接块(8),所述第一连接块(7)和第二连接块(8)之间固定安装有清洁环(9),所述清洁环(9)套在炉体(2)的外部。2.根据权利要求1所述的一种用于磷化铟生产用的生长炉,其特征在于:所述第一支架(3)的顶部固定安装有电机(10),所述电机(10)的输出端与螺杆(5)固定连接。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员:喻会平黄汝柱王白菊李卓骏黄燕
申请(专利权)人:山东欧思特新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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