一种基于双腔FP干涉仪的平面偏转角度测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于双腔FP干涉仪的平面偏转角度测量装置及方法，涉及光电子技术领域。激光器1与激光器2出射的激光分别经光纤环形器5和光纤环形器6传输至双腔FP干涉仪中，双光纤结构8的端面与待测平面9构成FP干涉腔，经二者反射的激光与双光纤的端面端反光发生干涉，两束干涉光分别经光纤环形器5和光纤环形器6传输至光电探测器3和光电探测器4，电探测器3和光电探测器4将光信号由此转化为电信号。通过本发明专利技术实施例提供的平面偏转角度测量装置，可以进行非接触式测量，保证了待测表面不受损伤，通过示意双腔FP可以进行高精度、低成本、高效率的测量平面偏转角度。高效率的测量平面偏转角度。高效率的测量平面偏转角度。

【技术实现步骤摘要】
一种基于双腔FP干涉仪的平面偏转角度测量装置及方法


[0001]本专利技术涉及光电子
，具体涉及一种基于双腔FP干涉仪的平面偏转角度测量装置及方法。

技术介绍

[0002]随着社会的发展，人们对日用、通讯、医疗、科研、制造等现代技术产品的性能提出更高要求，即其构成部件需要具有高稳定性，能够适应不同的温度、湿度、光辐射及压力等环境。而在特殊环境下，材料部件整体面或局部面会发生相对原有面的偏离
‑‑
偏转角度，为此，对材料的微形变进行测量尤为重要。根据文献调研，测量此偏转角度的技术通常分为激光测距法和机械探针法。
[0003]激光测距法综合了光学和电子学，存在测量动态范围小、通用性较差等缺陷。机械探针法以探针式轮廓仪为代表，其原理是利用探针接触作用来呈现被测样品表面点的位置特征，测量效率低，并且可能划伤被测晶圆表面。
[0004]因此，如何弥补上述方法的缺陷，满足高精度、低成本、高测量效率等要求，同时降低测量对环境的要求是需要解决的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的就在于解决上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于双腔FP干涉仪的平面偏转角度测量装置，其特征在于，所述装置包括激光器(1)、激光器(2)、光电探测器(3)、光电探测器(4)、光纤环形器(5)、光纤环形器(6)、传输光纤(7)和双光纤结构(8)；所述装置各器件通过传输光纤(7)传输光信号；所述激光器(1)与所述激光器(2)出射的激光分别经所述光纤环形器(5)和所述光纤环形器(6)传输至双腔FP干涉仪中，所述双光纤结构(8)的端面与所述待测平面(9)构成FP干涉腔，经二者反射的激光与双光纤的端面端反光发生干涉，两束干涉光分别经光纤环形器(5)和光纤环形器(6)传输至光电探测器(3)和光电探测器(4)，电探测器(3)和光电探测器(4)将光信号由此转化为电信号。2.根据权利要求1所述的一种基于双腔FP干涉仪的平面偏转角度测量装置，其特征在于，双光纤结构(8)中的两根光纤完全平行，且轴向与径向的位置关系已知，其中轴向位置关系为两光纤端面间距离，径向位置关系最为两光纤纤芯间距；双光纤可以是两根单芯光纤，也可为单根双芯或多芯光纤。3.根据权利要求1所述的一种基于双腔FP干涉仪的平面偏转角度测量装置，其特征在于，所述双光纤结构(8)的光纤端面平行切割，即切割平面与光纤轴向垂直，两个光纤端面与对应的待测平面(9)形成双FP干涉腔(10)。4.根据权利要求1所述的一种基于双腔FP干涉仪的平面偏转角度测量装置，其特征在于，所述激光器(1)和所述激光器(2)为单波长窄线宽激光器。5.根据权利要求1
‑
4任意所述的一种基于双腔FP干涉仪的平面偏转角度测量装置的平面偏转角度测量方法，其特征在于，包括：分析两束干涉光的相位差、双FP干涉腔的腔长差，及两个光纤端面间的径向与轴向位置关系，计算待测平面相对传输光束的静态角度或动态偏转角。6.根据权利要求5所述的一种基于双腔FP干涉仪的平面偏转角度测量装置的平面偏转角度测量方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：李世丽，李大创，蒋杉，杜正婷，赵读亮，毛文兴，陈玺横，
申请(专利权)人：合肥师范学院，
类型：发明
国别省市：