本发明专利技术涉及晶圆加工领域，具体涉及一种同步传动组件及具有其的裂片机。一种同步传动组件，包括：架体，设有安装台，安装台设有通孔；受台，设于安装台上，受台设有与通孔长度方向平行的裂解间隙，且裂解间隙具有与待裂解Bar条待裂解区域对应设置的裂解线；第一传动机构，与受台对应设置，设有劈刀，劈刀的刀刃朝向裂解间隙设置；第二传动机构，与受台设于安装台两侧，设有图像采集器，第一传动机构驱动劈刀、第二传动机构驱动图像采集器同步运动，使图像采集器透过通孔始终保持镜头所在的第一平面与裂解线和劈刀的刀刃确定的第二平面垂直设置，且图像采集器镜头中心点与刀刃中心点的连线垂直第一平面。本发明专利技术解决了裂片机尺寸偏大的缺陷。的缺陷。的缺陷。
【技术实现步骤摘要】
一种同步传动组件及具有其的裂片机
[0001]本专利技术涉及晶圆加工
，具体涉及一种同步传动组件及具有其的裂片机。
技术介绍
[0002]目前，砷化镓、磷化铟芯片作为数据通信及激光等领域的主要元件，具有电子迁移率高、禁带宽度大、直接带隙、消耗功率低等特性。裂片机主要用于裂解Bar条，具有的劈刀主要用于裂解砷化镓、磷化铟材质的芯片。
[0003]现有的裂片机上，驱动机构往往从不同方向驱动放置Bar条的转盘进行运动。随着Bar条尺寸的增加，如果将驱动机构全部用于驱动转盘及设于转盘中的受台运动，当劈刀的刀刃裂解完某个位置的Bar条后，受台上的Bar条要在平面进行移动以调整至下一次待裂解的位置，要想调整至待裂解的位置需要带动Bar条在平面内的任意方向进行移动，这就使得Bar条在平面内的活动空间大，驱动Bar条移动的机构的整体尺寸偏大、结构不够紧凑。
技术实现思路
[0004]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的裂片机的驱动Bar条移动的机构的整体尺寸偏大、结构不够紧凑的缺陷，从而提供一种同步传动组件及具有其的裂片机。
[0005]为了解决上述问题，本专利技术提供了一种同步传动组件，包括：
[0006]架体，设有安装台，所述安装台设有贯通设置的通孔；
[0007]受台，设于所述安装台上，所述受台适于放置待裂解Bar条，所述受台设有与所述通孔的长度方向平行的裂解间隙，且所述裂解间隙具有与待裂解Bar条的待裂解区域对应设置的裂解线；
[0008]第一传动机构，设于所述安装台上，且与所述受台对应设置，所述第一传动机构设有劈刀，所述劈刀的刀刃朝向所述裂解间隙设置；
[0009]第二传动机构，与所述受台分设于所述安装台的两侧，所述第二传动机构设有图像采集器，所述第一传动机构驱动劈刀、第二传动机构驱动图像采集器同步运动，以使所述图像采集器透过通孔始终保持镜头所在的第一平面与裂解线和所述劈刀的刀刃确定的第二平面垂直设置，且所述图像采集器的镜头中心点与所述刀刃的中心点的连线垂直于所述第一平面。
[0010]可选地，所述图像采集器的镜头设于所述通孔内。
[0011]可选地，第二传动机构还包括第一动力件和第一传动杆，所述第一传动杆与图像采集器固定连接，所述第一传动杆的中心轴线与所述通孔的长度方向平行。
[0012]可选地，还包括设于图像采集器和第一传动杆之间的焦距调节器。
[0013]可选地，所述焦距调节器包括相互垂直设置的第一调节端和第二调节端，所述第一调节端推动所述图像采集器朝向或远离所述通孔进行运动，所述第二调节端推动所述图像采集器沿垂直于所述通孔的长度方向进行移动。
[0014]可选地，所述图像采集器为相机。
[0015]可选地，还包括设于所述第一传动机构和劈刀间的第三传动机构，所述第三传动机构设有第二动力件和刀架，所述劈刀设于所述刀架上，所述第二动力件驱动所述刀架朝向或远离所述受台运动。
[0016]可选地，还包括转盘，所述转盘套设于所述受台的外周，所述转盘的周向上设有至少两个用于吸附待裂解Bar条的吸附件。
[0017]可选地，还包括用于驱动所述转盘进行周向转动的第四传动机构，以及驱动所述转盘沿垂直于所述通孔长度方向进行运动的第五传动机构，第五传动机构的驱动方向与所述第二平面垂直。
[0018]一种裂片机，包括上述的同步传动组件。
[0019]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0020]1.本专利技术提供的同步传动组件，架体，设有安装台，安装台设有贯通设置的通孔；设于安装台上的受台，受台适于放置待裂解Bar条，受台设有与通孔的长度方向平行的裂解间隙，裂解间隙具有与待裂解Bar条的裂解区域对应设置的裂解线；设于安装台上的第一传动机构，与受台对应设置，第一传动机构设有劈刀，劈刀的刀刃朝向裂解间隙设置；第二传动机构，与受台分设于安装台的两侧，第二传动机构设有图像采集器，第一传动机构驱动劈刀、第二传动机构驱动图像采集器同步运动，以使图像采集器透过通孔始终保持镜头所在的第一平面与裂解线和劈刀的刀刃确定的第二平面垂直设置，且图像采集器的镜头中心点与刀刃的中心点的连线垂直于第一平面。受台上放置有待裂解Bar条，且设有与通孔的长度方向平行的裂解间隙，裂解间隙具有与待裂解Bar条的待裂解区域对应设置的裂解线，裂解间隙为Bar条位于受台上的待裂解区域，受台为Bar条裂解过程提供支撑。第一传动机构的劈刀的刀刃朝向裂解间隙设置，以使劈刀朝向Bar条施加裂解力。图像采集器透过通孔始终保持镜头所在的第一平面与裂解线和劈刀刀刃确定的第二平面垂直，即，裂解线、劈刀刀刃分别与镜头的平面保持平行(裂解线与劈刀刀刃也保持平行)；图像采集器的镜头中心点与刀刃的中心点的连线垂直于第一平面，即，刀刃中心点位于第二平面内，劈刀与图像采集器同步运动以保证镜头中心点与刀刃中心点的连线始终垂直于镜头的第一平面，即，镜头与刀刃始终对应设置，使镜头可以拍摄劈刀的刀刃在裂解完成后的Bar条状态。当受台上放置的Bar条进入待裂解区域时，镜头与劈刀的同步运动使受台无需运动，仅需劈刀和镜头沿Bar条裂解方向做同步运动，即可进行裂解动作。在待裂解区域内完成裂解后，劈刀和镜头复位，且与第一平面平行的Bar条再沿垂直第二平面的方向进行运动以进入下一次裂解过程，使得Bar条仅需沿垂直于第二平面方向进行运动即可调整至待裂解位置，因Bar条仅在一个维度进行移动，因此减小了驱动Bar条移动结构的整体尺寸，使得裂片机结构更加紧凑，具有结构简单、同步精度高的优点。
[0021]2.本专利技术提供的同步传动组件，图像采集器的镜头设于通孔内，以使镜头更方便地采集图像。
[0022]3.本专利技术提供的同步传动组件，第二传动机构还包括第一动力件和第一传动杆，第一传动杆与图像采集器固定连接，第一传动杆的中心轴线与通孔的长度方向平行，以使第一动力件驱动第一传动杆沿通孔长度方向进行运动，进而带动图像采集器的镜头沿通孔的长度方向进行运动。
[0023]4.本专利技术提供的同步传动组件，还包括设于图像采集器和第一传动杆间的焦距调节器，焦距调节器包括相互垂直设置的第一调节端和第二调节端，第一调节端推动图像采集器朝向或远离通孔进行移动，以更方便地调整镜头的焦距；第二调节端推动图像采集器沿垂直于通孔长度方向进行移动，以保证镜头的中心点始终对准劈刀刀刃的中心点。
[0024]5.本专利技术提供的同步传动组件，还包括设于第一传动机构和劈刀间的第三传动机构，第三传动机构设有第二动力件和刀架，劈刀设于刀架上，第二动力件驱动刀架朝向或远离受台运动，以使劈刀靠近或远离Bar条。
[0025]6.本专利技术提供的同步传动组件，还包括套设于受台外周的转盘，转盘的周向上设有至少两个用于吸附待裂解Bar条的吸附件，吸附件用于对Bar条进行吸附固定。
[0026]7.本专利技术提供的同步传动组件，还包括驱动转盘进行周向运动的第四传动机构，以及驱动转盘沿垂直于通孔长度方向进行运动的第五传动机构，第五传动机构的驱动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种同步传动组件，其特征在于，包括：架体(1)，设有安装台(2)，所述安装台(2)设有贯通设置的通孔(9)；受台(11)，设于所述安装台(2)上，所述受台(11)适于放置待裂解Bar条，所述受台(11)设有与所述通孔(9)的长度方向平行的裂解间隙，且所述裂解间隙具有与待裂解Bar条的待裂解区域对应设置的裂解线；第一传动机构(4)，设于所述安装台(2)上，且与所述受台(11)对应设置，所述第一传动机构(4)设有劈刀(6)，所述劈刀(6)的刀刃朝向所述裂解间隙设置；第二传动机构(10)，与所述受台(11)分设于所述安装台(2)的两侧，所述第二传动机构(10)设有图像采集器(13)，所述第一传动机构(4)驱动劈刀(6)、第二传动机构(10)驱动图像采集器(13)同步运动，以使所述图像采集器(13)透过通孔(9)始终保持镜头(14)所在的第一平面与裂解线和所述劈刀(6)的刀刃确定的第二平面垂直设置，且所述图像采集器(13)的镜头(14)中心点与所述刀刃的中心点的连线垂直于所述第一平面。2.根据权利要求1所述的同步传动组件，其特征在于，所述图像采集器(13)的镜头(14)设于所述通孔(9)内。3.根据权利要求1所述的同步传动组件，其特征在于，第二传动机构(10)还包括第一动力件(16)和第一传动杆，所述第一传动杆与图像采集器(13)固定连接，所述第一传动杆的中心轴线与所述通孔(9)的长度方向平行。4.根据权利要求3所...
【专利技术属性】
技术研发人员：温子勋，马修远，刘亚洲，王泽明，周子博，
申请(专利权)人：河北圣昊光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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