一种镀锌立式退火炉制造技术

本发明专利技术涉及退火技术领域，具体为一种镀锌立式退火炉，包括退火炉主体，所述退火炉主体的内部开设有退火仓，所述退火仓的侧面开设有冷却槽，所述退火炉主体的底端固定安装有支架，所述退火炉主体的上端固定安装有气入口，所述冷却槽内固定安装有气出口，且气出口与入气管之间为管道连接，以及能够对气管内的气体加热的预热组件。本发明专利技术通过当钢带退火件开始降温的时候，利用密封板打开对进气口的密封，使退火仓里面的热空气通过进气口进入到预热槽里面，然后对入气管内部的空气进行预热，降低外界空气与钢带退火件之间的温差，这样能够防止钢带退火件冷却温度不均匀，使钢带退火件的冷却温度更加均匀，能够提高退火件的成品质量。量。量。

A galvanized vertical annealing furnace

【技术实现步骤摘要】
一种镀锌立式退火炉


[0001]本专利技术涉及退火
，具体为一种镀锌立式退火炉。

技术介绍

[0002]立式退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化。
[0003]一般的退火炉在对镀锌钢带退火件降温的时候，需要利用外界的风力进行风冷，但是外界的风力与钢带退火件的温差很大，这便容易使钢带退火件冷却温度不均匀，这便会导致钢带退火件轻微变形，严重时会影响钢带退火件的后续加工和使用质量，降低该退火炉的退火质量。
[0004]为此，提出一种镀锌立式退火炉。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种镀锌立式退火炉，通过利用密封板开关使退火仓里面的热空气通过进气口进入到预热槽里面，然后对入气管内部的空气进行预热，降低外界空气与钢带退火件之间的温差，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种镀锌立式退火炉，包括退火炉主体；
[0008]退火炉主体，所述退火炉主体的内部开设有退火仓，所述退火仓的侧面开设有冷却槽，所述退火炉主体的底端固定安装有支架；
[0009]入气管，所述入气管固定安装在退火炉主体的内部，所述退火炉主体的上端固定安装有气入口，且气入口与入气管之间为管道连接，所述冷却槽内固定安装有气出口，且气出口与入气管之间为管道连接；
[0010]以及能够对气管内的气体加热的预热组件。
[0011]优选的，所述预热组件包括开设在退火炉主体内部的预热槽，且入气管位于预热槽内，所述预热槽的顶端与退火仓之间开设有进气口，所述预热槽的底端与退火仓之间开设有出气口，且出气口内固定安装有单向阀。
[0012]优选的，所述预热槽的内部均匀固定安装有多个导流板，且两个导流板之间相错安装。
[0013]优选的，多个所述导流板上固定安装有多个凸块，且多个凸块之间为均匀安装。
[0014]优选的，所述退火炉主体的内部开设有安装槽，所述安装槽内固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有第一转轴，且第一转轴延伸至冷却槽内，所述冷却槽内的第一转轴上固定安装有第一风扇。
[0015]优选的，所述退火炉主体内开设有转动槽，所述转动槽内转动安装有第二转轴，且第二转轴延伸至预热槽内，所述预热槽内第二转轴上固定安装有第二风扇，且第二风扇位于预热槽的底端，所述退火炉主体内固定安装有带动第二转轴转动的传动组件。
[0016]优选的，所述传动组件包括固定安装在第一转轴上的第一皮带轮，所述第二转轴上固定安装有第二皮带轮，所述第一皮带轮与第二皮带轮之间安装有皮带。
[0017]优选的，所述退火仓靠近预热槽的一侧开设有控制槽，所述控制槽内滑动安装有升降板，且控制槽与升降板之间设置有记忆金属条，所述记忆金属条一端与控制槽内凸起固定，另一端与升降板下端固定，所述升降板靠近进气口的一侧固定安装有密封板，且密封板延伸至进气口内，所述升降板的上端开设有压力槽。
[0018]优选的，所述升降板的中间开设有通管，所述通管靠近压力槽的一侧滑动安装有浮板，所述升降板内开设有升降槽，所述升降槽内活动滑动安装有活动板，所述活动板靠近压力槽的一侧固定安装有连接柱，且连接柱与浮板之间为固定连接，所述活动板与升降槽的内壁之间为弹性连接。
[0019]优选的，所述退火仓一侧的顶端固定安装有热气口，所述热气口的一侧安装有扩散管，所述扩散管的上端转动安装有第三风扇，所述退火炉主体外侧固定安装有带动第三风扇转动的驱动装置，所述退火仓另一侧的底端开设有热出口，所述扩散管设置为弯曲状态。
[0020]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：
[0021]1、当钢带退火件开始降温的时候，利用密封板打开对进气口的密封，使退火仓里面的热空气通过进气口进入到预热槽里面，然后对入气管内部的空气进行预热，降低外界空气与钢带退火件之间的温差，这样能够防止钢带退火件冷却温度不均匀，使钢带退火件的冷却温度更加均匀，能够提高退火件的成品质量。
[0022]2、当该退火炉主体进行工作的时候，能够使驱动装置带动第三风扇进行工作，然后利用第三风扇的工作加大扩散管内部的流速，这时退火仓顶端的热空气便会通过热气口进入到扩散管里面，然后利用扩散管将热空气进行扩散，这样能够使退火仓内部的温度更加均匀，并且结构简单。
[0023]3、当该退火炉主体进行升温的时候，利用温度产生的压力从而使记忆金属条发生形变推动密封板对进气口进行密封，然后利用浮板的升降使压力槽内部的压力与控制槽内部的压力相互持平，这时浮板便会重新对通管进行密封，当控制槽内部的温度降低时，控制槽内部的压力便会降低，这时压力槽内部的压力便会高于控制槽，然后便会推动升降板下降，从而带动密封板下降，然后便会打开对进气口的密封，这样当退火仓升温的时候，退火仓内部的温度不会流动到预热槽里面，防止增加该退火炉主体的加热面积，当退火仓内部的温度降低的时候，能够及时的对退火仓内部的余热进行利用，提高热利用率。
[0024]4、当钢带退火件开始降温的时候，预热槽便会对外界进入到入气管内的空气进行预热，这时利用导流板和凸块能够降低热空气的流速，这样能够更好的进行热交换。
附图说明
[0025]图1为本专利技术的整体立体结构示意图；
[0026]图2为本专利技术的A
‑
A处剖视图；
[0027]图3为本专利技术的部分结构剖视图；
[0028]图4为本专利技术的图2中A的放大；
[0029]图5为本专利技术的图3中B的放大；
[0030]图6为本专利技术的图3中C的放大；
[0031]图7为本专利技术的图2中D的放大。
[0032]图中：1、退火炉主体；2、支架；3、安装槽；4、电机；5、第一转轴；6、冷却槽；7、第一风扇；8、气出口；9、气入口；10、入气管；11、第一皮带轮；12、皮带；13、转动槽；14、第二转轴；15、第二皮带轮；16、第二风扇；17、预热槽；18、进气口；19、出气口；20、驱动装置；21、控制槽；211、记忆金属条；22、压力槽；23、密封板；24、升降板；25、通管；26、浮板；27、连接柱；28、升降槽；29、活动板；30、热气口；31、扩散管；32、第三风扇；33、热出口；34、退火仓；35、导流板；36、凸块。
具体实施方式
[0033]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀锌立式退火炉，包括退火炉主体(1)，其特征在于：退火炉主体(1)，所述退火炉主体(1)的内部开设有退火仓(34)，所述退火仓(34)的侧面开设有冷却槽(6)，所述退火炉主体(1)的底端固定安装有支架(2)；入气管(10)，所述入气管(10)固定安装在退火炉主体(1)的内部，所述退火炉主体(1)的上端固定安装有气入口(9)，且气入口(9)与入气管(10)之间为管道连接，所述冷却槽(6)内固定安装有气出口(8)，且气出口(8)与入气管(10)之间为管道连接；以及能够对气管(10)内的气体加热的预热组件。2.根据权利要求1所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：所述预热组件包括开设在退火炉主体(1)内部的预热槽(17)，且入气管(10)位于预热槽(17)内，所述预热槽(17)的顶端与退火仓(34)之间开设有进气口(18)，所述预热槽(17)的底端与退火仓(34)之间开设有出气口(19)，且出气口(19)内固定安装有单向阀。3.根据权利要求2所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：所述预热槽(17)的内部均匀固定安装有多个导流板(35)，且两个导流板(35)之间相错安装。4.根据权利要求2所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：多个所述导流板(35)上固定安装有多个凸块(36)，且多个凸块(36)之间为均匀安装。5.根据权利要求1所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：所述退火炉主体(1)的内部开设有安装槽(3)，所述安装槽(3)内固定安装有电机(4)，所述电机(4)的输出端固定安装有第一转轴(5)，且第一转轴(5)延伸至冷却槽(6)内，所述冷却槽(6)内的第一转轴(5)上固定安装有第一风扇(7)。6.根据权利要求1所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：所述退火炉主体(1)内开设有转动槽(13)，所述转动槽(13)内转动安装有第二转轴(14)，且第二转轴(14)延伸至预热槽(17)内，所述预热槽(17)内第二转轴(14)上固定安装有第二风...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈永乐，刘鹏，
申请(专利权)人：陈永乐，
类型：发明
国别省市：