一种乙烯纯化系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种乙烯纯化系统，包括：第一吸附器，其设有第一分子筛，第一分子筛用于吸附水分；第二吸附器，其设有活性氧化铝，活性氧化铝用于吸附乙烷；第三吸附器，其设有第二分子筛，第二分子筛用于吸附重组分；第一精馏塔，其用于去除重组分；第二精馏塔，其用于去除轻组分。乙烯气体原料依次经过第一吸附器、第二吸附器、第三吸附器、第一精馏塔和第二精馏塔纯化后得到纯度较高的乙烯成品。本技术通过吸附分离的方式可先去除部分杂质，减少进入第一精馏塔和第二精馏塔的杂质成分，这样可以加快精馏速度，在提高纯化效果的同时可以提高生产效率。生产效率。生产效率。

An ethylene purification system

【技术实现步骤摘要】
一种乙烯纯化系统


[0001]本技术涉及乙烯生产
，特别涉及一种乙烯纯化系统。

技术介绍

[0002]在集成电路制造中，高纯乙烯主要应用于芯片制造中铝金属表面的介质层薄膜蚀刻，第三代SiC的化学气相沉积、气相外延生长工艺阶段，或64
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128层3D NAND存储器等半导体器件制造工艺中，随着半导体行业的快速发展，高纯乙烯的应用不断增长，纯度要求不断提升。乙烯气体中含有的主要杂质有氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、水，以及甲烷、乙烷、乙炔、丙烯、丙烷、丁烯等其他碳氢杂质。现有的一般乙烯纯化系统对乙烯气体原料的纯化程度还不够高，得到的乙烯成品不能满足高纯度的使用要求，或者高纯乙烯的生产效率较低。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提出一种乙烯纯化系统，旨在解决现有技术中生产的乙烯成品纯度不够高、生产效率较低的技术问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提出一种乙烯纯化系统，包括：
[0005]第一吸附器，其设有第一进料口和第一出料口，所述第一吸附器内设有第一分子筛，所述第一分子筛用于吸附水分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种乙烯纯化系统，其特征在于，包括：第一吸附器，其设有第一进料口和第一出料口，所述第一吸附器内设有第一分子筛，所述第一分子筛用于吸附水分；第二吸附器，其设有第二进料口和第二出料口，所述第二进料口与所述第一出料口连通，所述第二吸附器内设有活性氧化铝，所述活性氧化铝用于吸附乙烷；第三吸附器，其设有第三进料口和第三出料口，所述第三进料口与所述第二出料口连通，所述第三吸附器内设有第二分子筛，所述第二分子筛用于吸附重组分；第一精馏塔，其设有第四进料口和第四出料口，所述第四进料口设于所述第一精馏塔的中部，所述第四出料口设于所述第一精馏塔的顶部，所述第四进料口与所述第三出料口连通，所述第一精馏塔用于去除重组分；第二精馏塔，其设有第五进料口和第五出料口，所述第五进料口设于所述第二精馏塔的中部，所述第五出料口设于所述第二精馏塔的顶部，所述第五进料口与所述第四出料口连通，所述第二精馏塔用于去除轻组分。2.如权利要求1所述的乙烯纯化系统，其特征在于，所述第一吸附器上设有第一检测出料口，所述第一检测出料口设于所述第一出料口的旁侧，所述第一检测出料口用于检测乙烯气体的含水量。3.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈艳珊，傅铸红，谢武中，
申请(专利权)人：广东华特气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：