本发明专利技术属于显示平板制造技术领域，具体公开了一种颗粒清除装置及清除方法。所述颗粒清除装置包括脉冲气体产生组件和喷射组件，喷射组件上设有互不连通的喷射腔和回收腔，回收腔的回收口环绕喷射腔的喷射口，回收腔呈负压状态，脉冲气体产生组件用于向喷射腔提供高压脉冲气体。清除作业时，喷射口朝向待清洁面，脉冲气体产生组件产生的高压脉冲气体经喷射口喷向待清洁面，将待清洁面上的颗粒物吹起并悬浮；在呈负压状态的回收腔的抽吸作用下，被吹起的悬浮的颗粒物由回收口进入回收腔中，实现对待清洁面的清洁。高压脉冲气体能有效破坏其与待清洁面之间的边界层，对待清洁面产生较大的冲击力，使得数量更多、尺寸更小的颗粒物被吹起，清洁效果好。清洁效果好。清洁效果好。
【技术实现步骤摘要】
一种颗粒清除装置及清除方法
[0001]本专利技术涉及显示平板制造
，尤其涉及一种颗粒清除装置及清除方法。
技术介绍
[0002]在制造显示屏幕或半导体晶圆的过程中，需要对产品表面的微小颗粒进行清除，否则这些微小颗粒会造成产品不良，同时某些制程段对产品表面的水汽含量要求极其严格，这些制程段不允许对颗粒物使用湿法清洁，只能采用干法清洁。
[0003]现有干法清洁主要有两种：等离子清洁法和真空抽吸法。其中，等离子清洁法是采用等离子对空气中的氧气进行轰击，从而产生单原子氧与臭氧分子，单原子氧具有强氧化性，可有效去除产品表面附着的有机污染物但无法对无机污染物进行去除，如粉尘，碎屑等。然而，对于目前显示工厂而言，显示玻璃表面的有机污染物在需要干洗的制程段极难出现，反而无机的颗粒污染物更需要有效的去除，因此等离子清洁法的应用局限性较大。真空抽吸法是采用真空泵对显示玻璃表面进行吸尘，但此种方法很难对尺寸较小的颗粒（如微米级的颗粒）进行有效去除。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种颗粒清除装置及清除方法，能够对产品表面微小的有机颗粒物及无机颗粒物进行有效去除，清洁效果好。
[0005]为实现上述目的，提供以下技术方案：第一方面，提供一种颗粒清除装置，包括脉冲气体产生组件和喷射组件，所述喷射组件上设置有互不连通的喷射腔和回收腔，所述回收腔的回收口环绕所述喷射腔的喷射口设置，所述回收腔呈负压状态，所述脉冲气体产生组件用于向所述喷射腔提供高压脉冲气体。
[0006]可选地，所述脉冲气体产生组件包括高压供气组件和脉冲产生组件，所述脉冲产生组件包括：定子，所述定子内设置有容置腔、第一气道和第二气道；动子，所述动子上设置有至少一个第三气道，所述动子可活动地设置于所述容置腔内，以使至少一个所述第三气道将所述第一气道和所述第二气道导通；所述第三气道将所述第一气道和所述第二气道导通时，所述高压供气组件中的高压气体依次经所述第一气道、所述第三气道和所述第二气道后，进入所述喷射腔。
[0007]可选地，所述脉冲气体产生组件还包括驱动件，所述驱动件的输出端与所述动子连接，以驱动所述动子在所述容置腔内活动，所述驱动件的输出端的输出速度可调。
[0008]可选地，所述高压供气组件包括第一供气组件和第二供气组件，所述第一供气组件和所述第二供气组件择一地向所述脉冲产生组件提供高压气体，所述第一供气组件提供的高压气体的压力大于所述第二供气组件提供的高压气体的压力。
[0009]可选地，所述脉冲气体产生组件还包括旁通管路，所述旁通管路的一端与所述高
压供气组件的出气口连通，另一端与所述喷射腔连通，所述旁通管路上设置有旁通阀。
[0010]可选地，所述脉冲气体产生组件还包括第一过滤器，所述第一过滤器设置于所述脉冲产生组件和所述喷射组件之间。
[0011]可选地，所述喷射腔包括相互连通的加速腔和匀压腔，所述高压脉冲气体依次流经所述加速腔和所述匀压腔后，由所述喷射口喷出。
[0012]可选地，所述喷射组件包括喷射壳，所述喷射壳上构造出所述喷射腔和所述回收腔。
[0013]第二方面，提供一种颗粒清除方法，采用如上所述的颗粒清除装置，颗粒清除方法包括：S1、脉冲气体产生组件将产生的高压脉冲气体提供至喷射组件的喷射腔；S2、喷射腔内的高压脉冲气体经喷射口喷向待清洁面，高压脉冲气体将待清洁面上的颗粒吹起；S3、被吹起的颗粒由回收口进入喷射组件的回收腔。
[0014]可选地，旁通阀将旁通管路导通，高压供气组件中的部分高压气体经旁通管路进入喷射组件的喷射腔。
[0015]本专利技术的有益效果为：本专利技术提供的颗粒清除装置及清除方法，进行清除作业时，使喷射口朝向待清洁面，脉冲气体产生组件产生的高压脉冲气体经喷射腔的喷射口喷向待清洁面，并将待清洁面上的颗粒物吹起并悬浮；在呈负压状态的回收腔的抽吸作用下，被吹起的悬浮的颗粒物由回收口进入回收腔中，从而实现对待清洁面的清洁。向待清洁面提供的是高压脉冲气体，即间隔喷射的高压气体，该间隔喷射的高压气体能够有效破坏其与待清洁面之间的边界层，从而能够对待清洁面产生较大的冲击力，使得数量更多、尺寸更小的颗粒物能够被吹起，从而提高清洁效果。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对本专利技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本专利技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本专利技术实施例提供的颗粒清除装置的示意图；图2为本专利技术实施例提供的脉冲产生组件的示意图；图3为本专利技术实施例提供的高压供气组件的示意图；图4为本专利技术实施例提供的喷射组件的示意图；图5为本专利技术实施例提供的负压产生组件、第四压力计、第二过滤器及第五压力计的示意图；图6为本专利技术实施例提供的旁通阀关闭情况下在定子一个转动周期内喷射至待清洁面的气体流量曲线；图7为本专利技术实施例提供的旁通阀打开情况下在定子一个转动周期内喷射至待清洁面的气体流量曲线。
[0018]附图标记：100、待清洁面；1、脉冲气体产生组件；2、喷射组件；3、负压产生组件；4、第四压力计；5、第二过滤器；6、第五压力计；11、高压供气组件；12、脉冲产生组件；13、旁通管路；14、旁通阀；15、第一过滤器；16、第二压力计；17、第三压力计；111、第一供气组件；112、第二供气组件；1111、进气阀；1112、调压阀；1113、第一截止阀；1114、第一压力计；1121、高压风机；1122、第二截止阀；121、定子；1211、容置腔；1212、第一气道；1213、第二气道；122、动子；1221、第三气道；123、驱动件；21、喷射壳；22、喷射腔；23、回收腔；221、加速腔；221a、进气口；222、匀压腔；2221、第一匀压腔；2222、第二匀压腔；2222a、喷射口；23a、回收口；23b、排气口。
具体实施方式
[0019]为使本专利技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本专利技术实施例的技术方案作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0020]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。
[0021]在本专利技术的描述中，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种颗粒清除装置，其特征在于，包括脉冲气体产生组件（1）和喷射组件（2），所述喷射组件（2）上设置有互不连通的喷射腔（22）和回收腔（23），所述回收腔（23）的回收口（23a）环绕所述喷射腔（22）的喷射口（2222a）设置，所述回收腔（23）呈负压状态，所述脉冲气体产生组件（1）用于向所述喷射腔（22）提供高压脉冲气体。2.根据权利要求1所述的颗粒清除装置，其特征在于，所述脉冲气体产生组件（1）包括高压供气组件（11）和脉冲产生组件（12），所述脉冲产生组件（12）包括：定子（121），所述定子（121）内设置有容置腔（1211）、第一气道（1212）和第二气道（1213）；动子（122），所述动子（122）上设置有至少一个第三气道（1221），所述动子（122）可活动地设置于所述容置腔（1211）内，以使至少一个所述第三气道（1221）将所述第一气道（1212）和所述第二气道（1213）导通；所述第三气道（1221）将所述第一气道（1212）和所述第二气道（1213）导通时，所述高压供气组件（11）中的高压气体依次经所述第一气道（1212）、所述第三气道（1221）和所述第二气道（1213）后，进入所述喷射腔（22）。3.根据权利要求2所述的颗粒清除装置，其特征在于，所述脉冲气体产生组件（1）还包括驱动件（123），所述驱动件（123）的输出端与所述动子（122）连接，以驱动所述动子（122）在所述容置腔（1211）内活动，所述驱动件（123）的输出端的输出速度可调。4.根据权利要求2所述的颗粒清除装置，其特征在于，所述高压供气组件（11）包括第一供气组件（111）和第二供气组件（112），所述第一供气组件（111）和所述第二供气组件（112）择一地向所述脉冲产生组件（12）提供高压气体，所述第一供气组件（111）提供的...
【专利技术属性】
技术研发人员：施利君，蒋新，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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